UNIVEX 코팅 시스템
UNIVEX 시스템 제품군은 대학 및 기업의 연구 기관뿐만 아니라 파일럿 생산에서도 실험용 코팅 및 박막 증착 응용 분야로 잘 자리잡았습니다.
박막 진공 코팅 제품
Leybold UNIVEX 코팅 제품군은 다음과 같이 다양합니다.
- 박스 코팅 시스템
- 글로브 박스 시스템
- 지문 검사 시스템
- 클러스터 도구 및 맞춤형 솔루션
UNIVEX 코팅 제품은 모듈식 설계로 대부분의 고객 요구를 충족하는 매우 정교한 시스템입니다.
UNIVEX 시스템에는 Leybold의 진공 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이러한 펌프 시스템은 각각의 챔버 크기와 용도에 적합한 것으로 잘 알려져 있습니다. Leybold에는 건식 또는 오일 씰이 가능한 다양한 배압 펌프가 있습니다. 모든 종류의 고진공 펌프(예: 터보분자 또는 극저온 펌프)를 부착할 수 있습니다.
주요 목적은 박막 코팅의 PVD(물리 증착법, Physical Vapor Deposition) 프로세스에 대해 신뢰할 수 있는 진공 환경을 제공하는 것입니다. 시스템의 공정 장비는 증착 소스(열, 전자 빔 또는 유기), 스퍼터링 소스, 다양한 기판 처리법(예: 가열, 냉각) 등으로 구성될 수 있습니다.
당사는 이러한 시스템을 고객의 특정 요구에 맞게 맞춤화합니다.
