초고진공 펌프
TiTan 이온 펌프, NEG 펌프 및 TSP
Leybold는 제품 포트폴리오에 감마 제품을 포함하여 UHV 분야를 위한 장비를 갖추고 있습니다.
이를 통해 초고진공 압력을 측정할 수 있을 뿐 아니라, 탁월한 수소 펌핑 속도, 탄화수소가 함유되지 않은 무진동 진공 같은 이온 펌프 속성의 장점을 제공하고 활용할 수 있습니다.
전체 공급업체로서 Leybold는 전 세계 감마 제품을 지원하고 관련 서비스를 제공하고 있습니다.
감마 진공은 이온 및 티타늄 승화 펌프의 설계, 제조 및 배포와 NEG 펌프 및 이 펌프와의 조합을 전문으로 하며 R&D 및 높은 에너지 물리 등을 포함한 다양한 과학 분야에서 서비스를 제공합니다.
Leybold는 이온 펌프, 비증발성 게터(NEG) 펌프, 티타늄 승화 펌프(TSP) 및 각각의 컨트롤러로 구성된 모든 UHV 응용 분야에 대한 솔루션을 제공합니다.
필요한 고전압 또는 고전류 케이블을 포함한 모든 장비는 미국 섀코피의 감마 진공에서 제조됩니다.
또한, 감마 진공은 통합 NEG 펌프를 포함하는 이온 펌프 등의 펌프 조합을 제공합니다. 섀코피의 전자 부서에서는 주머니에 쉽게 넣을 수 있을 정도로 작은 이온 펌프를 작동할 수 있는 스마트 컨트롤러로 폭넓은 컨트롤러 범위를 개발 및 생산합니다. 또한, 이 컨트롤러는 차에 들어가지 않을 크기의 이온 펌프 여러 개를 작동할 수 있는 강력한 컨트롤러도 개발 및 생산합니다.
기성 제품 외에도 감마 진공은 제품을 매우 다양하게 맞춤 제작합니다.
HyTan NEG-Ion 결합 펌프
NEG 및 이온 펌프 기술을 교환식 모듈이 있는 소형 UHV 펌프에 결합하여 공간이 제한되고 다기능성이 요구되는 작업에 이상적입니다.
- 다목적 – 6 NEG 및 6 이온 펌프 모듈 중에서 선택하여 100 – 500 l/s의 수소 펌핑 속도를 제공합니다.
- 사용자 지정 가능 – 교체 가능한 비활성 및 종래의 다이오드 엘리먼트, 2개의 이온 펌프 공급 옵션 및 교체 가능한 모듈을 갖춘 이 UHV 펌프는 다양한 범위의 작업을 지원합니다.
- 소형 – 기존 제품보다 훨씬 작은 HyTan NEG-이온 펌프는 챔버 내부에 설치하여 공간 효율성을 극대화할 수 있습니다.
- 고효율- 낮은 전력 소비와 교체식 부품으로 UHV 펌프의 설치 공간과 전체적인 소유 비용을 절감할 수 있습니다.
HyTan NEG-이온 펌프
TiTan 이온 펌프, NEG 펌프 및 TSP
초고진공 펌프 시스템
무진동 및 무정비 TiTan 이온 펌프, 티타늄 승화 펌프(TSP) 및 무증발 게터(NEG) 펌프 전체 제품군으로 초고진공 상태에서 도달 압력을 생성합니다.
- 초고진공에서의 높은 펌핑 속도
- 탄화수소가 필요 없는 진공
- 긴 작동 시간
- 완전한 솔루션
- 0.2~1,200l/s의 펌핑 속도
- < 1 x 10-11mbar의 도달 압력
NEG 펌프
각기 다른 요구 사항 충족을 위한 다양한 TiTan 펌프 요소
- 공기 및 반응성 가스를 펌핑하기 위한 티타늄 음극을 포함하는 TiTan CV
- 공기 및 반응성 가스 펌핑을 위한 TiTan DI, 비활성 가스 안정(티타늄 및 탄탈룸 음극)
- TiTan TR - 고압 범위에서 더 높은 펌핑 속도를 제공하는 클래식 3극 진공관, 비활성 가스 안정
- 별도로 사용하거나 TiTan 이온 펌프에 통합할 수 있는 다양한 NEG 펌프 및 TSP
- 최대 450°C까지 가열할 수 있는 TiTan, NEG 및 TSP 구성 요소
- 다양한 부속품
- 이온 펌프 작동을 위한 DIGITEL 컨트롤러 모델
- 다양한 응용 분야 및 구성의 TSP 및 NEG
- 고진공 케이블을 사용하여 사용자의 컨트롤러 및 이온 펌프에 연결 가능
TSP 필라멘트 카트리지
DIGITEL 이온 펌프 컨트롤러
다양한 컨트롤러를 사용하여 단일 또는 다중 이온, NEG 또는 TSP 진공 펌프를 관리합니다.
일정한 전압 수준, 통합 프로토콜 범위 및 사용하기 쉬운 인터페이스를 보장하도록 설계된 이 컨트롤러는 진공 펌프가 최고의 성능과 효율로 작동하도록 보장합니다.
- DIGITEL SPCe 소형 펌프 컨트롤러는 최대 75l/s의 단일 이온 펌프를 관리합니다.
- DIGITEL QPC 쿼드 펌프 컨트롤러는 최대 100I/s의 이온 펌프 4개를 관리합니다.
- DIGITEL MPCq 다중 펌프 컨트롤러는 높은 전류 요구로 최대 4개의 대형 이온 펌프를 제어합니다.
- TSP 컨트롤러는 최대 2개의 TSP 펌프(또는 TSP 필라멘트 6개)를 관리합니다.
DIGITEL QPC 쿼드 펌프 컨트롤러
DIGITEL MPCq 다중 펌프 컨트롤러
UHV(초고진공) 액세서리
이러한 액세서리 제품군은 UHV(초고진공) 펌프에 완벽하게 맞습니다. 안정적이고 최고 사양으로 제작된 이 제품은 진공 시스템을 최대한 활용할 수 있도록 설계되었습니다.
- 고전압 케이블 – 100% 자체 제작으로 다양한 진공 응용 분야에 맞도록 맞춤 제작되었습니다.
- TSP 케이블 – 견고하고 내구성이 뛰어나며 신뢰할 수 있는 티타늄 제거 펌프 케이블은 오래 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
- 스플리터 박스 – 동시 작동을 위해 전원 공급 장치를 이온/NEG 펌프로 분할합니다.
- TSP 슈라우드 – 교체 가능한 슈라우드와 넓은 활성 표면을 통해 펌핑 속도가 향상되었습니다.
TSP 케이블