지구 온난화를 늦추기 위해 화석 연료 소비 제한에 대한 필요성이 대두되며 전 세계적으로 풍력 에너지와 태양 에너지와 같은 재생 에너지에 대한 관심이 증가하고 있습니다. 수요 증가로 인해, 태양광 전지 기술에 대한 연구가 활발히 진행되어 태양 전지 및 패널의 수명 증가와 함께 상당한 비용 절감 및 기술 향상을 가져왔습니다.
태양광 패널은 녹색 에너지 생성의 핵심입니다. 예를 들어, 연료 전지로 구동되는 미래 차량용 녹색 수소를 생성하는 전해조의 전기 공급원이 될 수도 있습니다.
Leybold는 새롭게 부상되는 이형 접합 기술에서 볼 수 있듯이 웨이퍼 기반, 박막 또는 둘의 조합 여부에 관계없이 태양광 생산 공정의 각 진공 단계에 이상적인 제품을 제공합니다.
Leybold의 진공 관련 전문 지식 - 고객이 누리는 혜택
Leybold는 태양열 전지 생산 공정 전체에 완벽한 진공 솔루션을 제공합니다. 다양한 공정 요구 사항에 따라 다양한 펌프 유형 및 특별 조정된 펌프 솔루션을 사용할 수 있거나 고객의 사양에 따라 맞춤화할 수 있습니다.
건식 진공 펌프
태양광 생산에서는 오일 프리의 고순도 솔루션이 필수입니다. 건식 진공 펌프는 오일이 불필요하며, 공정 챔버로 오일이 넘칠 위험을 방지하여 생산 시스템의 최고 공정 품질을 보장합니다. 가동 시간을 최적화하여 유지보수에 따르는 비용을 최소화하고, 서비스 수명을 최적화합니다. Leybold의 건식 진공 펌프 제품군은 고품질 태양열 전지 생산을 보장합니다.
PowerBoost 및 PowerBoost Plus는 최대 0.01mbar의 빠른 사이클이 필요한 분야와 목표 압력을 위해 개발되고 최적화되어 있습니다. 이 시스템은 매우 빠른 펌프 다운 속도와 유휴 기간이 필요한 모든 분야에 적합합니다. 또한 사이클 시간을 자동으로 감지하여 회전 제품 및 가변 조건에 매우 유연하게 적응할 수 있도록 합니다.
내부 로터 냉각을 통해 SCREWLINE SP 630의 건식 스크류 펌프는 EVA(에틸렌-비닐-아세테이트), POE(폴리-옥탄-에틸렌) 및 PVB(폴리-비닐-부티랄) 폴리머 재료에서 모노머, 올리고머 및 연화제 가스 제거를 펌핑할 수 있으므로 까다로운 태양광 라미네이션 산업 분야에 적합합니다.
DRYVAC 진공펌프는 소형의 수냉식 저소음 건식 스크류 유형으로 중공업 환경에 설치할 수 있습니다. 이 펌프는 CIGS, CdTe 및 Hetero Junction과 같은 PECVD 및 PVD 박막 코팅 공정에 사용되는 가스를 처리하도록 설계되었습니다.
다량의 가스를 펌핑하거나 낮은 진공 압력을 달성하고 유지하려면 강력한 부스터 펌프가 필요합니다. 기존 RUVAC WA(U) 및 WS(U) 부스터 펌프는 혁신적인 밀폐형 RUVAC WH(U)와 함께 직접 구동 또는 주파수 변환기에 의해 구동될 수 있으며, 이를 통해 더 높은 회전 속도로 영구적으로 작동하여 더 높은 펌핑 속도에 도달할 수 있습니다. 최대 250 ~ 7000 m³/시의 용량으로 모든 크기의 태양광 진공 시스템을 공급할 수 있습니다.
태양광 라미네이션의 세 번째 단계에는 스테인리스 스틸 클로가 있는 현장 청소 기능을 가진 CLAWVAC 펌프가 적합합니다. 이들은 잘 확립된 SCREWLINE SP 630 F를 대체할 수 있는 훌륭한 기술적 대안입니다.
VARODRY는 100% 오일 프리로 진공 청정도를 향상시킬 뿐만 아니라, 까다로운 태양광 코팅과 태양광 크리스탈 풀링 및 증착 공정에서의 견고성 덕분에 오일 씰 펌프보다 작동 시간이 길어집니다.
업계를 선도하며 오랜 시간에 걸쳐 검증된 SOGEVAC 오일 씰 로터리 베인 펌프는 대형 건축물용 유리 코팅 인라인 PVD 시스템의 오일 씰 표준입니다. 이 펌프는 로드록의 신속한 다운을 위한 효율적인 펌프이며, 건식 스크류 펌프에 비해 가격이 저렴합니다.
TRIVAC - PFPE 버전은 태양광 크리스탈 풀링 및 증착 그리고 특히 실리콘 카바이드 산업 분야에 적합한 표준 오일 씰 솔루션입니다.
Leybold는 모든 종류의 PHOENIX 헬륨 리크 디텍터 및 맞춤형 특수 시스템을 제공합니다