태양광 산업용 진공
Leybold의 검증된 산업용 진공 솔루션은 태양 전지 및 패널의 순도, 품질 및 안전성을 향상시킵니다.
지구 온난화를 늦추기 위해 화석 연료 소비 제한에 대한 필요성이 대두되며 전 세계적으로 풍력 에너지와 태양 에너지와 같은 재생 에너지에 대한 관심이 증가하고 있습니다. 이러한 수요 증가는 태양광 전지 기술에 대한 연구를 촉진해 왔으며 태양 전지 및 패널의 수명 증가와 함께 상당한 비용 절감 및 기술 향상을 가져왔습니다.
태양광 패널은 녹색 재생 에너지의 핵심입니다. 예를 들어, 연료 전지 기반의 차세대 차량의 녹색 수소의 생성을 위한 전기 공급원이 될 수도 있습니다.
Leybold는 새롭게 부상되는 이형 접합 기술에서 볼 수 있듯이 웨이퍼 기반, 박막 또는 둘의 조합 여부에 관계없이 태양광 생산 공정의 각 진공 단계에 이상적인 제품을 제공합니다.
Leybold의 전문 진공 지식
Leybold는 태양열 전지 생산 공정에 완벽한 진공 솔루션을 제공합니다. 다양한 요구 사항에 따라 다양한 펌프 유형 및 커스텀 펌프 솔루션을 제공하고 있으며 때로는 고객의 사양에 따라 맞춤형으로 제작하기도 합니다.
건식 진공 펌프
태양광 생산에서는 건식형 고순도 솔루션이 필수입니다. 건식 진공 펌프는 오일이 불필요하며, 공정 챔버로 오일이 넘칠 위험을 방지하여 생산 시스템의 최고 공정 품질을 보장합니다. 가동 시간을 최적화하여 유지보수에 따르는 비용을 최소화하고, 서비스 수명을 최적화합니다. Leybold의 건식 진공 펌프 제품군은 고품질 태양열 전지 생산을 보장합니다.
- PowerBoost
- SCREWLINE
- DRYVAC
- RUVAC
- CLAWVAC
- VARODRY
- SOGEVAC
- TRIVAC
- 헬륨 리크 디텍터
PowerBoost
PowerBoost 및 PowerBoost Plus는 최대 0.01mbar의 빠른 사이클이 필요한 분야와 목표 압력을 위해 개발되고 최적화되었습니다. 이 시스템은 빠른 펌프 다운 속도와 유휴 기간이 필요한 모든 분야에 적합합니다. 또한 사이클 시간을 자동으로 감지하여 회전 제품 및 가변 조건에 매우 유연하게 적응할 수 있습니다.
- 건식 스크류/루트 기술의 결합 -> 청결 유지와 빠른 펌핑 다운에 최적화
- 최소 설치 면적 -> 이전 펌프 구성에 비해 한 세트 적음
- 저소음 -> 코팅 기기의 작동을 미리 예측하는 스마트형 펌프 시스템
- 에너지 절약 -> 혁신적인 에너지 절약 기능으로 전력 소비 감소
SCREWLINE
내부 로터 냉각을 통해 SCREWLINE SP 630의 건식 스크류 펌프는 EVA(에틸렌-비닐-아세테이트), POE(폴리-옥탄-에틸렌) 및 PVB(폴리-비닐-부티랄) 폴리머 재료에서 모노머, 올리고머 및 연화제 가스 제거를 펌핑할 수 있으므로 까다로운 태양광 라미네이션 산업 분야에 적합합니다.
- SP 630 건식 스크류 기술 -> 2004년부터 태양광 라미네이션 생산 기술로 입증
- 다양한 라미네이션 공정을 위한 동급 최고의 펌프
- 에어 쿨링 -> 빠르고 & 간편한 설치
- 현장 청소 가능한 펌핑 챔버 -> 진공 펌프로 인한 가동 중지할 필요가 없음
DRYVAC
DRYVAC 진공 펌프는 소형 수랭식 저소음 건식 스크류 유형으로 중공업 환경에 설치할 수 있습니다. 이 펌프는 CIGS, CdTe 및 Hetero Junction과 같은 PECVD 및 PVD 박막 코팅 공정에 사용되는 가스를 처리하도록 설계되었습니다.
- 건식 스크류 기술 -> 먼지, 도핑 가스 및 불소 에칭 처리 가능
- 콤팩트한 크기 -> 생산 라인에 설치 용이
- 저소음 -> 작업 환경 개선
- 낮은 열 방출 -> 장비 성능을 향상시키기 위해 현지화 가능
- 에너지 절약 -> 혁신적인 에너지 절약 장치로 전력 소비 감소
RUVAC
다량의 가스를 펌핑하거나 낮은 진공 압력을 달성하고 유지하려면 강력한 부스터 펌프가 필요합니다. 기존 RUVAC WA(U) 및 WS(U) 부스터 펌프는 혁신적인 밀폐형 RUVAC WH(U)와 함께 직접 구동 또는 주파수 변환기에 의해 구동될 수 있으며, 이를 통해 더 높은 회전 속도로 영구적으로 작동하여 더 높은 펌핑 속도에 도달할 수 있습니다. 최대 250 ~ 7000 m³/시의 용량으로 모든 크기의 태양광 진공 시스템을 공급할 수 있습니다.
- 건식 루츠 기술 -> 먼지, 도핑 가스 및 불소 에칭 처리 가능
- 매우 콤팩트한 구조 -> 러핑 펌프 위에 설치 용이
- 검증된 생산: 태양열 전지 산업의 표준
- 낮은 열 방출 -> 수냉식 및 공냉식 버전 사용 가능
태양광 라미네이션의 세 번째 단계에는 스테인리스 클로가 있는 현장 청소 기능을 가진 CLAWVAC 펌프가 적합합니다. 이들은 잘 확립된 SCREWLINE SP 630 F를 대체할 수 있는 훌륭한 기술적 대안입니다.
- 스테인리스 클로 -> 습도가 높은 장소에 있거나 모노머, 올리고머 및 연화제 등이 남아 있어도 부식이 발생하지 않음
- 최소 유지보수 요구 사항 -> 낮은 총소유비용
VARODRY
VARODRY는 100% 건식으로 진공 청정도를 향상시킬 뿐만 아니라, 까다로운 태양광 코팅과 태양광 크리스탈 풀링 및 증착 공정에 매우 적합하여 일반적인 오일 씰 펌프보다 작동 시간이 길어집니다.
- 건건식 스크류 기술 -> 인라인 태양광 코팅 (극저온 펌프 재생, 버퍼, 공정 및 어널링)과 크리스탈 풀링 & (실리콘 카바이드)에 적합
- 공랭 -> 빠르고 & 간편한 설치
- 유지보수 최소화 -> 낮은 총 소유 비용
SOGEVAC
오랜 시간에 걸쳐 검증된 업계 최고의 SOGEVAC 오일 씰 로터리 베인 펌프는 대형 건축용 유리 코팅 인라인 PVD 시스템의 오일 씰 표준입니다. 이 펌프는 로드락의 신속한 펌프 다운을 위한 효율적인 펌프이며, 건식 스크류 펌프에 비해 가격이 저렴합니다.
- 동급 최고의 로터리 베인 펌프 -> 로드록의 PVD 인라인 코터용으로 검증된 기술
- 모든 압력에서의 높은 펌핑 속도 -> 펌프 성능에 영향을 주지 않는 빠르고 효율적인 펌프 다운 지원
- 낮은 작동 온도 및 로드락 분야에 최적화된 오일 -> 오일 교환 주기가 길어짐
- 최첨단 배기 필터링 기술 -> 청정 가스 배출
TRIVAC
TRIVAC - PFPE 버전은 태양광 크리스탈 풀링 & 및 증착 그리고 특히 실리콘 카바이드 산업에 적합한 표준 오일 씰 솔루션입니다.
- 동급 최고의 로터리 베인 펌프 -> 크리스탈 풀링 및 증착을 위한 검증된 생산 기술
- 전 세계 모든 분야에서 사용 -> 실리콘 카바이드(SiC) 미래 기술에 활용
- 공랭 -> 빠르고 & 간편한 설치
헬륨 리크 디텍터
Leybold는 다양한 PHOENIX 헬륨 리크 디텍터와 맞춤형 시스템을 제공합니다
- PHOENIX QUADRO -> 오일 씰 또는 건식 Leybold 진공 펌프가 있는 휴대용 헬륨 누출 감지기
- PHOENIX VARIO -> 진공 시스템이 없는 초소형 PHOENIX 제품군
- 맞춤형 진공 시스템: Leybold에 연락하시면 안내해 드리겠습니다.