이정표
Leybold는 170년 이상의 역사를 지니고 있습니다. 혁신적인 진공 기술은 고객이 사용할 분야에서 매끄럽게 사용할 수 있도록 하고, 수익성 있는 발전을 위해 지속적으로 발전해 왔습니다.
1850년 – Leybold 설립
사업가인 Ernst Leybold는 1850년 Rothenburg ob der Tauber에서 Cologne로 거주지를 이전하면서 의료용 유리 제품, 연고통, 온도계 및 저울을 판매 및 수입하는 첫 번째 회사를 설립했습니다. 1854년에 Leybold는 물리학, 제약 및 화학 장비를 포함하는 범위로 제품을 확장했습니다. 1863년에 그는 마침대 E. Leybold라는 이름으로 회사를 인수했습니다.
1870년 - Emil Schmidt 및 Otto Ladendorff에 매각
1870년, Ernst Leybold는 그의 회사를 매각했지만, E. Leybold’s Nachfolger로 계속 운영되었습니다.
1871년에는 처음으로 선보인 "Physics Cabinets"(장비와 도구의 풀 컬렉션)을 포함한 585종의 물리학 장비들이 제품 라인업에 포함되었습니다. 당사의 역사에는 에콰도르 키토 대학으로부터 3만 탈러 (오늘 기준 약 25만 달러) 상당의 주문을 받은 것을 자랑스럽게 기록하고 있습니다. 이로 인해 우리는 국제적인 명성을 가진 회사로 자리매김하였습니다. 1876년, 물리학 장비의 첫 번째 카탈로그는 중고등학교에서 사용하기 위해 출판되었습니다. 이 제품 라인은 점차적으로 실험실용 화학 기기로 확장되었습니다. 4년 후에 크록스의 실험에 대한 특별한 브로셔가 만들어졌습니다. "고진공에서의 새롭고 종종 흥미로운 발전이 추가 실험을 부추길 것에는 의심의 여지가 없습니다." 이러한 실험을 입증하기 위해 수은 기둥을 번갈아 올리고 내리는 방식으로 수동 조작한 초기 양 변위 진공펌프인 토플러 펌프를 카탈로그에 포함하였습니다.
1906년 - 끊임없는 중요성의 혁신
당사의 진공 기술은 1906년 Karlsruhe에 있는 물리학 교수 Wolfgang Gaede와의 협력을 통해 승리의 행진을 시작했습니다. Leybold와 Gaede의 협력은 상응하는 결실을 맺었습니다. 이를 통해 오늘날 여전히 관련이 있는 중요한 혁신인 분자 공기 펌프의 발명, 터보 분자 펌프(1911)의 기본 원리, 확산 펌프(1913)의 사용이 탄생했습니다. 확산 펌프에는 이동 부품이 없습니다.
1913년 - 진공 금속 가공의 시작
Hanau에 소재한 W.C. Heraeus GmbH 내 Physical Test Laboratory의 책임자인 Wilhelm Rohn 박사는 진공 상태에서 고순도 금속을 녹이는 공정을 개발했습니다. 이를 통해 강철과 비철 금속의 품질이 크게 개선되었습니다.
1931년 - Wilheim C. Heraeus가 선보인 유리 금속 기화
이는 진공 코팅 기술의 또 다른 이정표였습니다. 같은 해 Leybold’s Nachfolger에서는 Manfred Dunkel 박사가 사장으로 취임하여 1967년까지 성공적으로 회사를 이끌었습니다. 이 시기는 산업 응용 분야에서 진공 기술의 사용이 점차 확대되었기 때문에 중요했습니다. 따라서 기술적, 과학적 지식 외에도 공정 엔지니어링 응용 분야에서 활용을 위해 중요한 관리 기술도 필요했습니다.
1934년 - 12월 13일, Gaede가 Siemens 링을 수상하다
Siemens Ring Foundation은 Werner von Siemens의 탄생 100주년을 기념하기 위해 1916년 독일 산업 및 과학 대표들이 설립했습니다. 이 재단은 규정에 따라 과학과 연계하여 기술에 일반적으로 인정되는 탁월한 기여를 한 개인을 기린다는 목표를 추구했습니다. 따라서 Siemens Ring은 연구를 통해 새로운 기술 분야를 개척한 과학계 인사뿐만 아니라 자신의 업적을 통해 과학계를 자극한 기술계 인사에게도 수여되었습니다.
1957년 - 10년간 제품 포트폴리오의 뚜렷한 확장
저희의 가장 중요한 새로운 디자인은 "루츠 펌프"(또는 "루츠 블로어")를 중심으로 하며, 이는 "현대 진공 공정 공학은 정의 상당 부분에 대해 미세 진공 범위에서 높은 유량을 요구한다. 예를 들어, 미세한 진공 과정에서는 1 torr 미만의 압력에서 많은 양의 가스와 수증기가 생성된다. 따라서 진공 기술은 이러한 양의 가스를 경제적으로/효율적으로 배출해야 하는 과제에 직면해 있다." 라고 저희 카탈로그에 쓰여 있습니다. 진공 함침, 화학 가공, 의약품 및 식품 동결 건조 분야와 고·초고 진공 코팅 공장, 금속 탈가스 등에 큰 노력을 기울였습니다. 동시에, 저희는 모든 진공 압력 라인, 누출 감지기를 위한 펌프, 밸브 및 게이지와 같은 표준 진공 구성 요소의 대규모 개발 및 과학 및 기술 교육 도구 라인의 꾸준한 확장을 계속했습니다.
1967년 - E. Leybold’s Nachfolger와 Heraeus Hochvakuum GmbH 합병
합병된 새로운 회사는 Leybold-Heraeus GmbH로 명명되었으며 지분은 Degussa, Metallgesellschaft, 그리고 W.C. Heraeus가 분할 소유했습니다.
1975년 - 자기 부상 터보 분자 펌프 출시
1970년대 중반, 고진공 기술의 새로운 시대가 공식적으로 시작되었고 "자기 부상 터보 분자 펌프의 시대"라고 불렸습니다. 저희는 이러한 펌프를 상용화한 최초의 진공 회사였습니다. 1980년대 및 1990년대에는 자기 부상 터보 분자 펌프는 탄화수소가 함유되지 않은 고진공 펌프로, 반도체 업계에서 가장 중요한 고진공 펌프가 되었습니다. 전자자석은 고속 회전하는 내부 부품의 "베어링"에 사용됩니다.
1983년 - 큰 성공을 거둔 오일 펌프 통합형 TRIVAC B 오일 씰 로터리 베인 진공 펌프
이 펌프는 오늘날에도 많은 진공 분야에서 여전히 널리 사용되고 있습니다. 진공 탱크에 오일 분자를 수용할 수 있는 고객을 위해 로터리 베인 진공 펌프는 저진공 및 미세 진공 모두에서 매우 강력하고 안정적인 펌핑을 제공합니다.
1989년 - 최초의 지능형 드라이브 관리 방식 터보 분자 펌프 출시
최초의 지능형 드라이브 관리 기능을 갖춘 터보 분자 펌프를 출시했습니다.
1996년 - 첫 번째 중국 거점인 톈진에 자회사 Oerlikon 설립
저희는 1998년부터 이 신흥 경제 지역의 높은 잠재력과 고객 근접성을 활용하기 위해 중국에 전액 출자 자회사를 설립했습니다.
2001년 - SCREWLINE 건식 압축 진공 펌프 출시
SCREWLINE 건식 압축 진공 펌프를 출시했습니다.
2004년 - 새로운 Cologne 생산 시설 가동 시작
Leybold는 Cologne에 고진공 기술용 생산 시설을 새로 건설하여 연구 및 개발 작업의 향상된 요구 사항을 충족했습니다.
2006년 - 독일 드레드덴에서 극저온 펌프 생산 개시
경제 성장에 힘입어 UNAXIS Group은 Oerlikon으로 사명을 변경하여 Oerlikon Leybold Vacuum이라는 이름으로 운영되었습니다.
2007년 - 견고한 응용 분야를 위한 SCREWLINE 건식 스크류 펌프 출시
오늘 날의 까다로운 연구 및 산업 응용 분야에서 SCREWLINE과 같은 건식 압축 스크류 펌프가 보조 펌프로 선호됩니다. 오일 씰 펌프와 비교할 때 더 강력하고 안정적이며, 작은 사이즈의 저정비 진공 솔루션이 필요한 곳이라면 어디든지 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 한가지 주요 이점은, 다양한 응용 분야에서 높은 적용 유연성을 가지고 있습니다. 또한, 생산 중단 시 고객이 현장에서 청소할 수 있습니다. 모든 시스템에 쉽게 통합될 수 있는 다양한 연결 방식을 가지고 있습니다.
2009년 - 루츠 펌프 제품 라인업 확장
다양한 분야에 사용할 수 있는 높은 적용 유연성을 가진 RUVAC WH 루츠 진공 펌프를 출시했습니다. 또한, 생산 중단 시 고객이 현장에서 곧바로 점검할 수 있습니다. 모든 시스템에 쉽게 통합될 수 있는 다양한 연결 방식을 가지고 있습니다.
2010년 - 새로운 건식 압축 진공 펌프 DRYVAC 출시
이 펌프는 건식 스크류 기술을 기반으로 정숙한 작동, 저폐열, 낮은 냉각수 소비와 같은 특징을 작은 디자인에 담았습니다. 통합형 주파수 변환기는 장착 작업을 줄여줍니다.
2011년 - 태양열 및 코팅 시장을 위한 고진공 펌프 MAGiNTEGRA 출시
TURBOVAC MAGiNTEGRA는 자기 부상 터보 분자 펌프로 일반적인 별도 주파수 변환기에 필요한 공간이 요구되지 않으며, 작고 유연한 설계, 탁월한 진공 성능, 표준화된 악세서리 라인업을 제공합니다. 이 제품은 디스플레이, 태양열, 코팅 및 R&D 분야와 같은 대부분의 산업 공정에서 유지 보수가 필요 없는 작동을 제공합니다.
2014년 - 독일 쾰른의 새 물류 허브 개관하며 TURBOVAC i 출시와 함께 진공 기술의 놀라운 도약을 선보이다.
최신 분석 기기에는 고도로 발달된 구성품이 필요합니다. 특히 질량 분석기의 경우 서로의 요구를 정확하게 일치시켜야 합니다. 새로운 터보 분자 펌프 덕분에 분석 처리량이 크게 증가했습니다. 저희는 이러한 성능 문제를 해결하고 혁신적인 터보 분자 펌프 라인을 설계했습니다. 특히 TURBOVAC i는 분석 기기 시장에 최적화된 펌프입니다.
2015년 - 서비스 업무를 독일 드레드덴으로 이전, 높은 서비스 역량을 위한 EU 센터 설립
더 높은 서비스 역량을 위해 서비스 업무를 독일 드레드덴으로 이전하여 EU 센터를 설립했습니다.
2016년 - 아트라스콥코로 인수
스웨덴 기업 아트라스콥코가 Leybold의 지분 100%를 인수했습니다. 아트라스콥코는 180개 이상 국가에서 약 40,000명의 직원을 보유한 멀티 브랜드 그룹입니다. 저희는 이제 아트라스콥코 Vacuum Technique 사업 부문의 일부입니다. 아트라스콥코는 당사의 전통적인 브랜드 강점을 바탕으로 혁신적인 기술 전문성과 시장 입지를 보완합니다.
2017년 - PHOENIX 4
15년 후, 증가하는 품질 요구 사항을 충족하는 새로운 헬륨 누출 감지기 제품군인 Phoenix 4를 출시했습니다. 이 혁신적인 제품은 연구 개발 수요는 물론 CERN의 입자 가속기의 초고진공 수요 충족, Hyperloop 진공 이송 시스템의 누출 감지, 반도체 생산 같은 산업 응용 분야에도 마찬가지로 적합합니다.
2017년 - SCROLLVAC plus
연구 및 산업 분야에서는 사용 유연성도 뛰어난 건조하고 견고한 진공 솔루션을 점점 더 많이 사용하고 있습니다. 당사의 현대화된 공랭식 SCROLLVAC plus는 이러한 요구 사항을 충족하는 단순하고 안정적인 새로운 전진공 펌프입니다.
2018년 - SOGEVAC Neo D
차세대 SOGEVAC 진공 펌프는 더 깨끗하고, 더 정숙하고, 더 오래 가동할 수 있는 triple-hitting 진공 기술을 가지고 있습니다.
2018년 - VARODRY
독일에서 새로운 VARODRY 진공 펌프 시리즈를 산업 공정에 맞춰 설계 및 생산했습니다. VARODRY를 사용하면 쉽고, 효율적이고, 안정적으로 건조한 진공을 공급할 수 있어 손쉬운 사용성을 제공합니다.
2019년 - NOVADRY
오늘날까지 오일 씰 로터리 베인 펌프는 식품 가공 산업의 표준이었습니다. 그러나 이러한 펌프를 사용하면 펌프 오일이 작업 공간, 심지어 식품까지 오염시킬 수 있는 위험이 따릅니다. 저희는 이러한 위험을 방지하고 제품 신선도를 보장하기 위해 "NOVADRY"를 개발했습니다. 이 100% 무급유식 진공 펌프는 시장을 혁신적으로 변화시키고 있습니다.
2020년 - ECODRY plus
드라이 멀티 스테이지 기술을 통해 더 작은 크기, 스마트 작동, 빠른 펌프 다운 시간, 친환경성의 장점을 결합한 새로운 ECODRY plus를 발전시켰습니다. 이 신형 건식 압축 펌프는 특히 분석 응용 분야의 작업에 매우 적합합니다.
2020년 - TURBOVAC i
펌핑 속도가 900l/s 이상인 대형 하이브리드 터보 분자 진공 펌프의 개발은 저희의 끊임없는 개척 정신을 잘 보여주는 성과 중 하나입니다.
1850 – 1863: The beginning of Leybold
Businessman Ernst Leybold laid the foundation when he moved from Rothenburg ob der Tauber to Cologne in 1850 and founded his first company, which began as a sales and import business for medical glassware, ointment pots, thermometers and scales. In 1854, Leybold expanded his line of products to include physical, pharmaceutical and chemical equipment. In 1863, he finally took over the company under the name E. Leybold.
1870 – 1876: Sale to Emil Schmidt and Otto Ladendorff
In 1870, Ernst Leybold sold his business, which, however, continued to operate as E. Leybold’s Nachfolger.
In 1871, the product line included as many as 585 pieces of physics equipment, as well as “Physics Cabinets” (complete collections of equipment and instruments) which were offered for the first time. Our company’s history proudly records an order received from Quito University, Ecuador, worth 30,000 Thalers (approx. 250,000.- dollars by Today’s standards). This established us as a company of international reputation. In 1876, the first catalogue of physics equipment was published for use in secondary and high schools. This product line was gradually expanded to include chemical apparatuses for laboratories. A special brochure on Crookes’ experiments followed four years later, from which we quote the following, “There is no doubt that the new and often exciting developments in high vacuum will incite further experiments”. To demonstrate such experiments, the Toepler Pump, an early positive displacement vacuum pump which was manually operated by alternately raising and lowering a mercury column, was included in the catalogue.
1906: Innovations of undiminished importance
Our triumphal procession of vacuum technology began in 1906 through collaboration with Dr. Wolfgang Gaede, Professor of Physics in Karlsruhe. Leybold’s cooperation with Gaede was correspondingly fruitful. It produced important innovations that are still relevant today: the invention of the molecular air pump, the basic principle of the turbomolecular pump (1911) and the use of the diffusion pump (1913). Diffusion pumps have no moving parts.
1913: The beginning of vacuum metallurgy
Dr. Wilhelm Rohn, head of the Physical Test Laboratory at W.C. Heraeus GmbH in Hanau, developed a process for melting highpurity metals under vacuum. This enabled considerable quality improvements to steels and nonferrous metals.
1931: Wilheim C. Heraeus succeeded in vaporizing metals onto glass
This was another milestone in vacuum coating technology. In the same year, E. Leybold’s Nachfolger, Dr. Manfred Dunkel, took over as our managing director and successfully led the company until 1967. This era was significant, as vacuum technology was increasingly used in industrial applications during this time. Accordingly, in addition to technical and scientific knowledge, significant management skills were also required in order to transfer the findings to process engineering applications.
1934: On December 13, Gaede received the Siemens Ring
The Siemens Ring Foundation was established by industry and scientific representatives in Germany in 1916 to commemorate Werner von Siemens’ 100th birthday. In accordance with §1 of its statutes, the foundation pursued the goal of honoring individuals “who have rendered outstanding and generally recognized services to technology in conjunction with science. ... [ The Siemens Ring ] should therefore be awarded to representatives of technology who have stimulated science through their achievements as well as to representatives of science who have opened up new areas of technology through their research.”
1957 – 1967: These 10 years are characterized by the expansion and extension of our product portfolio.
Our most significant new designs center around “roots pumps” (today, referred to as “roots blowers”), “which meet the requirements of large-scale industry”. The catalogue reads: “Modern vacuum process engineering requires high flow rates in the fine vacuum range for a significant part of its processes. In fine vacuum processes, for example, large quantities of gas and water vapor are produced at pressures below 1 torr. Vacuum technology is therefore faced with the task of economically/efficiently pumping off these quantities of gas.” Major effort was dedicated to the fields of vacuum impregnation, chemical processing, pharmaceuticals and the freeze-drying of foods as well as high and ultra-high vacuum coating plants, metal degassing, etc. At the same time, we continued on a large scale the development of standard vacuum components, such as pumps, valves and gauges for all vacuum pressure lines, leak detectors and the steady expansion of its line of scientific and technological teaching tools.
1967: The merger of E. Leybold’s Nachfolger with Heraeus Hochvakuum GmbH was confirmed.
The new company was named Leybold-Heraeus GmbH, and its shares were equally divided among Degussa, Metallgesellschaft and W.C. Heraeus
1975: Our magnetically-levitated turbomolecular pump was introduced.
In the mid-1970s, a new era of high vacuum technology officially began and was referred to as “the era of the magnetically-levitated turbomolecular pump”. We were the first vacuum company in the world to make such a pump commercially available. In the 1980s and 1990s, the magnetically-levitated turbo molecular pump became the most important high vacuum pump in the semiconductor industry, due to it being a hydrocarbon-free high vacuum pump. Electromagnets are used in the “bearing” of the rapidly-rotating inner parts.
1983: The TRIVAC B oil-sealed rotary vane vacuum pump with integrated oil pump made its debut, and achieved great success.
This type of pump is, in fact, still widely used in many vacuum applications today. For customers who are able to accept oil molecules in their vacuum tanks, the rotary vane vacuum pump makes for an extraordinarily powerful and reliable pump for both rough and fine vacuum.
1989: Our first turbomolecular pump with intelligent drive management was introduced.
Our first turbomolecular pump with intelligent drive management was introduced.
1996: Leybold establishes a subsidiary in Tianjin, China – Oerlikon. Our first Chinese location.
We founded a wholly-owned subsidiary in China in order to leverage the high potential of this emerging economic region and customer proximity from 1998 onwards.
2001: Our SCREWLINE dry compressing vacuum pump is introduced.
Our SCREWLINE dry compressing vacuum pump is introduced.
2004: Our opening of the new Cologne production facility
Our opening of the new Cologne production facility for high vacuum technology allowed Leybold to meet increased requirements in research and development work
2006: Cryo pump production begins in Dresden, Germany.
Supported by economic growth, the UNAXIS Group was renamed Oerlikon. We operated under the name Oerlikon Leybold Vacuum.
2007: SCREWLINE dry screw pump for robust applications is launched.
With today’s demanding research and industrial applications, dry compressing screw pumps like the SCREWLINE are the preferred backing pumps. Compared to oil-sealed pumps, they’re more powerful and reliable, and their design allows for their use wherever reliable, compact and low-maintenance vacuum solutions are required. A major advantage is that they add a high degree of flexibility to various fields of application. In addition, they can be cleaned onsite by the customer during production breaks. Various connections also allow for easy integration into all systems.
2009: Expansion of the roots pump product line.
We launched the RUVAC WH roots vacuum pump, which adds a high degree of flexibility to various fields of application. In addition, it can be cleaned onsite by the customer during production breaks. Various connections also allow for easy integration into all systems.
2010: Our new dry compressing vacuum pump, the DRYVAC, celebrates its debut.
This pump is also based on dry screw technology and combines a compact design with features, including quiet operation, low-waste heat and low-cooling water consumption. An integrated frequency converter reduces installation effort.
2011: We launched the MAGiNTEGRA, a flexible high vacuum pump, for the solar and coating markets.
Our TURBOVAC MAGiNTEGRA magnetically-levitated turbo molecular pumps don’t require the space that’s usually necessary for a separate frequency converter and provide a compact, flexible design, excellent vacuum performance and a standardized line of accessories. It offers maintenance-free operation in most industrial processes, such as display, solar, coating and R&D applications.
2014: Inauguration of our new logistics hub in Cologne, Germany. This year marked a great leap in vacuum technology with the launch of the TURBOVAC i.
Modern analytical instrumentation requires highly-developed components. In mass spectrometers particularly, these components need to be precisely matched to each other. Thanks to new turbomolecular pumps, analysis throughput is increased significantly. We have confronted these performance challenges and have designed their innovative line of turbomolecular pumps. TURBOVAC i pumps: tailor made for the analytical instrumentation market.
2015: We shift the service activities to Dresden, forming the EU center for service competencies.
We shift the service activities to Dresden, forming the EU center for service competencies.
2016: We are acquired by Atlas Copco.
The Swedish company, Atlas Copco AB, acquired 100 percent of Leybold. Atlas Copco is a multi-brand group with customers in more than 180 countries and approximately 40,000 employees. We are now part of Atlas Copco’s Vacuum Technique Business Area. Atlas Copco relies on our traditional brand strength and complements the innovative technological expertise and market presence of the Swedes.
2017: PHOENIX 4
After 15 years, we launched the PHOENIX 4, a new family of helium leak detectors which meet increasing quality requirements. This innovative product is equally suited to the demands of research and development as for industrial applications - from securing the ultra-high vacuum demands of CERN’s particle accelerator to industrial applications, such as leak detection in the Hyperloop vacuum transport system, or for the production of semiconductors.
2017: SCROLLVAC plus
Users in research and industry increasingly rely on dry and robust vacuum solutions, which also provide flexibility of use. With the modernized, air-cooled SCROLLVAC plus, we offer a simple, new and reliable fore vacuum pump which meets these requirements.
2018: SOGEVAC Neo D
The new generation of SOGEVAC vacuum pumps: triple-hitting vacuum technology for cleaner, quieter, longer-running performance.
2018: VARODRY
We designed and produced the new VARODRY vacuum pump series in Germany, specifically for industrial processes. Give yourself one less headache. With VARODRY, vacuum can be easy, efficient, reliable and dry.
2019: NOVADRY
Until today, oil-sealed rotary vane pumps were the norm in the food processing industry. However, using such pumps bears risks, as the pump oil can end up polluting your workspace or, even worse, your food. To avoid these risks and to ensure product freshness, we have developed the “NOVADRY”. This 100% oil-free vacuum pump revolutionizes the market.
2020: ECODRY plus
Dry, multi-stage technology receives further development with the new ECODRY plus generation which combines the advantages of a smaller size, smart operation, fast pump down times and environmental friendliness. These new dry compressing pumps are particularly well-suited for the operation in analytical applications.
2020: TURBOVAC i
The development of larger hybrid turbomolecular vacuum pumps, with pumping speeds above 900 l/s, is one of the achievements which highlights our ever-lasting pioneering spirit.
