LEYSPEC residual gas analyzer

LEYSPEC

잔류 가스 분석기

올인원 RGA로 간편하고 직관적인 조작

버튼을 누르면 주요 가스의 분압을 표시할 수 있으며, 공정에 추가 가스가 포함된 경우 여분의 디스플레이 채널에 해당 가스를 할당할 수 있습니다. 

높은 베이크아웃 온도 덕분에 LEYSPEC는 고진공 및 초고진공 환경에서 사용하기에 적합합니다. 

어떤 혜택이 있을까요?

콤팩트하고 간편한 디자인

모든 모델에는 다음이 함께 제공됩니다.

  • 쉽고 빠른 작동을 위한 통합 디스플레이
  • 정교한 테스트 절차 및 잔류 가스 분석을 위한 LEYSPEC 소프트웨어

크기는 작고 어떤 방향으로든 장착 가능한 LEYSPEC 제품군은 다양한 내장 상황에 완벽하게 대응합니다.

직관적인 인터페이스 덕분에 LEYSPEC 잔류 가스 분석기는 매우 쉬운 작동을 제공합니다. 버튼을 누르면 주요 가스의 분압을 표시할 수 있으며, 공정에 추가 가스가 포함된 경우 여분의 디스플레이 채널에 해당 가스를 할당할 수 있습니다.

LEYSPEC 소프트웨어

지능적이고 직관적인 LEYSPEC 소프트웨어가 완벽한 제품 제공을 가능하게 해줍니다.

사용자 친화적인 인터페이스를 통해 간단한 작업부터 복잡한 분석까지 다양한 사용 사례를 이용할 수 있습니다. 레시피를 만드는 것은 빠르고 편리한 만큼 쉽습니다.

작동 중에 총 압력이 표시되고 분석 목적에 맞게 스캔 모드, 트렌드 모드 또는 아날로그 모드와 같이 다양한 보기 중에서 선택할 수 있습니다.

고감도로 정확한 잔류 가스 분석

LEYSPEC 제품군은 극소량의 오염 물질 또는 공정 가스도 검출할 수 있습니다.

구성 요소를 확인 및 표시하여 가스 순도를 확인합니다. 이를 통해 LEYSPEC는 가스 오염 물질을 식별하고 공정 성능 및 수율을 전반적으로 최적화하기 위해 추가 공정 및 장비 제어를 수행할 수 있습니다.

유연성

새로운 LEYSPEC 시리즈는 질량 분석 장비의 모든 응용 분야에 적합한 솔루션입니다.

이 제품군은 공정 요구 사항에 따라 100, 200 또는 300amu 솔루션을 제공합니다.

고급 기능

사전 설치된 소프트웨어 기능을 통해 헬륨 누출 테스트 또는 선택 가능한 가스에 대한 경고 및 오류 수준 설정과 같은 많은 추가 기능과 테스트 절차를 수행할 수 있습니다.

시동 또는 대기 노출 후 간단한 공정 탈기를 위해 프로그래밍 가능한 탈기 기능이 구현되었습니다.

배경 억제를 통해 중요한 피크에 초점을 맞출 수 있습니다.

최대 300°C의 높은 베이크아웃 온도

이 높은 베이크아웃 온도는 LEYSPEC을 정교한 고진공 및 초고진공 응용 분야에 적합합니다.

혹독한 환경에서도 안정적인 가스 분석을 수행할 수 있습니다.

작동 원리

측정 셀은 열음극 이온화 진공 게이지입니다. 전자는 뜨거운 필라멘트에서 방출되어 전기 바이어스를 통해 공급원으로 가속됩니다. 빠르게 움직이는 전자는 가스 분자와 충돌하여 전자를 분해하고 이온화합니다. 기체 양이온은 음전하를 가진 이온 수집기에 전류를 공급합니다. 이온 전류는 압력에 비례하며, 이온이 많을수록 이온 전류가 높아집니다. 사중극자 배열은 4개의 스테인리스강 로드로 구성됩니다. 모든 로드에 직류 및 고주파 전압이 적용되며, 이를 통해 복잡한 자기장이 생성되고 전압을 변화시켜 자기장이 제어됩니다. 

그 결과로 발생하는 진동은 특정 질량의 이온만 통과하여 "날아가" 감지부에 도달할 수 있게 합니다. 

  • 적절한 질량 대 전하비(m/e)를 가진 이온은 극을 통해 안정적인 3차원 궤도에서 진동합니다. 
  • 잘못된 m/e 이온은 제어력을 벗어나 극과 충돌합니다.

이온이 이온 수집기에 도착하여, 필터를 통과한 상대적으로 풍부한 이온을 측정한 출력 전류를 제공합니다. 그런 다음 m/z 비율에 대한 이온 전류 또는 분압이 장치 또는 소프트웨어에 표시됩니다.

위에서 설명한 작동 원리에 기반하여, LEYSPEC RGA는 가스 조성을 확인 및 표시하여 가스 순도를 확인합니다. 이를 통해 LEYSPEC는 가스 오염 물질을 식별하고 공정 성능 및 수율을 전반적으로 최적화하기 위해 추가 공정 및 장비 제어를 수행할 수 있습니다.

모듈식 플랫폼, 간편한 서비스

높은 감도로 인해 LEYSPEC 잔류 가스 분석기는 매우 적은 미세량의 오염물질 또는 공정 가스를 감지할 수 있습니다. 이 제품은 100, 200 및 300amu를 위한 다양한 솔루션을 제공합니다. 혹독한 환경에 대비해 최대 300°C에 달하는 베이크아웃 온도를 적용할 수 있습니다.

LEYSPEC는 자체 소프트웨어와 통합 제어 및 디스플레이 장치를 사용하여 직관적으로 작동할 수 있습니다. 컴퓨터에 연결하지 않고도 간단한 잔류 가스 분석을 수행할 수 있습니다. 버튼을 누르면 주요 가스가 표시되고 여분의 디스플레이를 통해 추가 가스가 표시될 수 있습니다.

고진공 시스템에서 까다로운 테스트 절차 및 잔류 가스 분석에도 적합합니다.

헬륨 누출 테스트, 선택 가능한 가스에 대한 경고 및 오류 수준, 시동 또는 환기 후 탈기 기능과 같은 LEYSPEC의 사전 설치된 기능이 있는 이 잔류 가스 분석기는 모든 시스템에 매우 유용합니다.

LEYSPEC - Residual Gas Analyser

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