압력 스위치 및 제어 기기
빠르고 정확한 압력 제어
- PS 115/PS 113 압력 스위치
- MR 16/50 및 CMOVE 압력 조절기
PS 115/PS 113
가변식 및 고정식 저압 스위치
가변식 압력 스위치 PS 115와 고정식 저압 스위치 PS 113 A는 배기 후 압력이 대기압 수준에 도달했는지 여부를 나타냅니다.
PS 113 A에서 다이어프램 압력 스위치는 대기압보다 6mbar(4Torr) 낮은 트리거로 설정됩니다. PS 113 A는 EPDM 다이어프램을 사용하므로 공정 가스에 헬륨을 많이 포함하고 있는 응용 분야에는 적합하지 않습니다.
PS 115는 FPM 씰링 및 스테인리스강 구조로 되어 있어 부식성 환경에 훨씬 적합합니다. 0.5~2,000mbar(0.4~1,500Torr) 사이에서 조절할 수 있습니다.
차압 어댑터(선택 사항)를 통해 PS 115는 절대 센서가 아닌 차압 스위치로 작동하도록 변환할 수 있습니다.
어댑터는 나사 체결식이며 씰링 배열을 가진 DN 16 ISO-KF 플랜지로 구성되어 있으며 조정 밸브 대신 PS 115에 나사로 고정되어 있습니다. 작동 범위는 2,000mbar(1.500Torr)까지 확장됩니다. 전환 정확도의 저하 없이 3,000mbar(2,250Torr)까지 짧은 과부하가 허용됩니다. 이러한 작동 범위에서는 고정 나사를 사용하여 +5~-20mbar(+3.75~-15Torr)의 차이 값을 조정할 수 있습니다.
압력 스위치의 다이어프램 접점 한쪽은 접지에 연결되며 최대 24V/10mA로 정격 연결됩니다.
고전압 또는 고전류의 경우 스위칭 증폭기가 필요합니다. SV110에는 강력한 부동식 전환 접점이 있습니다. 압력이 압력 스위치에 설정된 전환 임계값 아래로 떨어지면 바로 출력 릴레이에 전원이 공급됩니다.
전기 연결은 나사식 단자로 공급되며 PG 피팅을 통해 플라스틱 인클로저에서 외부로 나옵니다.
MR 16/50 및 CMOVE 압력 조절기
다이어프램 압력 조절기 MR 16 또는 50은 절대 압력 조절기로, 외부 전원을 공급할 필요 없이 가스 양에 따라 진공 펌프의 펌핑 속도를 자동으로 조정합니다.
전자 압력 제어 계통 C MOVE는 전자 제어 밸브 MOVE 1250 또는 MOVE X와 함께 연결되어 개별 구성된 압력에서 가스 흐름을 제어합니다.
C MOVE는 간단하고 신속하며 정확한 압력 제어를 목표로 하는 모든 응용 분야에 매우 적합합니다.
인터페이스 모듈 MOVE 1250은 RS 232C 인터페이스를 MOVE 1250 제어 밸브의 디지털 인터페이스에 연결합니다.
CMOVE에는 선명한 LCD 디스플레이와 기능 키가 장착되어 있으며 PLC 시스템에 간단하게 통합할 수 있습니다. 또한 밸브 자체는 유지 보수 주기 동안 쉽게 분해 및 청소할 수 있습니다.
- 가스 처리량 제어 향상
- 가변식 가스 유량(업스트림 조절) 또는 가변식 컨덕턴스(다운스트림 조절)를 통한 전동식 압력 제어
- 아날로그/디지털 입력/출력 및 인터페이스
- 스위칭 정확도 향상(±0.1mbar) 및 고용량
- 안정적인 장기간 작동 특성
- 견고함, 부식 방지 디자인
