초고진공 응용 분야
UHV 상태: 정부 연구소, 학계, 민간 산업에서 수행하는 대부분의 복잡한 연구를 위한 필수 조건입니다.
국립 실험실, 대규모 대학, 산업 모두 필요한 진공 수준을 달성하기 위해 광범위한 진공 장비를 사용합니다.
이러한 조직 중 다수는 고도로 특화된 진공 펌프, 기기, 시스템에 대해 아트라스콥코에 의존하고 있습니다.
UHV는 약 10-9mbar(10-7Pa)보다 낮은 압력으로 특징지어지는 진공 상태입니다.
초고진공 상태는 많은 표면 분석 기법에서 표면 오염을 줄이는 데 필요합니다. 대표적인 예는 X선 광전자 분광법(XPS), 오거 전자 분광법(AES), 보조 이온 질량 분광법(SIMS) 또는 전계 방출 현미경법(FEM)입니다.
분자선 에피택시(MBE)와 원자층 증착(ALD)처럼 순도에 관한 엄격한 요구 사항이 적용되는 박막 성장 및 준비 기법에도 UHV 상태가 필요합니다.
입자 가속기나 중력파 감지기 같은 연구 응용 분야에서 초고진공 상태는 주로 빔과 가스의 상호 작용을 줄이고 외부 환경에서 발생하는 원치 않는 교란을 제한하는 데 도움이 됩니다. 이러한 진공 수준을 달성하려면 특수 소재와 펌핑 원리를 사용해야 합니다.
Leybold는 야심 찬 UHV 응용 분야에서 사용할 수 있는 다양한 고급 진공 솔루션을 제공합니다. Leybold의 구성품, 시스템 솔루션 및 애프터세일즈 서비스는 전 세계 주요 연구 센터에서 이점을 제공하고 있습니다.
아트라스콥코의 장점
- 다단 루츠 펌프
- 스크롤 펌프
- 터보 분자 펌프(TMP)
- 극저온 펌프
- 이온 게터 펌프 및 컨트롤러
- 티타늄 승화 펌프
- NEG 펌프
- UHV 하드웨어, 밸브, 피팅
- UHV에 이상적인 배압 펌프
- 극저압
- 초저소음 <52db(a), 저진동
- 오일 또는 입자 때문에 오염되지 않음
- 수년 간 유지보수 불필요
- 무급유식
- 저소음 55db(A)
- 10분 안에 고객 팁 씰 교체
- 초극저압
- 완전한 터보 분자 펌프 및 시스템 제품군
- 탄화수소 없이 진공 생성
- 극저압
- 빠른 가벼운 가스 펌핑 속도
- 적은 유지보수 요구 사항
- 플러그 앤 플레이 펌프 시스템
- 뛰어난 수증기 펌핑 기능과 적은 유지 관리를 지원하는 COOLVAC 극저온 펌프
- 깨끗하고 건조한 진공 생성
- 액체 헬륨과 액체 질소 없이 극저온을 생성하는 COOLPOWER 냉각 헤드
- 탄화수소 없이 XHV 제품군 작동
- 가동 부품 없음, 작동 소음 없음
- 무진동
- 온도, 방사선 및 자기장에 대한 우수한 내성
- UHV 시스템의 잔류 가스 제거에 이상적
- 매우 빠른 반응성 가스 펌핑 속도
- 단순하고 경제적
- H2(UHV/XHV 내 주요 잔류 가스)에 대한 높은 차단 효율
- 무진동 작동
- 무급유식
- CF 플랜지가 있는 다양한 UHV 밸브, 하드웨어 및 피팅
- 누출률이 가장 저가스 흡수 소재
- 높은 베이킹 온도
고진공, 초고진공, 극고진공: 기본
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