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Active capacitance vacuum manometer

CERAVAC CTR

정전 용량 압력계

CERAVAC을 선택해야 하는 이유

Leybold CERAVAC CTR 정전 용량 압력계는 최신 인코넬 다이어프램을 사용하여 안정성, 내부식성 및 긴 수명을 제공합니다. 또한 이 셀은 일시적으로 과도한 압력 폭발에 견딜 수 있습니다. 즉, 공정 중 사고가 발생하여도 게이지를 손상하지 않으며, 수리/교체로 인한 가동 중지 시간이 발생할 수 있습니다. 이 솔루션은 수십 년 동안 1,000~0.1torr에 이르는 전체 스케일 옵션과 결합하여 수십 년에 걸쳐 압력을 제어할 수 있게 함으로써 압력 제어의 골드 표준을 이룬 완벽한 솔루션입니다. 

CERAVAC CTR 정전 용량 압력계는 기계적 부하가 있을 때 반도체 물질의 저항에 변화를 나타내는 원리를 기반으로 합니다. 차이점은 용량성 게이지에서 다이어프램의 변위는 기계적으로 측정되지 않고 전기적으로 측정됩니다. 따라서 용량성 게이지는 보다 정확하며 높은 압력에서 정확한 측정을 위한 표준으로 간주됩니다. 이러한 원리를 사용하는 정전 용량 게이지는 피에조 압력 측정 게이지보다 훨씬 빠르게 반응하므로 압력 제어 루프에 자주 사용됩니다. 

사용자 이점

1.000torr~0.1torr 전체 스케일 및 1.000torr~1e-5torr 압력 측정

장기간 안정성과 높은 과압 등급으로 뛰어난 정확성

인코넬 센서 및 316 스테인리스강 입구 측 플랜지

주위 환경에 관계없이 온도 보상이 매우 우수함

직렬 인터페이스(RS 232 프로토콜) 및 아날로그 0~10V

모든 게이지에 대한 최종 보정 테스트 보고서

CERAVAC CTR 100 N/CTR 101 N

CERAVAC CTR 송신기는 Inconel®로 만들어진 다이어프램이 있는 액티브 센서입니다. 

이를 통해 재현성이 높은 우수한 정확도(최대 0.12% rdg.)를 보장합니다. 

CERAVAC은 내성이 강한 재료 성분으로 인해 매우 공격적이고 부식성이 강한 용도에도 적합합니다. CTR 100 N과 CTR 101 N은 모두 1,000torr~0.1torr 범위의 전체 스케일로 제공됩니다. 따라서 환경에 관계없이 높은 수준의 정확도로 1,000torr에서 10-5torr까지 측정할 수 있습니다. 스테인리스강 센서와 마이크로프로세서 기반 전자 장치는 뛰어난 정확도와 재현성을 제공합니다.  

CERAVAC 게이지는 GRAPHIX 시리즈 컨트롤러를 통해 또는 게이지의 출력을 통해 진공 제어 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 아날로그 0~10V 선형 출력과 RS232 출력이 모두 있어 PLC에서 게이지의 추가 측면을 디지털 방식으로 통신하고 제어할 수 있는 옵션을 제공합니다. 

CTR 100 N 및 CTR 101 N은 가스 형태의 독립적인 압력 측정이 가능하며 물리적 손상이나 보정 전환 없이 압력 폭발을 견딜 수 있습니다. 강력한 센서는 일반적인 공정 화학 물질에 의한 부식에 강한 내성을 가지므로 부식성이 가장 높은 공정에 적합합니다. 

CTR 101 N의 센서는 내부적 가열 및 45°C로 조절되어 시스템의 게이지 헤드/저온 지점에서 특정 가스가 응축되는 것을 막을 뿐만 아니라 게이지의 정확성도 높여 줍니다. 특히 더 낮은 압력으로 측정할 경우 더욱 그렇습니다. 

당사의 CERAVAC CTR 게이지는 유지 보수가 거의 필요하지 않습니다. 견고한 인코넬 감지 셀과 제로 드리프트에 대한 강한 내성은 일단 장착되면 몇 년 동안 정확한 측정을 제공할 수 있다는 것을 의미합니다. 또한 게이지의 측정 범위 전반에 대한 성능을 보여 주는 최종 테스트 인증서도 함께 배송되므로 모든 게이지에서 얻을 수 있는 성능에 대해 안심할 수 있습니다. 

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