태양광 코팅
태양광 코팅
태양광 패널의 생산은 웨이퍼 기반 및 박막의 두 가지 기술로 나눌 수 있습니다.
웨이퍼 기반 태양광 전지 생산 시 첫 번째 진공 단계는 실리콘 웨이퍼의 제조입니다. 이들은 DSS 또는 Czochralski 크리스탈 증착 공정에서 진공 상태에서 생산되는 단결정 또는 다결정 잉곳으로 절단됩니다(자세한 내용은 크리스탈 풀링 참조).
또 다른 중요한 진공 단계는 층 스택의 앞면과 뒷면에 스퍼터링되는 투명 전도성 산화기(PVD TCO) 코팅 단계의 물리적 증기 증착입니다.
박막 태양광 전지 생산에는 CIGS(구리, 인듐, 갈륨, 셀레늄)와 CdTe(카드뮴, 텔루륨)의 두 가지 주요 기술이 있습니다. 두 활성 층 스택은 여러 공정 단계에서 진공 코터에 적용됩니다. 다시 한 번 PVD TCO 코팅은 층 스택의 앞면과 뒷면에 스퍼터링됩니다.
새로운 이형 접합(HJT) 기술은 화학적 증기 증착(CVD) 단계와 잘 알려진 PVD 전면 및 후면 접촉 코팅을 결합합니다. CVD 코팅 단계는 비정질 또는 미정질 기준으로 적용됩니다. Leybold의 이 기술이 적용된 수 많은 펌프가 전 세계에 설치되어 있습니다.
모든 진공 공정은 일반적으로 가장 짧은 사이클 시간으로 작동하는 대형 인라인 코팅 기계에서 수행됩니다. Leybold는 처음부터 이 기술을 지원했으며 광범위한 전문성을 보유하고 있습니다. 빠른 부하 로드 록 펌핑을 위해, Leybold는 POWERBOOST 시스템을 개발했습니다. 다른 특수 DRYVAC/RUVAC 펌프 시스템은 CIGS 및 CdTe와 같은 까다로운 응용 분야에서 가장 신뢰할 수 있는 솔루션으로 입증되었으며 최고의 공장 가동 시간을 보장합니다.
HJT는 공정 중에 다량의 먼지를 발생시키고 H2와 더불어 독성 도핑 가스를 사용하므로 훨씬 더 까다로운 작업입니다. 밀폐된 상태의 DRYVAC은 여기에서 뛰어난 성능을 제공하며, 이러한 공정을 처리하기 위해 펌프 재료가 특별히 선택됩니다.
