Gasanalyse und Massenspektrometrie
Sie erfahren, warum die Gasanalyse für die Vakuumtechnik von entscheidender Bedeutung ist und wie ein Massenspektrometer funktioniert. Sie lernen das Prinzip der Druckumwandlung und andere wichtige Spezifikationen beim Betrieb von Massenspektrometern kennen. Dieser Abschnitt behandelt auch Partialdruckmessungen und die Grundlagen der Ionisierung.
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Gasanalyse und Massenspektrometrie
Grundlagen der Vakuumtechnik
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Referenzen
- Vakuumsymbole
- Glossar der Einheiten
- Verweise und Quellen
Vakuumsymbole
Eine Übersicht der Symbole, die in der Vakuumtechnik häufig für Diagramme mit Pumpentypen und Pumpensystemkomponenten verwendet werden
Glossar der Einheiten
Eine Übersicht der Maßeinheiten in der Vakuumtechnik, die Bedeutung der Symbole und die modernen Pendants historischer Maßeinheiten
Verweise und Quellen
Verweise, Quellen und weiterführende Literatur zu den Grundlagen der Vakuumtechnik
