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主動式、被動式和組合式真空計的定義

真空計類型可分為主動式 (包括單儀錶頭與組合式儀錶頭) 和被動式真空計。所有真空製程都有合適的真空計類型。Leybold 提供完整的真空計系列,正如我們為各種適用製程提供多種幫浦一樣。基本真空計類型的基本特性如下所述。一如既往,如果您有任何特定需求,或在真空計選擇過程中需要協助,請與我們聯絡,我們很樂意協助您。

主動式真空計的功能

主動式真空計包括控制裝置的電子裝置和實際感應器。這代表主動式真空計是配備齊全的儀器,將儀錶頭和驅動電子裝置裝在精巧的單元內。感應器零件會從測量到的訊號產生電量。
這些真空計通常需要 24 V DC,然後提供與壓力相關的 0 - 10 V 輸出。透過電子裝置的烘乾溫度限制在 <212 °F (<100 °C),因此只有在連接電子裝置的情況下,才能進行有限度的烘乾。移除電子裝置後,可在通常高達 150 °C 的溫度下進行烘乾。

線性化輸出訊號不論是類比或數位,都表示纜線上沒有傳輸錯誤。真空計纜線已經過標準化,且管線不會對測量的壓力值造成影響。
控制器只是一個顯示裝置,所以電源供應是來自廠房。訊號的顯示是在中央顯示幕上。壓力是以類比量測或透過數位介面來表示。數位真空計與控制器無關 (主動),並且會依序傳達測量值。 
另外也請務必注意,主動式真空計對輻射和磁場敏感。

組合式感應器真空計或組合式真空計

正如其名,組合式真空計會在單一真空計中結合各種測量原理。這代表可消除個別的弱點,作業安全性因而得以提高,並且也更具成本效益。兩個感應器只能使用一種量測方式,並共用單一外殼、單一連線和單一顯示器。組合式真空計也能在更大的範圍內提供更佳的壓力監控能力。組合式真空計的範例為 Pirani/冷陰極真空計 – 請參閱 間接壓力量測頁面以取得更多詳細資料。 

被動式真空計的功能

與主動式真空計不同,被動式真空計只包含感應器,而不包含電子裝置。被動式測量裝置會將量測零件與驅動電子裝置完全分開。裝設在系統的儀錶頭僅包含實體量測所需的零件,且所有其他電子裝置都包含在控制裝置中。通常控制裝置也裝有類比電壓輸出、切換點繼電器觸點和數位介面。

被動式真空計可直接測量感應器訊號,且纜線會影響測量訊號。因此視指示器類型而定,會需要使用特定纜線。
控制器同時也是測量裝置,因此電源供應僅由控制器提供。以此類推,顯示器僅位於控制器上。
與主動式真空計相較之下,被動式真空計更可耐受輻射和高烘乾溫度。

維護

最後,也請務必注意,如同任何設備,真空計的維護對於令其功能符合預期標準扮演著重要角色。為了確保壓力讀數的可靠度,所有類型的真空計基本上都必須保持乾淨。 

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參考

真空符號

作為幫浦系統中幫浦類型與零件之視覺表示的真空技術圖中常用符號的詞彙表

 

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單位詞彙表

真空技術中使用之測量單位與符號意義,以及歷史單位之現代對應項的概觀

 

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參考與來源

與真空技術的基本知識相關的參考、來源與進一步閱讀

 

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