有哪些不同類型的法蘭與真空密封件？
一般而言，法蘭會提供金屬真空零組件、幫浦、閥、管件等中的可拆卸接頭。Leybold 的粗、中度與高真空真空零組件配備了下列標準化法蘭系統：
- 額定寬度 10、16、20、25、32、40 與 50 mm 的小型法蘭 (KF) (快速連接至 DIN 28 403)。根據技術委員會 ISO/TC 112 的 PNEUROP 建議及 ISO 建議，10、16、25 與 40 值為偏好寬度。如需完全連接兩個相同的法蘭，需要一個夾扣與一個中心環。
- 額定寬度 65、100、160、250、320、400、500 與 630 mm 的夾式法蘭 (ISO-K)。此外，這些法蘭也對應於 PNEUROP 與 ISO/TC 112 建議的寬度與構造。夾式法蘭由夾子與圈環連接在一起。密封需要中心環或墊圈。
- 與以上項目的額定寬度相同的螺栓法蘭 (ISO-F) (依循 PNEUROP 與 ISO/TC 112)。在特殊情況下，會使用額定寬度較小的螺栓法蘭。夾式法蘭與螺栓法蘭都依循 DIN 28 404。
額定寬度約等於法蘭的自由內徑 (以公釐為單位)；更大的偏差為例外，因此夾式法蘭 DN 63 的內徑為 70 mm。另請參閱表 XI)。
表 XI 額定內徑 (DN) 與具圓形橫截面的管子、管件與孔洞的內徑 (依循 PNEUROP)。
額定內徑約對應於管線零組件的內徑 (DIN 2402 - 1976 年 2 月)。實務上較偏好左欄的額定內徑系列。
真空接頭及其材料
高真空零組件由鋁或不鏽鋼製成。不鏽鋼稍微昂貴一點，但提供各種優點：較低的除氣率、防腐蝕性、可在最高 392°F (200°C) 的溫度下除氣、允許使用金屬密封件，以及相較於鋁，不鏽鋼更耐刮。
超高真空零組件由不鏽鋼製成，並有可耐高溫烘烤的 CF 法蘭。這些零組件，包括法蘭在內，都由系列生產製成，從 16 mm 的額定寬度開始一直到 250 mm。CF 法蘭可作為固定法蘭使用，也可作為可旋轉還狀法蘭使用。它們幾乎可以連結幾乎所有製造商的 CONFLAT 法蘭。銅墊圈可用於密封的目的。
基本上，法蘭不應小於所連接的連接管與零組件。當不抽排侵蝕性氣體與蒸氣，且真空系統未暴露於 176°F (80°C) 以上的溫度時，使用 NBR (別布橡膠) 或 CR (氯丁橡膠) 法蘭 O 型圈密封就足以滿足在粗、中度及高真空區域中的工作。在最終組裝真空系統前對其操作進行測試時，通常都屬於這種情況。
所有不鏽鋼法蘭都可在最高達 392°F (200°C) 的溫度下除氣而不會受到損害。但是，別布橡膠密封材料不適合作為法蘭密封劑，而是應該使用 VITILAN® (一種特殊的 FPM) 密封環及鋁製密封件分別允許最高達 302°F (150°C) 與 392°F (200°C) 的加熱製程。在此類除氣之後，將可在真空系統中達到下降至 10-8 mbar，也就是下降至 UHV 範圍的壓力。
產生低於 10-8 mbar 的壓力需要更高的烘烤溫度。如超高真空技術頁面所說明，在 UHV 範圍中工作需要基本不同的方法以及使用連接金屬密封環的 CF 法蘭。
氣體鎖與密封接頭
在許多情況下，最好不僅僅是能夠密封已充氣或抽真空的容器，而是還要處於能在未來時間檢查這些容器中的壓力或真空，並後抽真空或補充或交換充氣的位置。
這可以使用 Leybold 的密封接頭很輕鬆的達成，其可透過對應氣體鎖致動。已抽真空或充氣容器的小法蘭連接會由形成實際閥的小外殼在管內密封。致動所需的氣體鎖會在排空或填充氣體後去除。因此，一個氣體鎖就足以致動任何數量的密封接頭。圖 2.81 顯示的是此類安排的剖視圖。由 Leybold 製造的氣體鎖與密封接頭額定寬度為 DN 16 KF、DN 25 KF 與 DN 40 KF。它們都是由不鏽鋼製成。密封接頭的洩漏率小於 1 · 10-9 mbar l/s。它們可以承受高達 2.5 bar 的過壓，耐溫度可達 302°F (150°C)，並可由標準管口蓋板法蘭防塵。
圖 2.81 具有中心環與密封接頭的氣體鎖，剖視圖
典型應用範例為具有隔熱真空的雙壁容器，例如杜瓦瓶、液氣容器 (罐) 或長距離能源管線及其他許多例子。它們也可用於排空或後排空科學儀器密封接頭中的參考及支撐真空，並經常使用氣體鎖。之前需要永久連接幫浦，才能依需要進行後排空。透過使用具有密封接頭的氣體鎖，會為容器提供真空緊固密封件，而幫浦只有在檢查或後排空時才需要用到。
