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Turbomolecular Pumps

TURBOVAC MAGiNTEGRA

配備磁浮轉子的渦輪分子幫浦

整合式全功能的準確性、精準度和可靠性!

TURBOVAC MAGiNTEGRA 為磁懸浮幫浦,是一款強大且精巧的產品系列,適用於分析、環境、研究和具有挑戰性的工業鍍膜應用。

  • 高抽氣速度和氣體流量,適用於更快的抽空時間,以改善設備循環節奏。 
  • 5 軸主動式磁性軸承與驅動系統,結合高可靠性與安全且有效率的操作。
  • 完全整合的變頻器和電源供應器:不再需要傳統的機架式分離控制器和電纜相互連接。

基於安全考量,在斷電的情況下,MAGiINTEGRA 驅動系統會切換到發電機模式,以通過緩慢減速來保持轉子懸浮。 當電源恢復時,幫浦開始自動加速到正常速度。

MAGiNTEGRA 提供 IP 54 防護等級,是嚴苛工業應用環境中的理想幫浦;

這些磁性渦輪幫浦可用於壓力 10-1 mbar (0.75 x 10-1 Torr) 至 10-10 mbar (0.75 x 10-10 Torr) 的壓力範圍。對氣體的抽速從 300 l/s 到 2,200 l/s 不等。

TURBOVAC MAGiNTEGRA 幫浦主要安裝在需要以下條件的區域:

  • 無噪音且無震動的操作, 
  • 無碳氫化合物汙染,
  • 維護間隔時間長。

 

靈活性

這款高真空幫浦在任何安裝方向都具有高效能,而且可以輕鬆整合到您的系統中。

MAGiNTEGRA 渦輪分子幫浦為節省空間的選項,並且屬於潔淨的高真空與超高真空世代。

它們可選擇將控制器配置於側面或底部的靈活設計及其創新的模組化工業通信解決方案簡化了系統的整合。

適用於標準工業用途,例如:PVD、顯示器、光學與建築玻璃鍍膜。

可靠

TURBOVAC MAGiINTEGRA 對所有氣體都具有高抽速和高壓縮比。

其對於下列項目不敏感:

  • 處理微粒和粉塵
  • 大氣突入。

本系列產品不會造成碳氫化合物汙染的幫浦,可保證乾淨的高真空和超高真空環境。

結合複合式與典型渦輪轉子區段,以及整合式變頻控制器與電源供應器。

綜合以上各點以及極低的震動在在使其具有極高程度的操作可靠性。

低成本、維護時間短

在大多數應用中皆無需維護,具備監控和自我保護功能。

High Vacuum Pumps

PDF    14.3 MB

Product Overview 2021

PDF    11.6 MB

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