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Composing DIJ Oil Diffusion Pumps

DIJ

油擴散幫浦

高真空幫浦,具備高氣通量和抽氣速度

Leybold DIJ 系列的油擴散幫浦為高真空幫浦 (<10-2 mbar),採用先進的設計,具創新加熱器系統、特殊的主體結構及五級噴嘴系統,可更快地抽空製程腔室,降低能耗及更低的碳足跡。

DIJ 系列提供 < 10-2 mbar 壓力範圍內提供改善的氣體通量和穩定高真空壓力。在 < 5 x 10-1 至 10-7 mbar 的工作範圍內,抽速範圍為 3,000 l/s 至 33,000 l/s。

DIJ 具備先進的全新加熱概念、強大的五段式噴嘴系統、可變法蘭連接、多種電氣連接選配,包括高效率能源控制器 (EEC),且配備齊全,具有前線擋板和冷帽擋板。DIJ 五段式系統設計提供優異的性能。高抽氣速度的四個擴散幫浦階段,以及一個在 <10-2 mbar 的壓力下提供高氣體通量,並提供高前段真空穩定性的噴射段。多種 EEC 版本可提供額外增加的能源效率,能進一步節省能源並降低碳足跡。

Leybold DIJ 油擴散幫浦不太需要維護 (無造成磨損的旋轉零件),且操作容易。DIJ 系列採用創新且高效節能的結構,令人耳目一新。 

使用者的優勢

五段式噴嘴系統

冷帽擋板與前級真空擋板

創新加熱概念

不同法蘭 (ANSI/ISO)

多種電氣連接選擇以符合客戶需求

能源效率控制

DIJ Family

關鍵參數

抽氣速度 3,000 至 33,000 l/s

操作範圍 < 10-1 至 10-7 mbar

壓力範圍 < 10-3 mbar 的最佳抽氣速度

DIJ 系列提供

  • 穩定的高真空
  • 高抽氣速度
  • 高氣體輸送量
  • 安全且經濟實惠的設計
  • 符合 CE 標準的電子裝備
  • 操作簡易
  • 易於維護的設計,可快速輕鬆地更換加熱元件
  • 提供多種配件
  • 全球通用的彈性供電佈線
  • 創新能源效率控制 (EEC) 

DIJ 效益概覽

DIJ 系列提供了廣泛的增益功能,可為您的應用進行最佳化整合。

 

創新加熱概念

獨特的、創新的加熱概念,利用具有大面積熱交換表面的先進加熱匣,以最優化的能量傳遞至油中。 有效的溫度監控可防止系統過熱。 絕熱的加熱區確保最小的能量損失。

  • 熱應力最小化以延長加熱器及油品的使用壽命
  • 縮短加熱時間
  • 法蘭式加熱器,易於交換

五段式噴嘴系統

DIJ 幫浦配備全新的五段式噴嘴系統。前四級幫浦段能保證在低壓力下提供高抽氣速度,並形成更低範圍的高真空度。噴射段可產生高前級真空穩定性,和最佳化氣通量。

  • 高氣通量與抽氣速度
  • 整合式冷帽擋板,可將擴散油逆流降至最低

不同法蘭 (ANSI/ISO)

選擇法蘭版本以改善連接能力

  • ANSI/英吋法蘭 (O 形環密封)
  • ISO-F 或 ISO-K 法蘭 (密封定心 O 形環)

冷帽擋板與前級真空擋板

為了避免液體回流至真空腔室,DIJ 系列幫浦配備了經製程驗證的冷帽擋板,和最佳化的前級真空擋板。

  • 創新的新型前級擋板可減少擴散油損耗
  • 更好的製程參數
  • 減少擴散油回流

能源效率控制

節省高達 30% 的能源,且幫浦效能不打折扣

油擴散幫浦需要特定的最低油溫以進行操作。如果沒有控制器,則會持續使用 100% 已安裝的加熱功率來加熱擴散油。Leybold 用於擴散幫浦的創新高效率能源控制器可將功耗降低多達 30%,因為在幫浦達到其操作溫度後供應的功率會顯著降低。在較低溫度下使用待機模式,可進一步節省成本。 

  • 提升能源效率
  • 增加擴散油與加熱匣的運作時間
  • 優越的操作便利性和使用簡易性
  • 簡單的視覺化參數監控
  • USB 介面與乙太網路連線
    DIJ 10 DIJ 320 DIJ 16 DIJ 500 DIJ 20 DIJ 630 DIJ 32 DIJ 800 DIJ 35 DIJ 1000
High vacuum   10'' ANSI 320 ISO-K 16'' ANSI 500 ISO-K 20'' ANSI 630 ISO-K 32'' ANSI 800 ISO-F 35'' ANSI 1000 ISO-F
fore vacuum connection   2'' ANSI 63 ISO-K 3'' ANSI 100 ISO-K 4'' ANSI 160 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K 6'' ANSI 200 ISO-K
Pumping speed for    

Air < 8 x 10-4mbar

l/s 3000 6800 10800 21000 33000

Argon < 1 x 10-4 mbar

l/s 2750 6350 9500 18000 26000
Operating range  mbar < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-7  < 10-1 - 10-6 < 10-1 - 10-6
Ultimate total pressure  mbar < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 5 · 10-7 < 1 · 10-6 < 1 · 10-6
Mains voltage    3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE 3 ~ 400V /N/PE
depending on variant, 50/60Hz   3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE 3 ~ 460V /N/PE
Heating power kW 3,6 7,2 10,8 21,5 21,5
Weight, approx. kg 95 152 230 570 610
Oil diffusion/Oil Vapor Jet Pumps

PDF    979.4 kB

DIJ 系列的油擴散幫浦非常適合工業應用作業:

  • 真空鍍膜
  • 冶煉
  • 真空爐
  • 真空乾燥
  • 太空模擬
  • 研究與開發
  • 機械工程
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