DIJ

油擴散幫浦

高真空泵浦，具備高氣體輸送量和抽氣速度

Leybold DIJ 系列的油擴散泵浦為高真空泵浦 (<10^-2 mbar)，採用具創新加熱器系統、特殊本體結構及五段式噴嘴系統的先進設計，可加快製程腔體的泵浦抽氣速度、降低能源消耗並減少碳排放量。

DIJ 系列提供 < 10^-2 mbar 範圍的較佳氣體輸送量和穩定高真空壓力。在 < 5 x 10^-1 至 10^-7 mbar 操作範圍，泵浦抽氣速度範圍為 3,000 l/s 至 33,000 l/s。

DIJ 具備先進的全新加熱概念、強大的五段式噴嘴系統、可變法蘭連接、多種電氣連接選配，包括高效率能源控制器 (EEC)，且配備齊全，具有前線擋板和冷帽擋板。DIJ 五段式系統設計提供優異的性能。高抽氣速度的四個擴散泵浦階段，以及一個在 <10^-2 mbar 的壓力下提供高氣體輸送量，並提供高前段真空穩定性的噴射泵階段。多種 EEC 版本可提供額外增加的能源效率，能進一步節省能源並降低碳排放量。

Leybold DIJ 油擴散泵浦不太需要維護 (旋轉零件不會造成磨損)，且操作容易。DIJ 系列採用創新且高節能的結構，令人耳目一新。

使用者優勢

五段式噴嘴系統

冷帽擋板與前段真空擋板

創新加熱概念

不同法蘭 (ANSI/ISO)

多種電氣連接機會以符合客戶需求

能源效率控制

關鍵事實

抽氣速度 3,000 至 33,000 l/s

操作範圍 < 10^-1 至 10^-7 mbar

壓力範圍 < 10^-3 mbar 的最佳抽氣速度

DIJ 系列提供

穩定的高真空
高抽氣速度
高氣體輸送量
安全且經濟實惠的設計
符合 CE 標準的電子產品
操作簡易
易於維護的設計，可快速輕鬆地更換加熱元件
提供多種配件
全球通用的彈性電線佈線
創新能源效率控制 (EEC)

DIJ 效益概覽

如此一來，DIJ 系列提供的多種有益功能，皆可完美整合至您的應用中。

創新加熱概念
五段式噴嘴系統
不同法蘭 (ANSI/ISO)
冷帽擋板
能源效率控制 (EEC)

創新加熱概念

獨特的創新加熱概念，運用具有大型熱交換表面的先進加熱器匣，將能源傳輸至機油中，以達到最佳化。有效的溫度監控可防止系統過熱。絕緣加熱器區可確保能源損失降至最低。

熱器與機油具有最小應力與長效使用壽命
加快加熱時間
法蘭加熱器，易於交換

五段式噴嘴系統

DIJ 泵浦配備全新的五段式噴嘴系統。四段式泵浦能保證在低壓力下提供高速抽氣，並在低範圍下造成高真空。噴射泵階段可產生高前段真空穩定性，和最佳化氣體輸送量。

高氣體輸送量與抽氣速度
整合式冷帽擋板，可將機油回流降至最低

不同法蘭 (ANSI/ISO)

選擇法蘭版本以改善連接能力

ANSI/英吋法蘭 (O 形環密封)
ISO-F 或 ISO-K 法蘭 (密封定心 O 形環)

冷帽擋板與前段真空擋板

為了避免液體流回真空室，DIJ 系列泵浦配備了經製程證實的冷帽擋板，和最佳化的前段真空擋板。

創新的全新前線擋板可減少機油損耗
更好的製程參數
減少機油回流

能源效率控制

節省高達 30% 的能源，且泵浦效能不打折扣

油擴散泵浦需要特定的最低油溫以進行操作。如果沒有控制器，則會持續使用 100% 已安裝的加熱功率來加熱機油。Leybold 用於擴散泵浦的創新高效率能源控制器可將功耗降低多達 30%，因為在泵浦達到其操作溫度後供應的功率會顯著降低。在較低溫度下使用待機模式，更可進一步節省成本。

提升能源效率
增加機油與加熱匣的運作時間
優越的操作便利性和使用簡易性
簡單的視覺化參數監控
USB 介面與乙太網路連線

技術資訊
文件
應用
線上商店

		DIJ 10	DIJ 320	DIJ 16	DIJ 500	DIJ 20	DIJ 630	DIJ 32	DIJ 800	DIJ 35	DIJ 1000
高真空		10'' ANSI	320 ISO-K	16'' ANSI	500 ISO-K	20'' ANSI	630 ISO-K	32'' ANSI	800 ISO-F	35'' ANSI	1000 ISO-F
前級真空連接口		2'' ANSI	63 ISO-K	3'' ANSI	100 ISO-K	4'' ANSI	160 ISO-K	6'' ANSI	200 ISO-K	6'' ANSI	200 ISO-K
下列項目的幫浦抽氣速度
空氣 < 8 x 10-4mbar	l/s	3000		6800		10800		21000		33000
氬氣 < 1 x 10-4 mbar	l/s	2750		6350		9500		18000		26000
操作範圍	mbar	< 10-1 - 10-7		< 10-1 - 10-7		< 10-1 - 10-7		< 10-1 - 10-6		< 10-1 - 10-6
總極限真空壓力	mbar	< 5 · 10-7		< 5 · 10-7		< 5 · 10-7		< 1 · 10-6		< 1 · 10-6
主電源電壓		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE		3 ~ 400V /N/PE
視機型而定，50/60Hz		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE		3 ~ 460V /N/PE
加熱功率	kW	3.6		7.2		10.8		21.5		21.5
約略重量	公斤	95		152		230		570		610