渦輪分子幫浦維護與操作準則
渦輪分子幫浦的一般操作資訊
渦輪分子幫浦始終與前級真空幫浦一起運轉。根據要抽真空之容器的尺寸，渦輪分子幫浦與前級真空幫浦可同時開啟。如果使用前級真空幫浦將容器抽排至約 1 mbar 所需的時間比渦輪幫浦的啟動時間長，則建議延遲開啟渦輪分子幫浦。在為批次 (循環) 操作設定的系統中使用渦輪分子幫浦節時，建議使用旁路，以節省幫浦的啟動時間。在大約 10‑1 mbar 的壓力下，開啟高真空閥並不危險。
渦輪分子幫浦應受到保護，以防止物體透過進氣口進入，並且只能使用絲網碎片防護罩運轉。在不同網孔大小中有不同的版本。此外，應避免幫浦在運轉及位置突然變更時受到劇烈衝擊。
只有嚴格遵守操作指示，才能在轉子轉動時將幫浦回壓至大氣壓力。在某種情況下，可以在特殊條件下操作渦輪分子幫浦。例如，根據幫浦機型與安裝情況，可以在磁場中使用渦輪分子幫浦。
在放射性環境中，標準渦輪分子幫浦可在特定劑量率下無危險地使用。如果遇到高劑量率，則可以修改幫浦中的某些材料以承受更大的負載。在此情況下，電子變頻器應安裝在放射性區域以外，因為內部使用的電子設備只能承受較低的放射劑量率。使用馬達驅動的變頻器是另一種選擇，其可承受更大的負載。Leybold 可為使用者提供多種解決方案來應對此挑戰。
渦輪分子幫浦維護
渦輪分子幫浦與變頻器幾乎不需要維護。建議每 2 年更換一次陶瓷軸承，可由我們的現場服務人員或受過訓練的合格客戶執行。
免維護的渦輪分子幫浦採用無接觸磁性軸承技術，以及結合可靠性與有效率操作的 5 軸主動式磁性軸承與驅動系統。
如果有必要清潔幫浦的渦輪機裝置，則可由現場服務工程師或內部 (取決於幫浦應用與沉積物等級) 執行，同時遵守操作指示或維護手冊中所述的程序。
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Fundamentals of Vacuum Technology
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
