วิธีควบคุมแรงดันก๊าซบางส่วน
วิธีควบคุมแรงดันก๊าซบางส่วน
กระบวนการบางอย่าง เช่น กระบวนการสปัตเตอร์แบบรีแอคทีฟ ต้องการอัตราการเกิดที่คงที่ที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้สําหรับโมเลกุลก๊าซที่ทําปฏิกิริยาบนซับสเตรตที่เคลือบ
"อัตราการเกิด" เหมือนกับ "อัตราการแทรกแซง" ที่กล่าวถึงในหน้าเกี่ยวกับการระบายก๊าซออก ซึ่งเป็นสัดส่วนโดยตรงกับความดันบางส่วน ความพยายามที่ง่ายที่สุดในการรักษาความดันบางส่วนของส่วนประกอบก๊าซให้คงที่คือการไหลผ่านโดยการควบคุมด้วยตัวควบคุมการไหล ซึ่งมีข้อเสียที่ตัวควบคุมไม่สามารถกําหนดได้ว่าการใช้ก๊าซหรือองค์ประกอบของก๊าซในห้องสุญญากาศจะเปลี่ยนแปลงเมื่อใดและที่ใด ตัวเลือกที่เหนือกว่าและมีประสิทธิภาพมากกว่าคือการควบคุมความดันบางส่วนโดยใช้แมสสเปกโตรมิเตอร์ผ่านวาล์วทางเข้าก๊าซ ที่นี่ ค่าสูงสุดที่สําคัญของก๊าซที่พิจารณาจะกําหนดให้กับช่องทางในแมสสเปกโตรมิเตอร์ ตัวควบคุมที่เหมาะสมจะเปรียบเทียบสัญญาณเอาท์พุทอนาล็อกสําหรับช่องสัญญาณเหล่านี้กับค่าเซ็ตพอยต์ และจะได้รับสัญญาณการกระตุ้นที่เหมาะสมสําหรับวาล์วทางเข้าก๊าซสําหรับช่องสัญญาณจากความแตกต่างระหว่างค่าเป้าหมายและค่าจริงสําหรับแต่ละช่องสัญญาณ มีการกําหนดค่าประเภทนี้เพื่อควบคุมหกช่องใน QUADREX PPC นอกจากนี้ยังสามารถจัดส่งวาล์วทางเข้าก๊าซที่ตรงกับเครื่องได้อีกด้วย
ก๊าซที่ใช้ในการวัดอัตราการกระแทก (แรงดันบางส่วน) ต้องถูกดูดออกมาจากจุดที่เป็นตัวแทนในห้องสุญญากาศตามธรรมชาติ เมื่อประเมินค่าคงที่เวลาสําหรับวงจรควบคุมประเภทนี้ สิ่งสําคัญคือต้องพิจารณาทุกแง่มุมของเวลาและไม่เพียงแค่การแพร่กระจายสัญญาณไฟฟ้าและการประมวลผลในเครื่องสเปกโตรมิเตอร์เท่านั้น แต่ยังรวมถึงค่าคงที่เวลาและความเร็วในการไหลของเทคโนโลยีสุญญากาศ ดังที่แสดงในภาพที่ 4.17 ตัวแปลงแรงดันหรือท่อทางเข้าก๊าซที่ติดตั้งอย่างไม่เอื้ออํานวยซึ่งเชื่อมต่อกับวาล์วควบคุมและภาชนะสุญญากาศจะมีส่วนสําคัญอย่างยิ่งต่อค่าคงที่เวลาโดยรวม โดยทั่วไปแล้ว จะดีกว่าที่จะสร้างอัตราส่วน S/N ที่เหมาะสมด้วยสัญญาณขนาดใหญ่ (เช่น ผ่านไดอะแฟรมทางเข้าที่มีช่องเปิดขนาดใหญ่) มากกว่าระยะเวลารวมที่ยาวนานที่แต่ละช่อง ภาพที่ 4.18 จะเปรียบเทียบผลกระทบของการเพิ่มความดันและการยืดเวลาในการรวมสัญญาณต่อความสามารถในการตรวจจับสัญญาณ ในรูปที่ a, b และ c เฉพาะช่วงเวลาอินทิเกรตถูกเพิ่มขึ้นจาก 0.1 ถึง 1.0 และ 10 วินาที (ดังนั้นโดยแฟคเตอร์โดยรวมเท่ากับ 100) ตามลําดับ เมื่อเปรียบเทียบกันในลําดับ a-d-e-f ที่เวลาอินทิเกรตคงที่ ความดันรวมถูกเพิ่มขึ้นในสามขั้นตอน จาก 7.2 · 10 -6 mbar ถึง 7.2 · 10 -5 mbar (หรือโดยตัวคูณโดยรวมเพียง 10 เท่านั้น)
ภาพที่ 4.17 ส่วนแบ่งบางส่วนสําหรับข้อจํากัดด้านเวลาโดยรวม
ภาพที่ 4.18 การปรับปรุงอัตราส่วนสัญญาณต่อสัญญาณรบกวนโดยการเพิ่มแรงดันหรือขยายเวลารวม
การบำรุงรักษา
อายุการใช้งานแคโธด
อายุการใช้งานของแคโธดจะขึ้นอยู่กับลักษณะของการโหลดเป็นอย่างมาก ประสบการณ์แสดงให้เห็นว่าผลิตภัณฑ์ของระยะเวลาการทํางานคูณด้วยแรงดันในการทํางานสามารถใช้เป็นตัวชี้วัดสําหรับโหลดได้ ความดันในการทํางานที่สูงขึ้น (ในช่วง 1 · 10 -4 ถึง 1 · 10 -3 mbar) มีผลกระทบอย่างมากต่ออายุการใช้งาน เช่นเดียวกับอิทธิพลทางเคมีบางอย่าง เช่น สารทําความเย็น การเปลี่ยนแคโธดทําได้ง่ายมาก เนื่องจากการออกแบบเซ็นเซอร์ที่เรียบง่าย อย่างไรก็ตาม ขอแนะนําให้ใช้โอกาสนี้เพื่อเปลี่ยนหรือทําความสะอาดแหล่งกําเนิดไอออนทั้งหมด
การปรับเซนเซอร์
การปรับสมดุลเซ็นเซอร์ที่แกนมวล (มักเรียกว่า การสอบเทียบ ) ทําได้ง่ายมากในปัจจุบันด้วยซอฟต์แวร์ (เช่น SQX, Transpector-Ware) และสามารถสังเกตได้โดยตรงบนหน้าจอ แน่นอนว่าไม่เพียงแต่การจัดเรียงตามแกนมวลจะถูกกําหนดที่นี่เท่านั้น แต่ยังรวมถึงรูปร่างของเส้น เช่น ความละเอียดและความไว ( ดูหน้า ข้อมูลจําเพาะในการวัดมวลสเปกโตรเมตรี)
การทําความสะอาดแหล่งกําเนิดไอออนและระบบก้าน
จําเป็นต้องทําความสะอาดเซ็นเซอร์เฉพาะในกรณีพิเศษที่เซ็นเซอร์สกปรกมากเท่านั้น โดยปกติแล้วการทําความสะอาดแหล่งกําเนิดไอออนก็เพียงพอแล้ว ซึ่งสามารถถอดแยกชิ้นส่วนและทําความสะอาดได้ง่าย สามารถทําความสะอาดระบบก้านในอ่างล้างความถี่สูงได้หลังจากถอดออกจากโครงสร้าง หากไม่สามารถหลีกเลี่ยงการถอดแยกระบบได้เนื่องจากสิ่งสกปรกที่ติดแน่นเป็นพิเศษ จะต้องทําการปรับตั้งก้านเจาะในภายหลังที่โรงงาน
พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
ดาวน์โหลด eBook "พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ" เพื่อค้นพบข้อมูลสําคัญและกระบวนการของปั๊มสุญญากาศ
การอ้างอิง
- สัญลักษณ์สุญญากาศ
- คําจํากัดความ
- ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
สัญลักษณ์สุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
