Vacuum measurement & control banner

การวัดและการควบคุมสุญญากาศ เกจวัด เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง ตัวควบคุมปั๊ม

ด้วยระบบและกระบวนการสุญญากาศ จึงจําเป็นต้องวัดประสิทธิภาพของสุญญากาศ

เกจวัดสุญญากาศใช้เพื่อวัดแรงดันในช่วงกว้าง

โดยจะวัดจากแรงดันบรรยากาศสูงกว่า (~ 2000 mbar (1500 Torr)) จนถึง 10-12 mbar/torr ไม่มีเทคโนโลยีเซ็นเซอร์เดียวที่สามารถวัดค่าได้ในช่วงนี้

มีเกจวัดสุญญากาศที่หลากหลายให้เลือกใช้ โดยแต่ละเกจมีคุณสมบัติและความสามารถในการวัดสุญญากาศเป็นเวลาหลายทศวรรษ

เพื่อขยายช่วงการวัดค่า จึงเป็นเรื่องปกติที่จะรวมเทคโนโลยีหลายอย่างเข้าด้วยกันเป็นเกจเดียวเพื่อลดการเชื่อมต่อที่จําเป็นในระบบ  

วิธีหลักในการแยกความแตกต่างระหว่างเกจวัดสุญญากาศประเภทต่างๆ คือวิธีการวัดค่าก๊าซ: การวัดค่าแรงดันโดยตรงหรือโดยอ้อม

  • ในกรณีของการวัดแรงดันโดยตรง (หรืออิสระจากก๊าซ) ค่าที่อ่านได้จากเกจวัดสุญญากาศจะไม่ขึ้นอยู่กับประเภทของก๊าซ และแรงดันที่ระบุจะเป็นแรงดันจริงของระบบเสมอ ซึ่งมักต้องอาศัยการเบี่ยงเบนทางกลไกของเมมเบรน จึงสามารถวัดค่าได้ตั้งแต่แรงดันบรรยากาศสูงจนถึง 10 -4 mbar/torr มาตรวัดประเภทนี้จะให้ความแม่นยําสูงในช่วงสั้นๆ และมักจะทนทานมาก 
  • ในกรณีของการวัดแรงดันทางอ้อม แรงดันจะถูกกําหนดเป็นฟังก์ชันของคุณสมบัติของก๊าซที่ขึ้นกับแรงดัน (การนําความร้อน ความน่าจะเป็นของการเกิดไอออน เป็นต้น) คุณสมบัติเหล่านี้ไม่เพียงแต่ขึ้นอยู่กับแรงดันเท่านั้น แต่ยังขึ้นอยู่กับมวลโมลาร์ของก๊าซด้วย ดังนั้นจึงเรียกอีกอย่างว่าเป็นการขึ้นอยู่กับก๊าซ ค่าที่อ่านได้มักเกี่ยวข้องกับอากาศหรือไนโตรเจนเป็นก๊าซที่วัดค่า สําหรับการวัดค่าไอระเหยหรือก๊าซอื่นๆ จะต้องใช้ปัจจัยแก้ไขที่สอดคล้องกันสําหรับแรงดันจริงของระบบ เกจเหล่านี้สามารถวัดค่าความดันได้ในช่วงที่กว้างกว่ามาก (ความดันบรรยากาศถึง 10 x 10 -12 mbar ขึ้นอยู่กับประเภท/การผสมผสาน) โดยที่ความถูกต้องแม่นยําจะลดลง 

จุดตัดสินใจที่พบบ่อยอีกประการหนึ่งเกี่ยวกับเกจวัดสุญญากาศคือ แบบแอคทีฟหรือแบบพาสซีฟ โดยตัวเลือกนี้มีให้เลือกใช้ในเกจวัดสุญญากาศที่หลากหลายของเรา

  • การวัดแบบแอ็คทีฟคือการรวมหัววัด (หัวเซ็นเซอร์) เข้ากับอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ที่จําเป็นในการควบคุมและส่งออกสัญญาณ ทําให้ผสานรวมเข้ากับระบบได้ง่าย 
  • การวัดแบบพาสซีฟคือการแยกหัววัดออกจากอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ ซึ่งจะเก็บไว้แยกต่างหากในตัวควบคุมเฉพาะ ข้อดีของสิ่งนี้คือสามารถใช้ในสภาพแวดล้อมที่อิเล็กทรอนิกส์ไม่สามารถทํางานได้ เช่น สภาพแวดล้อมที่มีการแผ่รังสีสูง และตัวควบคุมแยกต่างหากสามารถนําออกจากสภาพแวดล้อมดังกล่าวได้
การวัดสุญญากาศในช่วงกว้าง

การวัดสุญญากาศในช่วงกว้าง

การวัดแรงดันที่ทนทาน เชื่อถือได้ และแม่นยํา

  • ซีรี่ส์ THERMOVAC TTR/TR - เหมาะสําหรับการตรวจสอบแรงดันปั๊มหลัก/ปั๊มสํารองมาตรฐาน 
  • ซีรี่ส์ PENNINGVAC PTR/PR - ช่วยให้สามารถวัดค่าในภูมิภาคสุญญากาศสูงได้ ซึ่งสามารถอธิบายได้ว่าเป็นเกจวัดแบบเต็มพิกัด
  • ซีรี่ส์ IONIVAC ITR/IE - ขยายช่วงสุญญากาศไปสู่แรงดันสุญญากาศสูงพิเศษ
การวัดสุญญากาศแบบพกพาและเชิงกล

การวัดสุญญากาศแบบพกพาและเชิงกล

การมีมาตรวัดที่มีจอแสดงผลในตัวและใช้พลังงานจากแบตเตอรี่ช่วยให้คุณสามารถวัดค่าได้ทุกที่ทุกเวลา 

มาตรวัดแบบกลไกเหมาะอย่างยิ่งเมื่อคุณต้องการเพียงการบ่งชี้ว่าคุณกําลังดึงสุญญากาศ แทนการวัดที่แม่นยํา

การวัดสุญญากาศที่แม่นยํา

การวัดสุญญากาศที่แม่นยํา

เพื่อความแม่นยําและความสามารถในการทําซ้ําในระดับสูงสุด ในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบันที่สุด อุปกรณ์เหล่านี้จึงเหมาะสําหรับการควบคุมระบบอย่างละเอียด

  • เกจวัดสุญญากาศ CERAVAC CTR - เกจวัดความดันความจุสูงสุดในกลุ่ม
  • เกจวัดสุญญากาศ DI/DU - ความแม่นยําต่ํากว่าเล็กน้อย แต่เหมาะสําหรับสภาพแวดล้อมที่สกปรก/ชื้น/มีฝุ่น
เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง

เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง

เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง (RGA) ตระกูลผลิตภัณฑ์ LEYSPEC ของเราช่วยให้ใช้งานได้ง่ายและเข้าใจง่าย

เรานําเสนอทั้งอุปกรณ์แบบครบวงจรและระบบวิเคราะห์สารตกค้างแบบพกพา

เกจวัดสุญญากาศและตัวควบคุมปั๊ม

เกจวัดสุญญากาศและตัวควบคุมปั๊ม

ช่วยให้คุณแสดงแรงดันและผสานการวัดค่าเข้ากับระบบควบคุมที่กว้างขึ้น 

เรามีตัวควบคุมที่หลากหลายให้เลือกตามความต้องการเฉพาะของคุณ

อุปกรณ์เสริม

อุปกรณ์เสริม

  • สายเคเบิลเชื่อมต่อ: สําหรับการเชื่อมต่อที่เพียงพอกับระบบการวัดสุญญากาศของคุณ 
  • การสอบเทียบมาตรวัด: เรานําเสนอบริการสอบเทียบที่ยุติธรรมสําหรับมาตรวัดและเซ็นเซอร์ทุกยี่ห้อ 
  • การป้องกันเกจ: ในกระบวนการที่รุนแรงเป็นพิเศษ อาจแนะนําให้ติดตั้งคุณสมบัติการป้องกันเพื่อยืดอายุการใช้งานของเกจ 

การวัดสุญญากาศในช่วงกว้าง

การวัดแรงดันที่ทนทาน เชื่อถือได้ และแม่นยํา

  • ซีรี่ส์ THERMOVAC TTR/TR - เหมาะสําหรับการตรวจสอบแรงดันปั๊มหลัก/ปั๊มสํารองมาตรฐาน 
  • ซีรี่ส์ PENNINGVAC PTR/PR - ช่วยให้สามารถวัดค่าในภูมิภาคสุญญากาศสูงได้ ซึ่งสามารถอธิบายได้ว่าเป็นเกจวัดแบบเต็มพิกัด
  • ซีรี่ส์ IONIVAC ITR/IE - ขยายช่วงสุญญากาศไปสู่แรงดันสุญญากาศสูงพิเศษ

การวัดสุญญากาศแบบพกพาและเชิงกล

การมีมาตรวัดที่มีจอแสดงผลในตัวและใช้พลังงานจากแบตเตอรี่ช่วยให้คุณสามารถวัดค่าได้ทุกที่ทุกเวลา 

มาตรวัดแบบกลไกเหมาะอย่างยิ่งเมื่อคุณต้องการเพียงการบ่งชี้ว่าคุณกําลังดึงสุญญากาศ แทนการวัดที่แม่นยํา

การวัดสุญญากาศที่แม่นยํา

เพื่อความแม่นยําและความสามารถในการทําซ้ําในระดับสูงสุด ในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบันที่สุด อุปกรณ์เหล่านี้จึงเหมาะสําหรับการควบคุมระบบอย่างละเอียด

  • เกจวัดสุญญากาศ CERAVAC CTR - เกจวัดความดันความจุสูงสุดในกลุ่ม
  • เกจวัดสุญญากาศ DI/DU - ความแม่นยําต่ํากว่าเล็กน้อย แต่เหมาะสําหรับสภาพแวดล้อมที่สกปรก/ชื้น/มีฝุ่น

เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง

เครื่องวิเคราะห์ก๊าซตกค้าง (RGA) ตระกูลผลิตภัณฑ์ LEYSPEC ของเราช่วยให้ใช้งานได้ง่ายและเข้าใจง่าย

เรานําเสนอทั้งอุปกรณ์แบบครบวงจรและระบบวิเคราะห์สารตกค้างแบบพกพา

เกจวัดสุญญากาศและตัวควบคุมปั๊ม

ช่วยให้คุณแสดงแรงดันและผสานการวัดค่าเข้ากับระบบควบคุมที่กว้างขึ้น 

เรามีตัวควบคุมที่หลากหลายให้เลือกตามความต้องการเฉพาะของคุณ

อุปกรณ์เสริม

  • สายเคเบิลเชื่อมต่อ: สําหรับการเชื่อมต่อที่เพียงพอกับระบบการวัดสุญญากาศของคุณ 
  • การสอบเทียบมาตรวัด: เรานําเสนอบริการสอบเทียบที่ยุติธรรมสําหรับมาตรวัดและเซ็นเซอร์ทุกยี่ห้อ 
  • การป้องกันเกจ: ในกระบวนการที่รุนแรงเป็นพิเศษ อาจแนะนําให้ติดตั้งคุณสมบัติการป้องกันเพื่อยืดอายุการใช้งานของเกจ