IONIVAC แคโทดร้อน Bayard Alpert
ทําไมถึงเป็น IONIVAC?
ชุดเกจ IONIVAC ของเรา ไม่ว่าจะเป็นแบบพาสซีฟ (IE) หรือแบบแอคทีฟ (ITR) มีความสามารถในการวัดในสุญญากาศระดับสูงพิเศษ ซึ่งช่วยให้สามารถติดตามการทดลองได้อย่างละเอียด และควบคุมตัวแปรในกระบวนการได้
เครื่องวัดแคโทดร้อน IONIVAC ทํางานโดยมีแคโทดร้อนปล่อยอิเล็กตรอนที่กระแทกกับแอโนด ดังนั้น ก๊าซที่วัดได้จึงเกิดการเกิดไอออน กระแสไอออนบวกที่เกิดขึ้นจะถูกตรวจจับผ่านอิเล็กโทรดที่สาม และกระแสนี้จะถูกใช้เป็นสัญญาณซึ่งเป็นสัดส่วนกับแรงดัน
เซ็นเซอร์ไอออนไนซ์แคโทดร้อนมีช่วงการวัดค่ากว้างตั้งแต่ 10 -12 ถึง 10 -1 mbar (0.75·10 -10 ถึง 0.75·10 -1 Torr) ขึ้นอยู่กับประเภทของเทคโนโลยีแคโทดร้อนที่ใช้
- ซีรี่ส์ IONIVAC ITR 90/200
- ซีรี่ส์ IONIVAC IE 414/IE 514
ซีรี่ส์ IONIVAC ITR 90/200
ซีรี่ส์ IONIVAC ITR 90/200
ทรานสมิตเตอร์แบบผสมผสานที่เหมาะสม
IONIVAC ITR เป็นเครื่องส่งสัญญาณแบบผสมผสานที่ได้รับการปรับให้เหมาะสมที่สุด การผสมผสานระหว่างเซ็นเซอร์ไอออนไนซ์แคโทดร้อน (ใช้วิธีการ Bayard Alpert ของการไอออนไนซ์แคโทดร้อน) และเซ็นเซอร์ Pirani ช่วยให้สามารถวัดค่าแรงดันสุญญากาศได้ตั้งแต่ 5. 10 -10 ถึง 1000 mbar (3.75. 10 -10 ถึง 750 torr)
มีสองรุ่นหลักให้เลือกใช้:
- ITR 90 พร้อมไส้เทียนแคโทดร้อนเดี่ยว
- ITR 200 ที่มีเส้นใยคู่เพื่อเพิ่มอายุการใช้งานผ่านระบบสํารองในตัว ซึ่งจะสลับเส้นใยโดยอัตโนมัติในกรณีที่เกิดความล้มเหลว และบ่งชี้ว่าเส้นใยล้มเหลว เพื่อยืดอายุการใช้งานของเกจให้ยาวนานขึ้น สามารถเรียกใช้โปรแกรมกําจัดก๊าซซึ่งจะช่วยฟื้นฟูประสิทธิภาพของเส้นใย
- การวัดค่าความดันอย่างต่อเนื่องตั้งแต่ 1. 10 -10 mbar/torr ถึงความดันบรรยากาศ
- การออกแบบที่กะทัดรัดพร้อมแคโทดที่ถอดเปลี่ยนได้และโหมดกําจัดก๊าซ
- เซนเซอร์อบแห้งได้เพื่อการวัดค่า UHV
- มีอินเทอร์เฟซแบบอะนาล็อก จอแสดงผล ดิจิตอล และ Profibus สําหรับการติดตั้งที่ง่ายดาย
- ความสามารถในการทําซ้ําสูงภายในช่วงแรงดันกระบวนการทั่วไป 10 -2 ถึง 10 -9 mbar
- การวัดค่าแรงดัน UHV ที่แม่นยําด้วยเกจแบบพาสซีฟ ช่วยให้สามารถวัดค่าได้ต่ําถึง 10 -12 mbar/torr
ซีรี่ส์ IONIVAC IE 414/IE 514
ซีรี่ส์ IONIVAC IE 414/IE 514
ช่วงสูงสุดสําหรับการวัดค่า UHV
มาตรวัดซีรี่ส์ IONIVAC IE ของเราเป็น "Rolls Royce" ของการวัดสุญญากาศระดับสูงพิเศษ ด้วยการอ่านค่าความดันพื้นฐานต่ําเป็นพิเศษและความแม่นยําในระดับสูง
ทํางานควบคู่กับตัวควบคุมเกจแบบพาสซีฟของเรา ซึ่งใช้ในสภาพแวดล้อมที่ต้องการการอ่านค่าความดันอย่างละเอียดที่ระดับต่ําที่สุด
เซ็นเซอร์ IONIVAC IE แบบพาสซีฟใช้เทคโนโลยีไอออนไนซ์แคโทดร้อนเพื่อวัดแรงดันที่ต่ําที่สุด
- IE 414 ใช้เทคโนโลยี Bayard Alpert และสามารถวัดค่าได้ตั้งแต่ 2. 10-11 ถึง e-2 mbar (1.5e-11 ถึง e-2 torr)
- เพื่อให้ได้แรงดันต่ําสุด คุณต้องลดผลกระทบจากรังสีเอ็กซ์ ซึ่งทําได้บนเกจรุ่น IE 514 ของเรา โดยใช้วิธีการสกัดด้วยไอออนไนซ์แคโทดร้อน ด้วยเทคโนโลยีเซ็นเซอร์นี้ คุณสามารถอ่านค่าได้ตั้งแต่ 2e-12 ถึง 1e-4 mbar (2e-12 ถึง 7.5e-5torr)
ซีรี่ส์ IONIVAC ITR 90/200
ทรานสมิตเตอร์แบบผสมผสานที่เหมาะสม
IONIVAC ITR เป็นเครื่องส่งสัญญาณแบบผสมผสานที่ได้รับการปรับให้เหมาะสมที่สุด การผสมผสานระหว่างเซ็นเซอร์ไอออนไนซ์แคโทดร้อน (ใช้วิธีการ Bayard Alpert ของการไอออนไนซ์แคโทดร้อน) และเซ็นเซอร์ Pirani ช่วยให้สามารถวัดค่าแรงดันสุญญากาศได้ตั้งแต่ 5. 10 -10 ถึง 1000 mbar (3.75. 10 -10 ถึง 750 torr)
มีสองรุ่นหลักให้เลือกใช้:
- ITR 90 พร้อมไส้เทียนแคโทดร้อนเดี่ยว
- ITR 200 ที่มีเส้นใยคู่เพื่อเพิ่มอายุการใช้งานผ่านระบบสํารองในตัว ซึ่งจะสลับเส้นใยโดยอัตโนมัติในกรณีที่เกิดความล้มเหลว และบ่งชี้ว่าเส้นใยล้มเหลว เพื่อยืดอายุการใช้งานของเกจให้ยาวนานขึ้น สามารถเรียกใช้โปรแกรมกําจัดก๊าซซึ่งจะช่วยฟื้นฟูประสิทธิภาพของเส้นใย
- การวัดค่าความดันอย่างต่อเนื่องตั้งแต่ 1. 10 -10 mbar/torr ถึงความดันบรรยากาศ
- การออกแบบที่กะทัดรัดพร้อมแคโทดที่ถอดเปลี่ยนได้และโหมดกําจัดก๊าซ
- เซนเซอร์อบแห้งได้เพื่อการวัดค่า UHV
- มีอินเทอร์เฟซแบบอะนาล็อก จอแสดงผล ดิจิตอล และ Profibus สําหรับการติดตั้งที่ง่ายดาย
- ความสามารถในการทําซ้ําสูงภายในช่วงแรงดันกระบวนการทั่วไป 10 -2 ถึง 10 -9 mbar
- การวัดค่าแรงดัน UHV ที่แม่นยําด้วยเกจแบบพาสซีฟ ช่วยให้สามารถวัดค่าได้ต่ําถึง 10 -12 mbar/torr
ซีรี่ส์ IONIVAC IE 414/IE 514
ช่วงสูงสุดสําหรับการวัดค่า UHV
มาตรวัดซีรี่ส์ IONIVAC IE ของเราเป็น "Rolls Royce" ของการวัดสุญญากาศระดับสูงพิเศษ ด้วยการอ่านค่าความดันพื้นฐานต่ําเป็นพิเศษและความแม่นยําในระดับสูง
ทํางานควบคู่กับตัวควบคุมเกจแบบพาสซีฟของเรา ซึ่งใช้ในสภาพแวดล้อมที่ต้องการการอ่านค่าความดันอย่างละเอียดที่ระดับต่ําที่สุด
เซ็นเซอร์ IONIVAC IE แบบพาสซีฟใช้เทคโนโลยีไอออนไนซ์แคโทดร้อนเพื่อวัดแรงดันที่ต่ําที่สุด
- IE 414 ใช้เทคโนโลยี Bayard Alpert และสามารถวัดค่าได้ตั้งแต่ 2. 10-11 ถึง e-2 mbar (1.5e-11 ถึง e-2 torr)
- เพื่อให้ได้แรงดันต่ําสุด คุณต้องลดผลกระทบจากรังสีเอ็กซ์ ซึ่งทําได้บนเกจรุ่น IE 514 ของเรา โดยใช้วิธีการสกัดด้วยไอออนไนซ์แคโทดร้อน ด้วยเทคโนโลยีเซ็นเซอร์นี้ คุณสามารถอ่านค่าได้ตั้งแต่ 2e-12 ถึง 1e-4 mbar (2e-12 ถึง 7.5e-5torr)
- ร้านค้าออนไลน์
- เอกสารประกอบ
เอกสารประกอบ
การตรวจวัดสุญญากาศ