การใช้งานสุญญากาศระดับสูงพิเศษ สภาวะ UHV: ข้อกําหนดเบื้องต้นสําหรับการวิจัยที่ซับซ้อนที่สุดในห้องปฏิบัติการของรัฐบาล สถาบันการศึกษา และอุตสาหกรรมเอกชน

ห้องปฏิบัติการระดับชาติ มหาวิทยาลัยขนาดใหญ่ และอุตสาหกรรมต่าง ๆ ต่างใช้อุปกรณ์สุญญากาศที่หลากหลายเพื่อให้ได้ระดับสุญญากาศที่ต้องการ

องค์กรเหล่านี้หลายแห่งไว้วางใจเราสําหรับปั๊มสุญญากาศ เครื่องมือ และระบบที่มีความเฉพาะเจาะจงสูง

UHV คือสภาวะสุญญากาศที่มีลักษณะเป็นแรงดันต่ํากว่าประมาณ 10 ⁻⁹ mbar (10 ^-7 Pa)

สภาวะสุญญากาศสูงเป็นพิเศษเป็นสิ่งจําเป็นในการลดการปนเปื้อนบนพื้นผิวในเทคนิคการวิเคราะห์พื้นผิวหลายอย่าง ตัวอย่างเช่น สเปกโตรสโคปีอิเล็กตรอนแบบเอ็กซเรย์ (XPS), สเปกโตรสโคปีอิเล็กตรอนแบบ Auger (AES), สเปกโตรสโคปีมวลไอออนทุติยภูมิ (SIMS) หรือกล้องจุลทรรศน์แบบเรืองแสง (FEM)

เทคนิคการเจริญเติบโตของฟิล์มบางและการเตรียมการที่มีข้อกําหนดที่เข้มงวดสําหรับความบริสุทธิ์ เช่น เอพิทากซิสของลําแสงโมเลกุล (MBE) และการสะสมชั้นอะตอม (ALD) ยังขึ้นอยู่กับสภาวะ UHV ด้วย

ในงานวิจัย เช่น เครื่องเร่งอนุภาคหรือเครื่องตรวจจับคลื่นแรงโน้มถ่วง สภาวะสุญญากาศสูงพิเศษจะช่วยลดปฏิกิริยาระหว่างลําแสงกับก๊าซและจํากัดการรบกวนที่ไม่พึงประสงค์จากสภาพแวดล้อมภายนอก ระดับสุญญากาศเหล่านี้จําเป็นต้องใช้วัสดุพิเศษและหลักการปั๊ม

เรานําเสนอโซลูชันสุญญากาศขั้นสูงที่หลากหลายสําหรับการใช้งาน UHV ที่ทะเยอทะยาน ส่วนประกอบ โซลูชันระบบ และบริการหลังการขายของเราได้แสดงให้เห็นถึงประโยชน์ในศูนย์วิจัยที่สําคัญทั่วโลก

ผลประโยชน์

ปั๊ม Roots หลายจังหวะ

ปั๊มสํารองที่เหมาะสําหรับ UHV
แรงดันสูงสุดต่ํา
เงียบมาก <52db(A), การสั่นสะเทือนต่ํา
ไม่มีการปนเปื้อนจากน้ํามันหรืออนุภาค
ไม่ต้องบํารุงรักษาเป็นเวลาหลายปี

ปั๊มสโครล

ปราศจากน้ํามัน
เงียบ 55db(A)
การเปลี่ยนซีลทิปของลูกค้า 10 นาที
แรงดันสุดท้ายต่ํามาก

ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล (TMP)

ปั๊มและระบบเทอร์โบโมเลกุลที่ครบครัน
การสร้างสุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอน
แรงดันสูงสุดต่ํา
ความเร็วในการปั๊มสูงสําหรับก๊าซเบา
ต้องการการบํารุงรักษาต่ํา
ระบบปั๊มแบบเสียบแล้วใช้งานได้ทันที

ปั๊ม Cryo

ปั๊มแช่เย็น COOLVAC ที่มีความสามารถในการปั๊มไอน้ําสูงและต้องการการบํารุงรักษาต่ํา
การสร้างสุญญากาศที่สะอาดและแห้ง
หัวเย็น COOLPOWER สําหรับการสร้างอุณหภูมิแบบเย็นโดยไม่จําเป็นต้องใช้ฮีเลียมเหลวและไนโตรเจนเหลว

ปั๊มและตัวควบคุมตัวดักจับไอออน

การทํางานที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอนในช่วง XHV
ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว ไม่มีเสียงรบกวนในการทํางาน
ปราศจากการสั่นสะเทือนอย่างสมบูรณ์
ความทนทานสูงต่ออุณหภูมิ การแผ่รังสี และสนามแม่เหล็ก

ปั๊มระเหิดไทเทเนียม

เหมาะสําหรับการขจัดก๊าซตกค้างในระบบ UHV
ความเร็วในการปั๊มสูงมากสําหรับก๊าซปฏิกิริยา
เรียบง่ายและคุ้มค่า

ปั๊ม NEG

ประสิทธิภาพการดักจับสูงสําหรับ H2 (ก๊าซตกค้างหลักใน UHV/ XHV)
การทํางานแบบไร้การสั่นสะเทือน
ปราศจากน้ํามัน

ฮาร์ดแวร์ UHV, วาล์ว, ข้อต่อ

วาล์ว UHV, ฮาร์ดแวร์ และข้อต่อที่มีหน้าแปลน CF หลากหลายประเภท
วัสดุดูดซับก๊าซต่ําที่มีอัตราการรั่วไหลต่ําที่สุด
อุณหภูมิการอบสูง

ปั๊มสํารองที่เหมาะสําหรับ UHV
แรงดันสูงสุดต่ํา
เงียบมาก <52db(A), การสั่นสะเทือนต่ํา
ไม่มีการปนเปื้อนจากน้ํามันหรืออนุภาค
ไม่ต้องบํารุงรักษาเป็นเวลาหลายปี

ปราศจากน้ํามัน
เงียบ 55db(A)
การเปลี่ยนซีลทิปของลูกค้า 10 นาที
แรงดันสุดท้ายต่ํามาก

ปั๊มและระบบเทอร์โบโมเลกุลที่ครบครัน
การสร้างสุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอน
แรงดันสูงสุดต่ํา
ความเร็วในการปั๊มสูงสําหรับก๊าซเบา
ต้องการการบํารุงรักษาต่ํา
ระบบปั๊มแบบเสียบแล้วใช้งานได้ทันที

ปั๊มแช่เย็น COOLVAC ที่มีความสามารถในการปั๊มไอน้ําสูงและต้องการการบํารุงรักษาต่ํา
การสร้างสุญญากาศที่สะอาดและแห้ง
หัวเย็น COOLPOWER สําหรับการสร้างอุณหภูมิแบบเย็นโดยไม่จําเป็นต้องใช้ฮีเลียมเหลวและไนโตรเจนเหลว

การทํางานที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอนในช่วง XHV
ไม่มีชิ้นส่วนที่เคลื่อนไหว ไม่มีเสียงรบกวนในการทํางาน
ปราศจากการสั่นสะเทือนอย่างสมบูรณ์
ความทนทานสูงต่ออุณหภูมิ การแผ่รังสี และสนามแม่เหล็ก

เหมาะสําหรับการขจัดก๊าซตกค้างในระบบ UHV
ความเร็วในการปั๊มสูงมากสําหรับก๊าซปฏิกิริยา
เรียบง่ายและคุ้มค่า

ประสิทธิภาพการดักจับสูงสําหรับ H2 (ก๊าซตกค้างหลักใน UHV/ XHV)
การทํางานแบบไร้การสั่นสะเทือน
ปราศจากน้ํามัน

วาล์ว UHV, ฮาร์ดแวร์ และข้อต่อที่มีหน้าแปลน CF หลากหลายประเภท
วัสดุดูดซับก๊าซต่ําที่มีอัตราการรั่วไหลต่ําที่สุด
อุณหภูมิการอบสูง

สุญญากาศระดับสูง สูงพิเศษ และสูงมาก: พื้นฐาน

ดาวน์โหลด eBook ของเราเพื่อทําความเข้าใจความท้าทายที่เกี่ยวข้องกับการบรรลุและการทํางานกับสุญญากาศระดับสูง สูงพิเศษ หรือสูงมาก และสิ่งที่ต้องพิจารณา