ปั๊มสุญญากาศและโซลูชันสําหรับเทคโนโลยีการบําบัดด้วยพลาสมา
การบําบัดด้วยพลาสมาสุญญากาศคืออะไร
การบําบัดด้วยพลาสมาเป็นเทคโนโลยีอเนกประสงค์ที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมต่างๆ รวมถึงอิเล็กทรอนิกส์ การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ยานยนต์ การแพทย์ ฯลฯ ก๊าซในกระบวนการทั่วไปคือออกซิเจน อาร์กอน หรือ CF4 ก๊าซเหล่านี้จะเกิดไอออนด้วยสนามไฟฟ้าภายใต้สุญญากาศเพื่อสร้างพลาสมาที่ใช้ในการเคลือบ ทําความสะอาด กระตุ้น หรือกัดกร่อนพื้นผิวเพื่อดัดแปลงความสะอาด การยึดเกาะ หรือการทํางานของพื้นผิว
สุญญากาศมีบทบาทสําคัญในระบบบําบัดพลาสมาเพื่อสร้างและรักษาสภาวะของพลาสมาอย่างมีประสิทธิภาพ
- ปฏิกิริยากระบวนการที่มีประสิทธิภาพ: ไอออนรีแอคทีฟที่เกิดขึ้นในพลาสมาภายใต้สุญญากาศสามารถแพร่กระจายไปยังพื้นผิวได้อย่างมีประสิทธิภาพมากขึ้นสําหรับการดัดแปลงพื้นผิว การทําความสะอาด การกระตุ้น หรือกระบวนการกัดกร่อน
- การรักษาพื้นผิวที่สม่ําเสมอ: สุญญากาศสามารถรับประกันสภาพแวดล้อมที่ปราศจากสิ่งปนเปื้อนเพื่อปกป้องพลาสมาที่สม่ําเสมอเพื่อการควบคุมการดัดแปลงพื้นผิวอย่างแม่นยํา
การบําบัดด้วยพลาสมาท้าทายระบบสุญญากาศของคุณอย่างไร
ความท้าทายหลักสําหรับปั๊มสุญญากาศหรือระบบปั๊มคือไอออนที่เปิดใช้งาน (เช่น ออกซิเจนไอออนหรือฟลูออรีนไอออน) จะถูกดูดออกระหว่างกระบวนการและอาจเข้าสู่ปั๊มได้ ไอออนเหล่านี้มีปฏิกิริยาสูงและเป็นพิษต่อสิ่งแวดล้อมและสุขภาพของมนุษย์
ออกซิเจนไอออนและฟลูออรีนไอออนอาจส่งผลกระทบอย่างมากต่อวัสดุของปั๊ม น้ํามันและซีลอาจถูกออกซิไดซ์ สลายตัว หรือเสื่อมสภาพ การเลือกใช้น้ํามันและวัสดุซีลที่เหมาะสมจึงมีความสําคัญอย่างยิ่งต่อการใช้งานปั๊มที่ประสบความสําเร็จ
ปั๊มประเภทใดที่เหมาะสําหรับการบําบัดด้วยพลาสมาสุญญากาศ
สามารถใช้ปั๊มสุญญากาศประเภทต่างๆ ได้ เฉพาะการเลือกปั๊มสุญญากาศและระบบที่เหมาะสมเท่านั้นที่ช่วยให้มั่นใจได้ว่าจะสามารถจัดการกับการระบายก๊าซที่แตกต่างกันของเทคโนโลยีการบําบัดด้วยพลาสมาและการทํางานที่ปราศจากปัญหาพร้อมเวลาทํางานสูงสุดเพื่อเพิ่มต้นทุนการเป็นเจ้าของของคุณให้เหมาะสมที่สุด
Leybold มีประสบการณ์ที่กว้างขวาง และผลิตภัณฑ์ของเราได้รับการพิสูจน์แล้วในกระบวนการบําบัดพลาสมาที่แตกต่างกัน สําหรับกระบวนการบําบัดด้วยพลาสมาแต่ละกระบวนการ Leybold สามารถนําเสนอโซลูชันสุญญากาศที่สมบูรณ์แบบสําหรับความต้องการของลูกค้า
ค้นพบผลิตภัณฑ์ของเราสําหรับการบําบัดด้วยพลาสมาด้านล่าง หรือติดต่อเราเพื่อพูดคุยเกี่ยวกับโครงการของคุณ
- TRIVAC B
- RUVAC
- VARODRY
- DURADRY
- DRYVAC
TRIVAC B
TRIVAC B
ปั๊มใบพัดสองจังหวะซีลน้ํามันมีความโดดเด่นด้วยประสิทธิภาพสุญญากาศสูงโดยการส่งมอบแรงดันสูงสุดที่ต่ํา รุ่น BCS-PFPE เหมาะสําหรับการใช้งานกับพลาสมาที่มีปฏิกิริยาสูง
RUVAC
RUVAC
ซีรี่ส์ WA(U), WS(U) และ WH(U) ที่แตกต่างกันสามซีรี่ส์ และช่วงความเร็วในการปั๊มที่กว้างตั้งแต่ 251 ถึง 9800 m³/h การทํางานเสริมด้วยตัวแปลงความถี่ช่วยให้สามารถควบคุมกระบวนการได้อย่างแม่นยํา มีรุ่น WS(U)-PFPE และ WH-PFPE สําหรับการใช้งานกับพลาสมาที่มีปฏิกิริยาสูง
VARODRY
VARODRY
ปั๊มสกรูแห้งที่ระบายความร้อนด้วยอากาศและปราศจากน้ํามันโดยสิ้นเชิงที่มีความเร็วในการดูด 65 ถึง 200 m³/h ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพต้นทุนการเป็นเจ้าของของคุณ รุ่น VARODRY HD O2 เหมาะอย่างยิ่งสําหรับการบําบัดด้วยพลาสมา O2
DURADRY
DURADRY
ปั๊มสกรูแห้งระบายความร้อนด้วยน้ําที่มีความเร็วในการปั๊ม 160 หรือ 250 m³/h ระดับเสียงรบกวนที่ดีที่สุดในคลาส การออกแบบที่กะทัดรัด และปิดผนึกแน่นสนิท การจัดการความร้อนที่เสถียรช่วยให้สามารถจัดการกับอาร์กอนและก๊าซเบาได้อย่างยอดเยี่ยม ความทนทานสูงสุดเพื่อรองรับกระบวนการบําบัดด้วยพลาสมาเกือบทั้งหมด
DRYVAC
DRYVAC
การออกแบบที่กะทัดรัด ปิดผนึกแน่นสนิท และผ่านการพิสูจน์แล้ว ผสมผสานกับความทนทานและประสิทธิภาพด้านพลังงานสูงสุด มอบประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และเวลาทํางานที่เพิ่มขึ้นสําหรับกระบวนการบําบัดด้วยพลาสมา ความเร็วในการดูดตั้งแต่ 200 ถึง 800 m³/h
TRIVAC B
ปั๊มใบพัดสองจังหวะซีลน้ํามันมีความโดดเด่นด้วยประสิทธิภาพสุญญากาศสูงโดยการส่งมอบแรงดันสูงสุดที่ต่ํา รุ่น BCS-PFPE เหมาะสําหรับการใช้งานกับพลาสมาที่มีปฏิกิริยาสูง
RUVAC
ซีรี่ส์ WA(U), WS(U) และ WH(U) ที่แตกต่างกันสามซีรี่ส์ และช่วงความเร็วในการปั๊มที่กว้างตั้งแต่ 251 ถึง 9800 m³/h การทํางานเสริมด้วยตัวแปลงความถี่ช่วยให้สามารถควบคุมกระบวนการได้อย่างแม่นยํา มีรุ่น WS(U)-PFPE และ WH-PFPE สําหรับการใช้งานกับพลาสมาที่มีปฏิกิริยาสูง
VARODRY
ปั๊มสกรูแห้งที่ระบายความร้อนด้วยอากาศและปราศจากน้ํามันโดยสิ้นเชิงที่มีความเร็วในการดูด 65 ถึง 200 m³/h ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพต้นทุนการเป็นเจ้าของของคุณ รุ่น VARODRY HD O2 เหมาะอย่างยิ่งสําหรับการบําบัดด้วยพลาสมา O2
DURADRY
ปั๊มสกรูแห้งระบายความร้อนด้วยน้ําที่มีความเร็วในการปั๊ม 160 หรือ 250 m³/h ระดับเสียงรบกวนที่ดีที่สุดในคลาส การออกแบบที่กะทัดรัด และปิดผนึกแน่นสนิท การจัดการความร้อนที่เสถียรช่วยให้สามารถจัดการกับอาร์กอนและก๊าซเบาได้อย่างยอดเยี่ยม ความทนทานสูงสุดเพื่อรองรับกระบวนการบําบัดด้วยพลาสมาเกือบทั้งหมด
DRYVAC
การออกแบบที่กะทัดรัด ปิดผนึกแน่นสนิท และผ่านการพิสูจน์แล้ว ผสมผสานกับความทนทานและประสิทธิภาพด้านพลังงานสูงสุด มอบประสิทธิภาพที่เชื่อถือได้และเวลาทํางานที่เพิ่มขึ้นสําหรับกระบวนการบําบัดด้วยพลาสมา ความเร็วในการดูดตั้งแต่ 200 ถึง 800 m³/h
- การประยุกต์ใช้งานที่เกี่ยวข้อง
- ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
