Composing RUVAC WS/WSU

RUVAC WS/WSU โบลเวอร์ Roots - การออกแบบมอเตอร์กระป๋อง

โบลเวอร์ Roots พร้อมมอเตอร์กระป๋องแบบปิดผนึกที่ระบายความร้อนด้วยอากาศ

เครื่องเป่า Roots Leybold RUVAC WS ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์กระป๋องที่ระบายความร้อนด้วยอากาศหรือน้ํา ตัวแปลงความถี่ที่มีอยู่ได้รับการจับคู่กับปั๊มเพื่อให้ไม่มีโอกาสเกิดโหลดเกินทางกลไก ในกรณีที่ความแตกต่างของแรงดันสูงเกินไป ความเร็วในการหมุนของปั๊มจะลดลงโดยอัตโนมัติจนกระทั่งโหลด ปั๊มสุญญากาศ Roots ของซีรี่ส์ RUVAC WSU มาพร้อมกับสายปรับสมดุลแรงดันในตัวเพิ่มเติมและวาล์วแรงดันแตกต่าง ปั๊มจากซีรี่ส์เหล่านี้มาพร้อมกับการปั๊มแนวตั้งเป็นมาตรฐาน 

ท่อระบายความร้อนด้วยอากาศ WS/WSU สองท่อ แต่ละท่อมีปั๊มสี่ขนาด

ปั๊มระบายความร้อนด้วยอากาศที่ป้องกันการรั่วซึมสูงที่ขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์กระป๋องระบายความร้อนด้วยอากาศ

หล่อลื่นด้วยน้ํามันแร่ (หรือใช้ LVO 400)

สวิตช์อุณหภูมิสูงเกินในคอยล์สเตเตอร์ของมอเตอร์

ซีลอีลาสโตเมอร์ทั้งหมดทําจาก FPM (FKM)/Viton

สายปรับสมดุลความดันในตัวพร้อมวาล์วความดันส่วนต่างป้องกันการโอเวอร์โหลดบนรุ่น WSU (อุปกรณ์เสริม)

สามารถใช้ตัวแปลงความถี่เพื่อใช้งานปั๊ม RUVAC WS 251 ถึง 2001 ระหว่าง 20 ถึง 100 Hz

ไม่มีการส่งผ่านเพลาไปยังบรรยากาศ ดังนั้นจึงป้องกันการรั่วเป็นพิเศษ

การแปลงจากการปั๊มในแนวตั้งเป็นแนวนอนสามารถทําได้จากฝ่ายของลูกค้า

ส่วนประกอบ

  • ปริมาณน้ํามันที่จําเป็นจะมาพร้อมกับปั๊มแยกต่างหาก (ระบุข้อยกเว้น)
  • หากไม่มีการระบุน้ํามันประเภทอื่น ให้ใช้น้ํามันแร่ LVO 100 เป็นมาตรฐาน
  • ไล่ก๊าซไนโตรเจนเพื่อป้องกันการกัดกร่อน
  • ปะเก็นในหน้าแปลนไอดีพร้อมตะแกรงกรองสิ่งสกปรกในตัว

ปั๊มสุญญากาศ Roots ซีรี่ส์ WAU/WSU/WHU มาพร้อมกับสายปรับสมดุลแรงดันในตัวเพิ่มเติมและวาล์วแรงดันแตกต่าง

  • สําหรับการใช้งานที่ต้องการความเร็วในการปั๊มสูงที่แรงดันระหว่าง 10-2 และ 10-4 mbar (0.75 x 10-2 และ 0.75 x 10-4 Torr)
  • ใช้เมื่อต้องหลีกเลี่ยงความเป็นไปได้ของการปนเปื้อนเนื่องจากอากาศเข้าหรือการรั่วไหลของสารตัวกลางที่ปั๊ม
  • การดูดหรือการสูบก๊าซความบริสุทธิ์สูง
  • ใช้ในห้องปลอดเชื้อที่ต้องไม่หมุนเวียนอากาศโดยพัดลมของมอเตอร์

โบลเวอร์ Roots RUVAC เป็นอุปกรณ์มาตรฐานในอุตสาหกรรมเคลือบกระจกสถาปัตยกรรม เมื่อใช้ร่วมกับปั๊ม SOGEVAC ซีลน้ํามันที่ได้รับการยอมรับแล้ว จะทําให้เวลาในการปั๊มที่สั้นที่สุดที่ห้อง Loadlock เมื่อใช้ร่วมกับปั๊มอัดแห้ง DRYVAC และ SCREWLINE จะรับประกันสุญญากาศที่แห้ง เชื่อถือได้ และปราศจากปัญหาที่ห้องกระบวนการ

โบลเวอร์โรตารี่ RUVAC ถูกนํามาใช้ในการใช้งานมากมายเพื่อให้ได้รอบเวลาที่สั้นที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ ไม่ว่าจะเป็นที่ใดที่การระบายอากาศอย่างรวดเร็วมีความสําคัญ เช่น ในห้องล็อกโหลดรองรับหรือในบรรจุภัณฑ์อาหารความเร็วสูง

โบลเวอร์โรตารี่ RUVAC จะบรรลุแรงดันที่ต่ํากว่า 10-3 mbar ได้อย่างรวดเร็วเมื่อทําการดูดหลอดไฟและพื้นผิวฉนวนก่อนกระบวนการสะสมไอระเหย

โบลเวอร์ RUVAC ยังใช้ในอุปกรณ์ดึงโมโนคริสตัลสําหรับการผลิตซิลิคอนโมโนคริสตัล ซึ่งเป็นวัสดุพื้นฐานสําหรับการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเซลล์แสงอาทิตย์ เรายินดีที่จะนําเสนอการสนับสนุนและความรู้เกี่ยวกับผลิตภัณฑ์และการใช้งานที่ครอบคลุมของเรา

Contact Leybold

ติดต่อสอบถาม

เรามุ่งเน้นที่การอยู่ใกล้กับลูกค้า หากคุณมีคําถามใดๆ โปรดติดต่อเรา