ข้อมูลจําเพาะของเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลมีอะไรบ้าง
หน่วยวัดความดันบางส่วนมีคุณสมบัติสําคัญดังต่อไปนี้ (DIN 28 410):
ความละเอียดของความกว้างบรรทัดคืออะไร
ความกว้างของเส้นเป็นการวัดระดับที่สามารถแยกความแตกต่างระหว่างเส้นที่อยู่ติดกันสองเส้นที่มีความสูงเท่ากันได้ โดยปกติแล้วจะมีการระบุความละเอียด ค่าดังกล่าวถูกกําหนดเป็น: R = M / ΔM และคงที่สําหรับสเปกโตรมิเตอร์แบบสี่ขั้วตลอดช่วงมวลทั้งหมด มากกว่า 1 เล็กน้อย หรือ ΔM < 1
บ่อยครั้งที่มีการใช้คําศัพท์เฉพาะ เช่น "ความละเอียดของหน่วยที่มีค่าความคลาดเคลื่อน 15% ซึ่งหมายความว่า "ด้านล่างของหุบเขา" ระหว่างพีคที่อยู่ติดกันสองพีคที่มีความสูงเท่ากันมาถึง 15% ของความสูงของพีค หรือกล่าวอีกนัยหนึ่งคือที่ 7.5% ของความสูงของพีค ความกว้างของเส้น DM ที่วัดได้ทั่วพีคแต่ละจุดเท่ากับ 1 amu (หน่วยมวลอะตอม); ดูในบริบทนี้ที่แผนผังในรูปที่ 4.10.
ภาพที่ 4.10 ความกว้างของเส้น - หุบเขา 15%
ช่วงมวลของเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลคืออะไร?
ช่วงมวลมีลักษณะเฉพาะตามจํานวนอะตอมสําหรับไอออนที่เบาที่สุดและหนักที่สุดที่มีประจุเดียวซึ่งตรวจพบด้วยหน่วย
ความไวในการวัดมวลสเปกโตรเมตรีคืออะไร
ความไว E คืออัตราส่วนของการไหลของไอออนที่วัดได้และความดันบางส่วนที่เกี่ยวข้อง โดยปกติจะระบุไว้สําหรับอาร์กอนหรือไนโตรเจน:
(4.1)
วิธีกําหนดความดันบางส่วนที่ตรวจพบได้ต่ําสุด
แรงดันบางส่วนที่ตรวจพบได้ต่ําสุดถูกกําหนดเป็นอัตราส่วนของแอมพลิจูดสัญญาณรบกวนต่อความไว:
อัตราส่วนความดันบางส่วนที่ตรวจพบได้ต่ําสุด (ความเข้มข้น)
คําจํากัดความ:
SDPPR = p นาที / pΣ (ppm)
คําจํากัดความนี้ซึ่งค่อนข้าง "วุ่นวาย" สําหรับการใช้งานในทางปฏิบัติ จะอธิบายโดยใช้การตรวจจับอาร์กอน 36 ในอากาศเป็นตัวอย่าง: อากาศมีอาร์กอน 0.93 % โดยปริมาตร ความถี่ไอโซโทปสัมพัทธ์ของ Ar40 ถึง Ar36 คือ 99.6 % ถึง 0.337 % ดังนั้น สัดส่วนของ Ar36 ในอากาศสามารถคํานวณได้ดังนี้:
ภาพที่ 4.11 การตรวจจับอาร์กอน35
ภาพที่ 4.11 แสดงการพิมพ์หน้าจอสําหรับการวัดค่า ความสูงสูงสุดสําหรับ Ar36 ในภาพประกอบถูกกําหนดเป็น 1.5 · 10 -13 A และแอมพลิจูดสัญญาณรบกวน Δ · i +R เป็น 4 · 10 -14 A ความเข้มข้นต่ําสุดที่ตรวจพบได้คือความเข้มข้นที่ความสูงของค่าสูงสุดเท่ากับแอมพลิจูดสัญญาณรบกวน ผลลัพธ์ที่ได้คือความสูงสูงสุดที่วัดได้ต่ําสุดคือ 1.5 · 10 -13 A/2.4 · 10 -14 A = 1.875 จากนั้นจะได้ความเข้มข้นที่ตรวจจับได้ต่ําสุดจากการคํานวณเพื่อให้ได้:
ช่วงความเป็นเชิงเส้นของเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวลคืออะไร
ช่วงความเป็นเชิงเส้นคือช่วงความดันสําหรับก๊าซอ้างอิง (N2, Ar) ที่ความไวคงที่ภายในขีดจํากัดที่จะระบุ (± 10 % สําหรับอุปกรณ์วัดความดันบางส่วน)
ในช่วงต่ํากว่า 1 · 10 -6 mbar ความสัมพันธ์ระหว่างการไหลของไอออนและแรงดันบางส่วนเป็นเชิงเส้นอย่างเคร่งครัด ระหว่าง 1 · 10-6 mbar และ 1 · 10 -4 mbar มีค่าเบี่ยงเบนเล็กน้อยจากลักษณะเชิงเส้น เหนือ 1 · 10 -4 mbar ความเบี่ยงเบนเหล่านี้จะเพิ่มขึ้นจนกระทั่งในท้ายที่สุด ในช่วงเหนือ 10 -2 mbar ไอออนสําหรับบรรยากาศก๊าซที่มีความหนาแน่นจะไม่สามารถเข้าถึงตัวดักไอออนได้อีกต่อไป การหยุดฉุกเฉินสําหรับแคโธด (ที่แรงดันสูงเกินไป) เกือบจะตั้งค่าไว้ที่ 5 · 10 -4 mbar เสมอ ขึ้นอยู่กับข้อมูลที่ต้องการ จะมีขีดจํากัดบนสําหรับการใช้งานที่แตกต่างกัน
ในการใช้งานเชิงวิเคราะห์ ไม่ควรเกิน 1 · 10 -6 mbar หากเป็นไปได้ ช่วงตั้งแต่ 1 · 10 -6 mbar ถึง 1 · 10 -4 mbar ยังคงเหมาะสําหรับการแสดงองค์ประกอบของก๊าซและการควบคุมแรงดันบางส่วนอย่างชัดเจน (ดูรูปที่ 4.12).
รูปที่ 4.12 เส้นโค้งเชิงเส้นเชิงคุณภาพ
ข้อมูลเกี่ยวกับพื้นผิวและความเหมาะสมในการอบ
ข้อมูลเพิ่มเติมที่จําเป็นในการประเมินเซ็นเซอร์ ได้แก่ ข้อมูลจําเพาะเกี่ยวกับอุณหภูมิการอบแห้ง (ระหว่างการวัดค่าหรือเมื่อแคโทดหรือ SEMP ปิดอยู่) วัสดุที่ใช้และพื้นที่ผิวของส่วนประกอบโลหะ แก้ว และเซรามิก รวมถึงวัสดุและขนาดสําหรับแคโทด นอกจากนี้ยังจําเป็นต้องมีข้อมูลเกี่ยวกับพลังงานกระแทกอิเล็กตรอนที่แหล่งกําเนิดไอออน (และว่าสามารถปรับได้หรือไม่) ค่าเหล่านี้มีความสําคัญต่อการทํางานที่ต่อเนื่องและมีอิทธิพลต่อองค์ประกอบของก๊าซโดยตัวเซ็นเซอร์เอง
พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
ดาวน์โหลด eBook "พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ" เพื่อค้นพบข้อมูลสําคัญและกระบวนการของปั๊มสุญญากาศ
การอ้างอิง
- สัญลักษณ์สุญญากาศ
- คําจํากัดความ
- ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
สัญลักษณ์สุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
