ฉันต้องการวาล์วชนิดใด
วิธีเลือกวาล์วตามการใช้งานสุญญากาศที่ต้องการ
เทคโนโลยีสุญญากาศมีความต้องการสูงในการทํางานและความน่าเชื่อถือของวาล์ว ซึ่งมักจําเป็นต้องใช้ในโรงงานจํานวนมาก ข้อกําหนดจะได้รับการตอบสนองก็ต่อเมื่อมีการติดตั้งอุปกรณ์ปิดที่ถูกต้องสําหรับการใช้งานแต่ละประเภท ทั้งนี้ขึ้นอยู่กับวิธีการสร้าง วิธีการทํางาน และขนาด นอกจากนี้ ในการก่อสร้างและการปฏิบัติงานของโรงงานสุญญากาศ ปัจจัยต่างๆ เช่น การนําไฟฟ้าของการไหลและความแน่นหนาของวาล์วก็มีความสําคัญอย่างยิ่ง
โครงสร้างวาล์ว
วาล์วถูกสร้างขึ้นเพื่อไม่ให้ลดความเร็วในการปั๊ม ดังนั้น เมื่อเปิดจนสุด การนําไฟฟ้าของวาล์วในพื้นที่สุญญากาศแบบหยาบและปานกลางจะเท่ากับส่วนประกอบท่อที่เกี่ยวข้อง ตัวอย่างเช่น การนําไฟฟ้าของวาล์วมุมขวาจะเท่ากับการนําไฟฟ้าของท่องอที่มีรูเจาะและมุมที่กําหนดเดียวกัน ในทํานองเดียวกัน การนําไฟฟ้าของวาล์วสําหรับการไหลของโมเลกุล (กล่าวคือ ในบริเวณสุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษ) จะสูงมากจนไม่เกิดการจํากัดอย่างมีนัยสําคัญ ค่าที่แท้จริงสําหรับการนําไฟฟ้าของส่วนประกอบต่างๆ จะระบุไว้ในแคตตาล็อก
เพื่อตอบสนองความต้องการที่เข้มงวดในการป้องกันการรั่วซึม วาล์วสุญญากาศคุณภาพสูงได้รับการออกแบบมาเพื่อให้โมเลกุลก๊าซที่ยึดติดกับพื้นผิวของเพลาวาล์วไม่ถูกถ่ายโอนจากบรรยากาศภายนอกไปยังสุญญากาศในระหว่างการทํางาน ดังนั้น วาล์วดังกล่าวจึงติดตั้งด้วยท่อพับยืดโลหะเพื่อแยกแกนวาล์วออกจากบรรยากาศ หรืออีกทางหนึ่ง วาล์วเหล่านี้จะถูกห่อหุ้มอย่างสมบูรณ์ กล่าวคือ มีเพียงซีลแบบสแตติกระหว่างบรรยากาศและสุญญากาศเท่านั้น กลุ่มนี้ประกอบด้วยวาล์วสุญญากาศปานกลางและสูงทั้งหมดจาก Leybold ที่ทํางานแบบแมนนวลหรือแบบอิเล็กโทรนิวเมติก (รูปที่ 2.80) และ (รูปที่ 2.79) อัตราการรั่วไหลของวาล์วเหล่านี้น้อยกว่า 10 -9 mbar · l/s
ภาพที่ 2.79 วาล์วสุญญากาศมุมขวาพร้อมหัวขับโซลินอยด์
- ตัวเรือน
- แผ่นวาล์ว
- สปริงกด
- โซลินอยด์วาล์ว
ภาพที่ 2.80 วาล์วสุญญากาศมุมขวาที่มีหัวขับแบบนิวแมติกไฟฟ้า
- ตัวเรือน
- แผ่นวาล์ว
- พับยืด
- การจ่ายอากาศอัด
- ลูกสูบ
การใช้วาล์วซีลน้ํามัน
วาล์วที่ซีลด้วยน้ํามันหรือจาระบีสามารถใช้สําหรับความต้องการที่เข้มงวดมาก อัตราการรั่วไหลยังอยู่ที่ประมาณ 10 -9 mbar · l/s อย่างไรก็ตาม กรณีพิเศษคือวาล์วประตูแบบลูกตุ้ม แม้จะมีซีลที่ปกคลุมด้วยจาระบี แต่อัตราการรั่วไหลระหว่างสุญญากาศและบรรยากาศภายนอกก็แทบจะเหมือนกับวาล์วซีลแบบบูลเลอร์ เนื่องจากเมื่อวาล์วทํางาน เพลาจะทําการเคลื่อนที่แบบหมุนเท่านั้น ดังนั้นโมเลกุลก๊าซจะไม่ถูกถ่ายโอนเข้าสู่สุญญากาศ
การเลือกวาล์วตามข้อควรพิจารณาด้านแรงดัน
สําหรับแรงดันในการทํางานที่ต่ําถึง 10 -7 mbar วาล์วที่มีการออกแบบมาตรฐานก็เพียงพอแล้ว เนื่องจากซีลและวัสดุตัวเรือนของวาล์วดังกล่าวทําให้การซึมผ่านและการระบายก๊าซไม่สําคัญสําหรับกระบวนการจริง หากต้องการแรงดันต่ําถึง 10 -9 mbar มักจําเป็นต้องอบจนถึง 392°F (200°C) ซึ่งจําเป็นต้องใช้วัสดุซีลที่ทนความร้อน (เช่น VITILANh) และวัสดุที่มีความแข็งแรงเชิงกลสูง พร้อมพื้นผิวที่เตรียมไว้ (ภายใน) และอัตราการไล่ก๊าซต่ํา โดยปกติแล้ววาล์วดังกล่าวจะทําจากสเตนเลสสตีล การเชื่อมต่อหน้าแปลนถูกซีลด้วยปะเก็นอะลูมิเนียม ดังนั้นจึงหลีกเลี่ยงปัญหาการซึมผ่านของซีลอีลาสโตเมอร์ ในช่วง UHV ปัญหาเหล่านี้มีความสําคัญเป็นพิเศษ ดังนั้นจึงต้องใช้ซีลโลหะเป็นหลัก โมเลกุลก๊าซที่ยึดติดกับพื้นผิวของวัสดุมีอิทธิพลอย่างมากที่แรงดันต่ํากว่า 10 -9 mbar สามารถปั๊มออกได้ภายในระยะเวลาที่เหมาะสมโดยการไล่ก๊าซออกพร้อมกันเท่านั้น อุณหภูมิการไล่ก๊าซสูงถึง 932°F (500°C) ที่จําเป็นในระบบ UHV กําหนดข้อกําหนดพิเศษสําหรับวัสดุซีลและรูปทรงเรขาคณิตของซีลทั้งหมด ต้องใช้ปะเก็นที่ทําจากทองหรือทองแดง
การเลือกวาล์วตามการใช้งานสุญญากาศ
การใช้งานที่หลากหลายต้องการวาล์วที่มีตัวขับเคลื่อนที่แตกต่างกัน กล่าวคือ วาล์วที่ทํางานด้วยตนเอง ทํางานด้วยระบบนิวแมติกหรือแม่เหล็ก และขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์ เช่น วาล์วที่มีการรั่วไหลผันแปร ความหลากหลายเพิ่มขึ้นด้วยการออกแบบตัวเรือนที่หลากหลาย นอกจากวัสดุที่หลากหลายที่ใช้แล้ว ยังต้องใช้วาล์วมุมขวาและวาล์วแบบตรง หน้าแปลนที่ติดตั้งกับวาล์วอาจมีขนาดเล็ก (KF), แคลมป์ (ISO-K), สลักเกลียว (ISO-F) หรือ UHV (CF) ทั้งนี้ขึ้นอยู่กับความกว้างที่กําหนดและการใช้งานที่มุ่งหมาย
นอกเหนือจากวาล์วสุญญากาศที่ทําหน้าที่แยกส่วนเท่านั้น (ตําแหน่งเปิดเต็มที่ - ปิดเต็มที่) ยังจําเป็นต้องมีวาล์วพิเศษสําหรับการทํางานพิเศษ โดยทั่วไปแล้วจะมีวาล์วป้องกันการรั่วไหลแบบแปรผัน ซึ่งครอบคลุมช่วงการรั่วไหลตั้งแต่ 10 -10 cm3 /s (NTP) ถึง 1.6 · 103 cm3 /s (NTP) โดยปกติแล้ววาล์วเหล่านี้จะขับเคลื่อนด้วยมอเตอร์และเหมาะสําหรับการควบคุมระยะไกล และเมื่อเชื่อมต่อกับเกจแรงดัน จะสามารถตั้งค่าและรักษาแรงดันในกระบวนการได้ วาล์วพิเศษอื่นๆ ทําหน้าที่ด้านความปลอดภัย เช่น การปิดปั๊มกระจายหรือระบบสุญญากาศโดยอัตโนมัติอย่างรวดเร็วในกรณีที่กระแสไฟขัดข้อง ตัวอย่างเช่น วาล์ว SECUVAC จะอยู่ในกลุ่มนี้ ในกรณีที่กระแสไฟฟ้าขัดข้อง จะตัดระบบสุญญากาศออกจากระบบปั๊มและระบายอากาศออกจากระบบสุญญากาศปลายทาง ระบบสุญญากาศจะเปิดใช้งานก็ต่อเมื่อถึงแรงดันขั้นต่ําที่กําหนด (ประมาณ 200 มิลลิบาร์) หลังจากการกู้คืนพลังงาน
เมื่อต้องปั๊มก๊าซหรือไอระเหยที่มีฤทธิ์รุนแรง มักจะใช้วาล์วที่ทําจากสเตนเลสสตีลและซีลด้วยสารซีล VITILAN ® สําหรับเทคโนโลยีนิวเคลียร์ ได้มีการพัฒนาวาล์วที่ซีลด้วยปะเก็นอีลาสโตเมอร์หรือโลหะพิเศษ หากคุณต้องการทราบข้อมูลเพิ่มเติมเกี่ยวกับการใช้งานที่เฉพาะเจาะจง โปรดติดต่อเรา เรายินดีที่จะให้ข้อมูลการออกแบบเพิ่มเติมสําหรับพื้นที่การใช้งานของคุณ
พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
ดาวน์โหลด eBook "พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ" เพื่อค้นพบข้อมูลสําคัญและกระบวนการของปั๊มสุญญากาศ
การอ้างอิง
- สัญลักษณ์สุญญากาศ
- คําจํากัดความ
- ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
สัญลักษณ์สุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
