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UNIVEX Coating Systems

Beschichtungssysteme UNIVEX

Die Systeme der Baureihe UNIVEX sind gut etabliert für experimentelle Beschichtungs- und Dünnfilm-Beschichtungsanwendungen in der akademischen und industriellen Forschung sowie in der Pilotproduktion.

Dünnfilm-Vakuumbeschichtungsprodukte

Die UNIVEX-Beschichtungsfamilie von Leybold umfasst folgende Produkte:

  • Box-Coating-Systeme
  • Glovebox-Systeme
  • Daktyloskopiesysteme
  • Cluster-Tools sowie kundenspezifische Lösungen

UNIVEX-Beschichtungsprodukte sind hochentwickelte Systeme, die dank ihres modularen Designs die meisten Anforderungen unserer Kunden erfüllen. 

Unsere UNIVEX-Systeme sind mit Vakuumkomponenten von Leybold ausgestattet. Diese Pumpensysteme sind genau an die jeweilige Kammergröße und Anwendung angepasst. Leybold bietet eine große Auswahl an Vorpumpen, die trocken- oder ölabgedichtet sein können. Daran kann jede Hochvakuumpumpe angeschlossen werden, z. B. eine Turbomolekular- oder Kryopumpe. 

Der Hauptzweck besteht darin, eine zuverlässige Vakuumumgebung für den Prozess der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) bei der Dünnfilmbeschichtung des Kunden zu schaffen. Die Prozessausrüstung des Systems kann aus Verdampfungsquellen (thermisch, Elektronenstrahl oder organisch), Sputter-Quellen, einer Reihe von Substratbehandlungen (z. B. Heizen, Kühlen) und vielem mehr bestehen.

Wir passen diese Systeme an Ihre spezifischen Anforderungen an.

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