Produkte Service Einsatzbereiche Blog und Wiki Downloads Über uns Karriere Aktuelles und Veranstaltungen
UNIVEX Box Coater family

UNIVEX-Box-Coating-Systeme

Unsere kompakten Box-Coating-Systeme ermöglichen den direkten Zugang zur Prozesskammer. Die UNIVEX-Box-Coating-Systeme von Leybold zeichnen sich durch ihre Kammergröße aus.

Modulares Systemdesign

Mehrzweck-Vakuumkammer

Bequemer Zugriff auf alle installierten Geräte

Mehrere Beschichtungstechniken in derselben Kammer

Reinraumkompatibel

UNIVEX 250

Unsere kompakten Box-Coating-Systeme ermöglichen den direkten Zugang zur Prozesskammer. Die Leybold UNIVEX Box-Coating-Systeme werden durch ihre Kammergröße definiert. 

Aufgrund seiner geringen Höhe von nur ca. 1,2 Metern sind sie ideal auf einem Arbeitstisch aufstellbar. Es können Substrate bis zu einem maximalen Gesamtdurchmesser von 220 mm beschichtet werden. 

Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller bzw. halbautomatischer Beschichtungsprozesse. 

Häufige Anwendungen:

  • Kontaktmetallisierung (Aufdampfen von Gold, Silber, Chrom, Nickel, Titan usw.)
  • Kontrastmittel-Bildgebung für die Mikroskopie (Indium, Kohlenstoff usw.)
  • Dünnschicht-Solar

Typische Konfigurationen

  • Multi-Pocket-Elektronenstrahl mit thermischem Verdampfer 
  • Bis zu zwei 2-Zoll-Sputter-Pistolen in konfokaler Konfiguration für Sputter up 
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 250

Chamber size

width: 270 mm, depth: 370 mm, height: 400 mm

Thermal evaporator

up to 4 materials

Organic evaporator

up to 4 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 2 x 2"

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Water tempered chamber

optional

Vacuum level

mid 10-7 mbar

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX 400

UNIVEX 400 ist ein kompaktes Beschichtungssystem für Laboraufgaben bzw. Pilotproduktionsläufe. Aufgrund seiner Kammerabmessungen ist es ideal für die Beschichtung kleiner bis mittelgroßer Substrate. 

Es können Substrate/Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von max. 350 mm beschichtet werden. 

Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Beschichtungsprozesse. 

 Häufige Anwendungen

  • Dünnschicht-Solar: CdTe, CIGS, CZTS-Sputter-Prozesse
  • Organische Elektronik (PV, OLEDS)
  • Optische Beschichtung
  • Mikroelektronik

Typische Konfigurationen

  • Multi-Pocket-Elektronenstrahl mit thermischem Verdampfer und Ionenquelle.
  • Bis zu vier 2-Zoll-Sputter-Pistolen in konfokaler Konfiguration für Sputter up or down
  • Elektronenstrahl und organische Verdampfer zur anorganisch-organischen Perowskitbildung
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 400

Chamber size

width: 420 mm, depth: 480 mm, height: 550 mm

Thermal evaporator

up to 8 materials

Organic evaporator

up to 8 materials

E-beam evaporation

multi-pocket or single pocket

Sputtering

up or down, 4  X  2”, 3  X  3”, 2  X  4” or other

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

Water tempered chamber

yes

Vacuum level

mid 10-7 mbar

UHV Version

optional

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX 600

UNIVEX 600 ist ein kompaktes Beschichtungssystem für das Labor bzw. Pilotproduktionsläufe. Aufgrund seiner Kammergröße eignet es sich für mittlere bis große Substratgrößen. 

Der erzielbare Substratdurchsatz erfüllt die allgemeinen Anforderungen für die Kleinserienproduktion. Es können Substrate/Substrathalter bis max. 550 mm Gesamtdurchmesser beschichtet werden. 

Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Beschichtungsprozesse. 

Häufige Anwendungen

  • Optische Beschichtung
  • Optoelektronische Geräte
  • Resistiver RAM
  • Hochtemperatur-Supraleiter

Typische Konfigurationen

  • Substratheizungen und/oder -kühler 
  • Multi-Pocket-Elektronenstrahl mit thermischem Verdampfer und Ionenquelle.
  • Paletten-, Kuppel- oder Planetensubstratkonfigurationen für einzelne oder mehrere Proben
  • Mehrere Sputter-Pistolen in konfokaler oder entgegengesetzter Konfiguration
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 600

Chamber size

Width: 600 mm Depth: 600 mm Height: 800 mm or 550 mm (sputter)

Thermal evaporator

up to 8 materials

Organic evaporator

up to 8 materials

E-beam evaporation

multi-pocket and/or single pocket, multiple gun operation

Sputtering

up or down: 4 X 3”, 3 X 4”, 6 X 2” or other

Co-Deposition

evaporation and/or sputtering

Load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

Water tempered chamber

yes

Vacuum level

mid 10-7 mbar

UHV Version

optional

Cleanroom compatible

yes

UNIVEX 900

UNIVEX 900 ist die fortschrittlichste Lösung für mittlere bis große Substratgrößen bzw. für höhere Substratdurchsätze. Es können Substrate/Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von 800 mm beschichtet werden. Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Beschichtungsprozesse.

Häufige Anwendungen

  • Optische Beschichtung
  • Optoelektronische Geräte
  • Resistiver RAM
  • Hochtemperatur-Supraleiter

Typische Konfigurationen

  • Substratheizungen und/oder -kühler 
  • Multi-Pocket-Elektronenstrahl mit Ionenquellen für die Vorreinigung des Substrats und ionengestützte Beschichtung
  • Paletten-, Kuppel- oder Planetensubstratkonfigurationen für einzelne oder mehrere Proben
  • Mehrere Sputter-Pistolen in konfokaler oder entgegengesetzter Konfiguration
UNIVEX Coating Systems
 

UNIVEX 900

Chamber size

Width: 900 mm Depth: 900 mm Height: 1100 mm

Thermal evaporator

up to 8 materials

Organic evaporator

up to 8 materials

E-beam evaporation

multi-pocket and/or single pocket, multiple gun operation

Sputtering

optional

Co-Deposition

yes

Load lock compatible

optional

Ion assisted deposition

optional

Water tempered chamber

yes

Vacuum level

mid 10-7 mbar

UHV Version

optional

Cleanroom compatible

yes

Ähnliche Produkte