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Unsere kompakten Box-Coating-Systeme ermöglichen den direkten Zugang zur Prozesskammer. Die UNIVEX-Box-Coating-Systeme von Leybold zeichnen sich durch ihre Kammergröße aus.
Modulares Systemdesign
Mehrzweck-Vakuumkammer
Bequemer Zugriff auf alle installierten Geräte
Mehrere Beschichtungstechniken in derselben Kammer
Reinraumkompatibel
Unsere kompakten Box-Coating-Systeme ermöglichen den direkten Zugang zur Prozesskammer. Die Leybold UNIVEX Box-Coating-Systeme werden durch ihre Kammergröße definiert.
Aufgrund seiner geringen Höhe von nur ca. 1,2 Metern sind sie ideal auf einem Arbeitstisch aufstellbar. Es können Substrate bis zu einem maximalen Gesamtdurchmesser von 220 mm beschichtet werden.
Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller bzw. halbautomatischer Beschichtungsprozesse.
Häufige Anwendungen:
Typische Konfigurationen
UNIVEX 250 |
|
---|---|
Chamber size |
width: 270 mm, depth: 370 mm, height: 400 mm |
Thermal evaporator |
up to 4 materials |
Organic evaporator |
up to 4 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket or single pocket |
Sputtering |
up or down, 2 x 2" |
Co-Deposition |
evaporation and/or sputtering |
Load lock compatible |
optional |
Water tempered chamber |
optional |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
Cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX 400 ist ein kompaktes Beschichtungssystem für Laboraufgaben bzw. Pilotproduktionsläufe. Aufgrund seiner Kammerabmessungen ist es ideal für die Beschichtung kleiner bis mittelgroßer Substrate.
Es können Substrate/Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von max. 350 mm beschichtet werden.
Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Beschichtungsprozesse.
Häufige Anwendungen
Typische Konfigurationen
UNIVEX 400 |
|
---|---|
Chamber size |
width: 420 mm, depth: 480 mm, height: 550 mm |
Thermal evaporator |
up to 8 materials |
Organic evaporator |
up to 8 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket or single pocket |
Sputtering |
up or down, 4 X 2”, 3 X 3”, 2 X 4” or other |
Co-Deposition |
evaporation and/or sputtering |
Load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
Water tempered chamber |
yes |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
UHV Version |
optional |
Cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX 600 ist ein kompaktes Beschichtungssystem für das Labor bzw. Pilotproduktionsläufe. Aufgrund seiner Kammergröße eignet es sich für mittlere bis große Substratgrößen.
Der erzielbare Substratdurchsatz erfüllt die allgemeinen Anforderungen für die Kleinserienproduktion. Es können Substrate/Substrathalter bis max. 550 mm Gesamtdurchmesser beschichtet werden.
Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Beschichtungsprozesse.
Häufige Anwendungen
Typische Konfigurationen
UNIVEX 600 |
|
---|---|
Chamber size |
Width: 600 mm Depth: 600 mm Height: 800 mm or 550 mm (sputter) |
Thermal evaporator |
up to 8 materials |
Organic evaporator |
up to 8 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket and/or single pocket, multiple gun operation |
Sputtering |
up or down: 4 X 3”, 3 X 4”, 6 X 2” or other |
Co-Deposition |
evaporation and/or sputtering |
Load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
Water tempered chamber |
yes |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
UHV Version |
optional |
Cleanroom compatible |
yes |
UNIVEX 900 ist die fortschrittlichste Lösung für mittlere bis große Substratgrößen bzw. für höhere Substratdurchsätze. Es können Substrate/Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von 800 mm beschichtet werden. Die Systemsteuerung ermöglicht die Ausführung manueller, halbautomatischer und vollautomatischer Beschichtungsprozesse.
Häufige Anwendungen
Typische Konfigurationen
UNIVEX 900 |
|
---|---|
Chamber size |
Width: 900 mm Depth: 900 mm Height: 1100 mm |
Thermal evaporator |
up to 8 materials |
Organic evaporator |
up to 8 materials |
E-beam evaporation |
multi-pocket and/or single pocket, multiple gun operation |
Sputtering |
optional |
Co-Deposition |
yes |
Load lock compatible |
optional |
Ion assisted deposition |
optional |
Water tempered chamber |
yes |
Vacuum level |
mid 10-7 mbar |
UHV Version |
optional |
Cleanroom compatible |
yes |