UNIVEX G Glovebox
Beladen und Beschichten von feuchtigkeits- und sauerstoffempfindlichen Substraten in einer inerten Umgebung
Unser standardmäßiges Glovebox-System ermöglicht das Beladen und Beschichten von feuchtigkeits- und sauerstoffempfindlichen Substraten unter der inerten Umgebung einer Glovebox.
Die UNIVEX G-Systeme verfügen über eine vordere Schiebetür zur Verbindung mit der Glovebox. Diese Schiebetür ermöglicht dem Bediener einen einfachen Zugang zur Prozesskammer über die Glovebox. Falls ein direkter Zugang erforderlich ist, verfügt die UNIVEX G über eine zweite Tür auf der Rückseite.
Häufige Anwendungen
- Kontaktmetallisierung (Aufdampfen von Gold, Silber, Chrom, Nickel, Titan usw.)
- Biosensoren/medizinische Geräte
- Organische Elektronik: OLED, organische Photovoltaik
- Quantenpunkte/Anzeige
- Elektronenstrahl und organische Verdampfer zur anorganisch-organischen Perowskitbildung
- UNIVEX G 250
- UNIVEX G 350
- UNIVEX G 450
UNIVEX G 250
Die UNIVEX G 250 ist eine praktische und kostengünstige Lösung für Beschichtungsvorgänge, die wenig Platz erfordert.
Es können Substrate oder Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von ca. 220 mm verarbeitet werden.
G 250 |
|
|---|---|
Kammergröße |
Breite 270 mm Tiefe 370 mm Höhe 400 mm |
Thermischer Verdampfer |
Bis zu 4 Materialien |
Verdampfer von organischen Substanzen |
Bis zu 4 Materialien |
Elektronenstrahlverdampfung |
Multi-Pocket oder Single-Pocket |
Sputtern |
Nach oben oder unten, 2 x 2" |
Co-Beschichtungsanwendungen |
Verdampfen und/oder Sputtern |
Schleusenkompatibel |
Option |
Vakuumwert |
Mitte 10-7 mbar |
Reinraumkompatibel |
Ja |
UNIVEX G 350
Die UNIVEX G 350 kombiniert ein kompaktes Design mit viel Platz in der Kammer.
Die UNIVEX G 350 bietet optimale Platzverhältnisse und bequemen Zugang zu den Prozesskomponenten und zur Substratverarbeitung für zahlreiche Beschichtungsvorgänge.
Es können Substrate oder Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von ca. 300 mm verarbeitet werden.
G 350 |
|
|---|---|
Kammergröße |
Breite: 370 mm Tiefe: 390 mm Höhe: 500 mm |
Thermischer Verdampfer |
Bis zu 8 Materialien |
Verdampfer von organischen Substanzen |
Bis zu 4 Materialien |
Elektronenstrahlverdampfung |
Multi-Pocket und/oder Single-Pocket |
Sputtern |
Nach oben oder unten: 3 x 2-Zoll-Pistolen oder 2 x 3-Zoll-Pistolen |
Co-Beschichtungsanwendungen |
Verdampfen und/oder Sputtern |
Schleusenkompatibel |
Option |
Ionengestützte Beschichtung |
Option |
Vakuumwert |
Mitte 10-7 mbar |
Reinraumkompatibel |
Ja |
UNIVEX G 450
Aufgrund ihrer Kammerabmessungen ist die UNIVEX G 450 für alle Beschichtungsaufgaben geeignet, die viel Platz erfordern. Es können Substrate bzw. Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von über 400 mm verarbeitet werden. Mit einer Höhe von 650 mm ist die Vakuumkammer auch für Hebeanwendungen geeignet.
G 450 |
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|---|---|
Kammergröße |
Breite: 500 mm Tiefe: 500 mm Höhe: 650 mm |
Thermischer Verdampfer |
Bis zu 8 Materialien |
Verdampfer von organischen Substanzen |
Bis zu 8 Materialien |
Elektronenstrahlverdampfung |
Multi-Pocket und/oder Single-Pocket |
Sputtern |
Nach oben oder unten: 3 x 3 Zoll, 2 x 4 Zoll, 4 x 2 Zoll oder andere |
Co-Beschichtungsanwendungen |
Verdampfen und/oder Sputtern |
Schleusenkompatibel |
Option |
Ionengestützte Beschichtung |
Option |
Vakuumwert |
Mitte 10-7 mbar |
Reinraumkompatibel |
Ja |