UNIVEX G Glovebox

Beladen und Beschichten von feuchtigkeits- und sauerstoffempfindlichen Substraten in einer inerten Umgebung

Unser standardmäßiges Glovebox-System ermöglicht das Beladen und Beschichten von feuchtigkeits- und sauerstoffempfindlichen Substraten unter der inerten Umgebung einer Glovebox.

Die UNIVEX G-Systeme verfügen über eine vordere Schiebetür zur Verbindung mit der Glovebox. Diese Schiebetür ermöglicht dem Bediener einen einfachen Zugang zur Prozesskammer über die Glovebox. Falls ein direkter Zugang erforderlich ist, verfügt die UNIVEX G über eine zweite Tür auf der Rückseite.

Häufige Anwendungen

Kontaktmetallisierung (Aufdampfen von Gold, Silber, Chrom, Nickel, Titan usw.)
Biosensoren/medizinische Geräte
Organische Elektronik: OLED, organische Photovoltaik
Quantenpunkte/Anzeige
Elektronenstrahl und organische Verdampfer zur anorganisch-organischen Perowskitbildung

Direkter und einfacher Zugang zur Prozessanlage über die vordere Schiebetür

Bequeme Wartung über einen rückseitigen Servicezugang.

Flexible Integration beliebiger Prozesskomponenten

UNIVEX G 250
UNIVEX G 350
UNIVEX G 450

UNIVEX G 250

Die UNIVEX G 250 ist eine praktische und kostengünstige Lösung für Beschichtungsvorgänge, die wenig Platz erfordert.

Es können Substrate oder Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von ca. 220 mm verarbeitet werden.

	G 250
Chamber size	Width 270 mm Depth 370 mm Height 400 mm
Thermal evaporator	up to 4 materials
Organic evaporator	up to 4 materials
E-beam evaporation	multi-pocket or single pocket
Sputtering	up or down, 2 x 2"
Co-Deposition	evaporation and/or sputtering
Load lock compatible	optional
Vacuum level	mid 10^-7 mbar
Cleanroom compatible	yes

UNIVEX G 350

Die UNIVEX G 350 kombiniert ein kompaktes Design mit viel Platz in der Kammer.

Die UNIVEX G 350 bietet optimale Platzverhältnisse und bequemen Zugang zu den Prozesskomponenten und zur Substratverarbeitung für zahlreiche Beschichtungsvorgänge.

Es können Substrate oder Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von ca. 300 mm verarbeitet werden.

	G 350
chamber size	Width: 370 mm Depth: 390 mm Height: 500 mm
thermal evaporator	up to 8 materials
organic evaporator	Up to 4 materials
e-beam evaporation	Multi-pocket and/or single pocket
sputtering	Up or down: 3 X 2” guns, or 2 X 3” guns
Co-Deposition	Evaporation and/or sputtering
load lock compatible	optional
Ion assisted deposition	optional
vacuum level	mid 10^-7 mbar
cleanroom compatible	yes

UNIVEX G 450

Aufgrund ihrer Kammerabmessungen ist die UNIVEX G 450 für alle Beschichtungsaufgaben geeignet, die viel Platz erfordern. Es können Substrate bzw. Substrathalter bis zu einem Gesamtdurchmesser von über 400 mm verarbeitet werden. Mit einer Höhe von 650 mm ist die Vakuumkammer auch für Hebeanwendungen geeignet.

	G 450
chamber size	Width: 500 mm Depth: 500 mm Height: 650 mm
thermal evaporator	Up to 8 materials
organic evaporator	Up to 8 materials
e-beam evaporation	Multi-pocket and/or single pocket
sputtering	Up or down: 3 X 3”, 2 X 4”, 4 X 2” or other
Co-Deposition	Evaporation and/or sputtering
load lock compatible	optional
Ion assisted deposition	optional
vacuum level	mid 10^-7 mbar
cleanroom compatible	yes