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UNIVEX Coating Systems

UNIVEX C

Cluster-Systeme und maßgeschneiderte Beschichtungssysteme

Für spezielle Anwendungen können wir auch Cluster- oder kundenspezifische Systeme liefern, die auf dem modularen UNIVEX-Konzept basieren.

Kundenspezifisches Systementwicklung

Programmierbarer, rezeptgesteuerter Prozessablauf

Ausgezeichnetes Prozessvakuum, geringe Restgasverunreinigungen

UNIVEX C – CLUSTER

Unsere UNIVEX-Cluster sind nach Kundenanforderungen ausgestattet und verfügen über separate Verarbeitungs-, Schleusen- und Transferkammern. Im Allgemeinen verfügt jede Vakuumkammer über ein eigenes Hochvakuumsystem. Im einfachsten Fall wird die Schleusenkammer manuell mit einzelnen Substraten beladen. Darüber hinaus ist die Magazinbearbeitung mehrerer Substrate pro Charge möglich. 

Für den Transport der Substrate zwischen den einzelnen Vakuumkammern kommen üblicherweise motorbetriebene Roboterarme oder lineare Transferantriebseinheiten zum Einsatz. Die UNIVEX-Steuerungssoftware ist an die spezifischen Anwendungsanforderungen angepasst und ermöglicht im Allgemeinen die vollautomatische Ausführung des Prozesses einschließlich der Rezeptverarbeitung. 

UNIVEX Coating Systems

UNIVEX C – CUSTOM

Falls kein UNIVEX-System Ihren Anforderungen entspricht, benötigen Sie vielleicht eine andere Kammergröße oder -höhe? Kein Problem, kontaktieren Sie uns einfach.

Wir freuen uns darauf, Ihr eigenes System möglich zu machen!

UNIVEX Coating Systems

Erfahren Sie, wie UNIVEX C 900 komplexe Beschichtungslösungen unterstützt

Leybold supports the ZSW in complex coating solutions for novel solar cells.

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