UNIVEX C
Cluster-Systeme und maßgeschneiderte Beschichtungssysteme
Für spezielle Anwendungen können wir auch Cluster- oder kundenspezifische Systeme liefern, die auf dem modularen UNIVEX-Konzept basieren.
- UNIVEX C – CLUSTER
- UNIVEX C – CUSTOM
UNIVEX C – CLUSTER
Unsere UNIVEX-Cluster sind nach Kundenanforderungen ausgestattet und verfügen über separate Verarbeitungs-, Schleusen- und Transferkammern. Im Allgemeinen verfügt jede Vakuumkammer über ein eigenes Hochvakuumsystem. Im einfachsten Fall wird die Schleusenkammer manuell mit einzelnen Substraten beladen. Darüber hinaus ist die Magazinbearbeitung mehrerer Substrate pro Charge möglich.
Für den Transport der Substrate zwischen den einzelnen Vakuumkammern kommen üblicherweise motorbetriebene Roboterarme oder lineare Transferantriebseinheiten zum Einsatz. Die UNIVEX-Steuerungssoftware ist an die spezifischen Anwendungsanforderungen angepasst und ermöglicht im Allgemeinen die vollautomatische Ausführung des Prozesses einschließlich der Rezeptverarbeitung.
UNIVEX C – CUSTOM
Falls kein UNIVEX-System Ihren Anforderungen entspricht, benötigen Sie vielleicht eine andere Kammergröße oder -höhe? Kein Problem, kontaktieren Sie uns einfach.
Wir freuen uns darauf, Ihr eigenes System möglich zu machen!
Erfahren Sie, wie UNIVEX C 900 komplexe Beschichtungslösungen unterstützt