Gasanalyse und Massenspektrometrie
Sie erfahren, warum die Gasanalyse für die Vakuumtechnik von entscheidender Bedeutung ist und wie ein Massenspektrometer funktioniert. Sie lernen das Prinzip der Druckumwandlung und andere wichtige Spezifikationen beim Betrieb von Massenspektrometern kennen. Dieser Abschnitt behandelt auch Partialdruckmessungen und die Grundlagen der Ionisierung.
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Gasanalyse und Massenspektrometrie
Fundamentals of Vacuum Technology
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References
- Vacuum symbols
- Glossary of units
- References and sources
Vacuum symbols
A glossary of symbols commonly used in vacuum technology diagrams as a visual representation of pump types and parts in pumping systems
Glossary of units
An overview of measurement units used in vacuum technology and what the symbols stand for, as well as the modern equivalents of historical units
References and sources
References, sources and further reading related to the fundamental knowledge of vacuum technology
