Leybold RUVAC WS 魯式鼓風機是由氣冷式或水冷罐式密封馬達所驅動。可用的變頻器已與幫浦匹配,因此可排除機械過載的可能性。若壓差太高,幫浦的旋轉速度會自動降低,直到達到其負載為止。RUVAC WSU 系列的魯式真空幫浦配置額外的整合式壓力平衡通道和差壓閥。這些系列的幫浦標準配備為垂直抽除氣道。
兩款氣冷式產品線 WS-WSU,每款都有四種幫浦尺寸
由氣冷罐式馬達驅動的高度密封氣冷式幫浦
使用礦物油潤滑 (或可使用 LVO 400)
馬達定子線圈中內建過溫開關
所有彈性密封件由 FPM (FKM)/Viton 製成
內置差壓閥的整合式壓力平衡通道可避免 WSU 機型過載 (選配)
RUVAC WS 251 至 2001 可使用變頻器於 20 和 100 Hz 之間的 頻率操作
沒有饋通至大氣的軸,因此密封性佳
可以從客戶端完成垂直至水平抽除方向的轉換
WAU/WSU/WHU 系列的魯式真空幫浦提供額外的整合式壓力平衡通道和差壓閥。
RUVAC 魯式鼓風機是建築玻璃鍍膜產業的標準設備。結合堅固耐用的油封式 SOGEVAC 幫浦,可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。結合乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦,保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
RUVAC 魯式鼓風機可用於多種應用,對於快速排空為第一要務的領域,能盡可能達到最短的循環時間,例如支援搬送真空閉鎖腔室或高速食品包裝。
RUVAC 魯式鼓風機在進行氣相沉積製程之前對燈具和絕緣表面抽真空時,可快速達到小於 10-3 mbar 的壓力。
RUVAC 鼓風機也用於製造單晶矽的單晶拉製設備,單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。
RUVAC 魯式鼓風機是建築玻璃鍍膜產業的標準設備。結合堅固耐用的油封式 SOGEVAC 幫浦,可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。結合乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦,保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。
RUVAC 魯式鼓風機可用於多種應用,對於快速排空為第一要務的領域,能盡可能達到最短的循環時間,例如支援搬送真空閉鎖腔室或高速食品包裝。
RUVAC 魯式鼓風機在進行氣相沉積製程之前對燈具和絕緣表面抽真空時,可快速達到小於 10-3 mbar 的壓力。
RUVAC 鼓風機也用於製造單晶矽的單晶拉製設備,單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。