RUVAC WSU 2001H Roots Blower

RUVAC WS/WSU

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配備氣冷罐式密封馬達的魯式鼓風機

Leybold RUVAC WS 魯式鼓風機是由氣冷式或水冷罐式密封馬達所驅動。可用的變頻器已與幫浦匹配，因此可排除機械過載的可能性。若壓差太高，幫浦的旋轉速度會自動降低，直到達到其負載為止。RUVAC WSU 系列的魯式真空幫浦配置額外的整合式壓力平衡通道和差壓閥。這些系列的幫浦標準配備為垂直抽除氣道。

兩款氣冷式產品線 WS-WSU，每款都有四種幫浦尺寸

由氣冷罐式馬達驅動的高度密封氣冷式幫浦

使用礦物油潤滑 (或可使用 LVO 400)

馬達定子線圈中內建過溫開關

所有彈性密封件由 FPM (FKM)/Viton 製成

內置差壓閥的整合式壓力平衡通道可避免 WSU 機型過載 (選配)

RUVAC WS 251 至 2001 可使用變頻器於 20 和 100 Hz 之間的頻率操作

沒有饋通至大氣的軸，因此密封性佳

可以從客戶端完成垂直至水平抽除方向的轉換

供應設備

所需的機油量會與幫浦分開供應 (此處顯示例外情況)
如果未標示其他類型的機油，則標準為使用 LVO 100 礦物油
透過氮氣驅氣以防止腐蝕
含整合式塵垢篩網的進氣法蘭墊圈

WAU/WSU/WHU 系列的魯式真空幫浦提供額外的整合式壓力平衡通道和差壓閥。

RUVAC WS 2001 Vacuum Roots Blower

應用
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應用

適用於需要在壓力介於 10-2 和 10-4 mbar (0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr) 下高抽氣速度的應用
用於必須避免由於空氣進入或抽除介質洩漏而造成污染的地方
吸入或抽取高純度氣體
用於潔淨室，空氣不得通過馬達風扇再循環

RUVAC 魯式鼓風機是建築玻璃鍍膜產業的標準設備。結合堅固耐用的油封式 SOGEVAC 幫浦，可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。結合乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦，保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。

RUVAC 魯式鼓風機可用於多種應用，對於快速排空為第一要務的領域，能盡可能達到最短的循環時間，例如支援搬送真空閉鎖腔室或高速食品包裝。

RUVAC 魯式鼓風機在進行氣相沉積製程之前對燈具和絕緣表面抽真空時，可快速達到小於 10-3 mbar 的壓力。

RUVAC 鼓風機也用於製造單晶矽的單晶拉製設備，單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。

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RUVAC WS/WSU 魯式鼓風機

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適用於需要在壓力介於 10-2 和 10-4 mbar (0.75 x 10-2 和 0.75 x 10-4 Torr) 下高抽氣速度的應用
用於必須避免由於空氣進入或抽除介質洩漏而造成污染的地方
吸入或抽取高純度氣體
用於潔淨室，空氣不得通過馬達風扇再循環

RUVAC 魯式鼓風機是建築玻璃鍍膜產業的標準設備。結合堅固耐用的油封式 SOGEVAC 幫浦，可在搬送真空閉鎖腔室應用中達到最短的抽氣時間。結合乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦，保證能在製程腔體內提供乾燥、可靠且零故障的真空。

RUVAC 魯式鼓風機可用於多種應用，對於快速排空為第一要務的領域，能盡可能達到最短的循環時間，例如支援搬送真空閉鎖腔室或高速食品包裝。

RUVAC 魯式鼓風機在進行氣相沉積製程之前對燈具和絕緣表面抽真空時，可快速達到小於 10-3 mbar 的壓力。

RUVAC 鼓風機也用於製造單晶矽的單晶拉製設備，單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。

RUVAC WS/WSU 魯式鼓風機

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