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Composing RUVAC WH WHU

RUVAC WH/WHU

魯式鼓風機

最大效率,縮短幫浦停機時間

RUVAC WH/WHU 系列幫浦是具備高氣通量、完全密封、水冷式魯式助抽幫浦,配備可提供最佳性價比和 70 Hz 時達 9800 m³/h 高抽氣速度的高效率馬達,以及選配的變頻器。馬達和油箱都經過水冷處理,因此能完全平衡幫浦的內部溫度管理。因油溫大幅降低,所以可延長機油使用壽命。

全密封式封裝馬達取代了罐式密封驅動轉子,提供相當於 IE2 或 IE3 效率標準的更高效率。由於封裝馬達設計不需要軸承,因此可延長維修間隔時間,並將幫浦故障降至最低。

使用選購的變頻器可加快 RUVAC WH 得抽氣速度,進而短幫浦抽氣時間。

RUVAC WHU 幫浦配備旁通管路,可自大氣壓力開始以其最大功率運作。WHU 配備改善的閥門技術,可在短循環操作中發揮最大效率。整合式旁通管允許 WHU 幫浦以大氣壓力開始運轉,而獨特的控制蓋板則提供極高的抗污染性。

RUVAC 魯式鼓風機可為建築玻璃鍍膜等特別需要短循環時間的應用提供高潛能。RUVAC 幫浦搭配經實證的油封式 SOGEVAC 幫浦或乾式壓縮 DRYVAC 和 SCREWLINE 幫浦作前級,可為 load lock 的應用提供最短的抽氣時間,並針對製程腔體應用提供優化的無故障真空條件。 

使用者的優勢

密封馬達可在有毒或腐蝕性介質中進行無故障操作

輕巧設計將空間需求降至最低

軸封均未與大氣導通,因此可靠性高、維修間隔長且無漏油

輕鬆進行系統整合

選配的變頻器提供 70 Hz 時可達 9800 m³/h 的高抽氣速度

透過創新的馬達技術降低能源成本

整合式水冷系統適合安裝於空調生產現場

接觸冷卻水的零件採用不鏽鋼材質 (不腐蝕)

RUVAC WH/WHU 魯式鼓風機適用於許多應用領域,可達到最短的循環時間,例如高速食品包裝。

RUVAC WH/WHU 魯式鼓風機會在進行鋰離子電池生產流程的氣相沉積流程或電解質除氣之前,針對薄膜塗層的應用快速達到低於 10-3 mbar 的壓力。

RUVAC 鼓風機也用於單晶矽的製造 (單晶是製造半導體和太陽能電池的基本材料)。我們很高興能為您提供廣泛的產品系列、應用支援及專業知識。

RUVAC WH / WHU 2500 Vacuum Booster

WH 系列的魯式幫浦是針對在操作壓力、循環時間和系統運作時間方面有高需求的所有應用而開發。

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