Leybold 的創新加熱系統可藉由降低平均耗電量,並提供比傳統擴散式及油增壓幫浦明顯更快的加熱時間,而帶來獨特的優勢。針對需要高抽氣速度與高真空、高氣體通量的應用,或是需要大型工業增壓幫浦,以及類似高效率能源控制器 (EEC) 等多種能源效率選項的應用提供自訂解決方案,以減少您的碳足跡。Leybold 的創新直接加熱概念,帶來高能源使用效率的智慧型加熱程序!
油擴散幫浦會產生高真空,並以處於蒸氣形式 (油蒸氣) 且快速流動的幫浦流體進行操作。所有流體噴射幫浦都有類似的抽氣機構,電子加熱容器會將幫浦流體加熱,而油蒸氣會在通過噴射塔噴嘴後膨脹。待抽的氣體分子會擴散至蒸氣流內,並從幫浦腔體排出。
透過衝擊脈衝,將幫浦液流的分子按照流動方向傳送至氣體分子。如此一來,欲抽除的氣體會移至壓力較高的空間。這項技術不會磨損,因為不需要任何移動零件。在油擴散幫浦中,根據幫浦流體 (矽基或礦物油) 的類型和溫度以及噴嘴的設計,對應的蒸氣壓力也會在操作期間增加。
蒸氣噴嘴不會進入製程腔體,因為它會在通過噴嘴射出後凝結在幫浦冷卻的外壁上。此外,獨特的現代擋板設計可透過改良的凝結表面設計,減少擴散油回流與損耗。這種簡單的物理機制讓擴散幫浦成為一種堅固耐用的技術。
擴散幫浦的前級壓力必須夠低以允許蒸汽流出。為了確保這一點,需使用相應的前級幫浦,通常是 Leybold 的機械前級真空幫浦。前級真空壓力也會影響蒸汽噴射流,如果其值超過稱為最大背壓或臨界前級壓力的某個臨界極限,會產生對幫浦運作有害的影響。
蒸氣流以超音速從噴嘴射出,以盡可能獲得最高的蒸氣流速度。噴射塔噴嘴系統有 3-5 個級段,讓萊寶油擴散幫浦產生驚人的抽速。構成蒸汽噴射流的擴散流體蒸汽在幫浦機殼的水冷壁處冷凝,而被輸送的氣體通常在一個或多個後續級段中被進一步壓縮 (氣體通量),然後由前級幫浦排出。
使用流體噴射幫浦可取得的壓縮比非常高:若在流體噴射幫浦的高真空進氣口有 10-7 mbar 的壓力,且前級壓力為 10 -1 mbar,被抽除的氣體會以 10-6 的係數壓縮。此壓縮比可確保應用製程的高真空壓力穩定。流體噴射幫浦的極限壓力受到幫浦操作溫度時所使用流體的分壓值限制。採用我們的高品質擴散幫浦 LVO 500、LVO 521 及 LVO540,我們可保證提供優異效能。
這些產品系列中的每一個系統都為客戶的應用進行最佳化!
油擴散幫浦通常能為真空生產製程提供最有效率且最具成本效益的環境。及時維護的小額投資可為您的生產系統持續提供高水準的效能,藉以帶來高報酬。
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