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氣體捕集式泵浦

COOLVAC i 真空幫浦是一種冰箱低溫幫浦,當氣態物質透過低溫冷凝作用與幫浦內部的低溫表面接觸時會產生真空,用於產生超高真空。

由於其抽氣原理,COOLVAC i 低溫幫浦對所有氣體都具有高度有效抽氣速度。COOLVAC i 真空幫浦在 10-3 mbar 至 10-11 mbar 之間的壓力範圍內可產生不含碳氫化合物的超高真空。

COOLVAC i 系列的所有冷凍幫浦均配備所有安全相關元件,特別是在連接排氣管線時配備額外 DN 40 KF 法蘭的安全閥。

幫浦的本體是由高品質不鏽鋼製成。

需要 COOLPAK i 系列的氦氣壓縮機來操作內置於 COOLVAC i 系列低溫幫浦中的 COOLPOWER i 冷卻頭

iSmartLine (iSL)

The cryo pumps from the iSmartLine (iSL) range are gradually heated up to room temperature by means of electrical heaters at both cold head stages. Pressure, temperature and heating power are monitored by the COOL.DRIVE i controller.

During the process the pumped gases are released one after the other in the following sequence:

  1. Gases adsorbed at the cryopanels (e.g. hydrogen, helium, neon),
  2. Gases condensed at the cryopanels (e.g. nitrogen, oxygen, argon),
  3. Gases and vapors which have condensed onto the baffle and thermal radiation shield (e.g. water vapor).

The benefit of Leybold’s regeneration process described above is that no additional purge gas is required during the regeneration of inert, unreactive gases.

Purge gas regeneration is available as additional option/accessory.

Your advantages:

  • 3 operation modes for increased cooling performance, energy saving, and customized operation available in combination with COOLPAK 5000i
  • Hydrocarbon-free high vacuum
  • High capacity for argon and hydrogen
  • Fully automatic regeneration through integrated COOL.DRIVE i controller
  • Easy on-site servicing without pump disassembling and reconditioning of the vacuum system possible
  • High pumping speed for water and nitrogen
  • Fast, safe and efficient regeneration with the electric regeneration system
COOLVAC 1500 iSL

iBasicLine (iBL)

使用 iBasicLine (iBL) 系列的低溫泵浦時,可手動在兩個子步驟中進行再生: 

  1. 關閉冰箱系統,並等待到達到室溫為止
  2. 在低溫泵浦中達到充分低壓後,請重新冷卻

iBasicLine 幫浦與 iSL 版本的 COOLVAC i 低溫幫浦在以下方面完全相同:

  • 抽氣速度的技術數據、
  • 容量、 
  • 冷卻時間、 
  • 內建冷卻頭、
  • 最大輸送量、 
  • 第二階段 (矽二極體) 的內建溫度感測器和對應的電流饋通。

但是,這些機型包含 COOL.DRIVE i 控制器,以及加熱器、真空計與前級真空閥。

看看其中的優勢!

智慧型

COOLVAC i 可藉由輕巧型 COOL.DRIVE i 控制器與 COOLPAK i 壓縮機的 MK5 控制器兩者的組合搭配使用,進行自動控制。

此控制器操作容易,搭配上各 i 系列的高性能、低振動、節能 COOLPOWER i 冷卻頭與壓縮機,可進行快速、可靠且乾淨的再生作業。

能與 COOLPAK i 壓縮機通訊,透過增強、節能或標準等三種不同運作模式,分別進行快速冷卻、節能或標準運作

安全又簡單

這些低溫幫浦內整合有符合 EN 4126 標準的安全閥。

COOLVAC i 真空幫浦的維護同樣快速簡單:

  • 不需要將幫浦從系統上拆下
  • 低廉的擁有成本。

高抽氣速度

COOLVAC i 低溫幫浦非常適合所有需要高度有效的氣體 (特別是水蒸氣) 抽氣速度的人。

iBasicLine 和 iSmartLine 系列低溫幫浦抽氣能力等級跨及 1500 l/s 與 60000 l/s 之間。

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