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Active Pressure Sensors

DI/DU

壓電式與電容式感測器

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堅固耐用的工業壓力測量

DI/ DU 系列使用壓電式感測器或微型電容單元。對於壓電式真空感測器可從 2000 至 1mbar (1500 至 0.75 torr) 進行測量，電容式真空感測器則可測量 200 至 0.1 mbar (150 至 0.075 torr)。

無論您使用何種感測器類型，都可選擇 FPM 或 EDPM 密封，能夠確保製程具有最長使用壽命的密封技術。最後決定點是您要採用 0-10 V 類比輸出 (DU 系列) 或 4-20 mA 輸出 (DI 系列)。4-20 mA 輸出通常用於有電氣干擾風險，或長纜線有訊號衰減風險時。 

我們還提供差分壓電傳感器（-1000 至 +1000mbar），能夠測量相對比大氣壓的相對壓力，在監測 load lock 搬送腔室時非常有用。

使用者的優勢

絕對壓力範圍從 0.1 至 200 mbar 或 1 至 2000 mbar，相對壓力範圍從 -1000 mbar 至 +1000 mbar

耐高腐蝕度、耐振動及過壓

非氣體種類依存的直接壓力測量，透過按鈕進行數位歸零調整

線性輸出訊號 4 至 20 mA (DI)/2 至 10 V (DU)

小巧設計，只需要一個感測器

IP54 等級機殼含 G 1/4" 母內螺紋或 DN 16 ISO-KF 連接口

壓電式與電容式薄膜測量

壓電與電容式薄膜測量之間的差異為電容式測量中是以電氣而非機械方式測量薄膜的偏移。因此，電容計的反應更快也更精確，可在較低壓力下準確測量。  

壓阻式薄膜傳感器使用陶瓷傳感器。 在壓力下，薄膜背面有一個電阻測量電橋。 測量橋產生的擾動是膜片的絕對壓力作用的量度。 這種測量方法比電容傳感更具成本效益，因此可用於成本敏感的情況，例如食品和包裝。  

DI/DU 系列通常用於惡劣的製程和骯髒的環境。 因此，所有型號均達到 IP54 等級，並且能夠在 0 至 60 oC 的溫度下運行，這意味著它們非常適合在重工業/一般工業中常見的無保護環境中使用。 DI/DU 系列的另一個共同特點是其精巧的尺寸，使其適合整合到設備內部的狹小空間中。 

雖然這些儀表通常直接整合到 PLC 中，特別是在查看 4-20mA 輸出時，如果您需要近端顯示器，它們可以通過我們的 DISPLAY 或 GRAPHIX 系列控制器進行整合。 這使您能夠監控系統中單點位的多段壓力。 

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