IONIVAC ITR 90

IONIVAC

熱陰極 Bayard Alpert 真空計

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為何選擇 IONIVAC？

我們的 IONIVAC 真空計系列，無論是被動式 (IE) 或主動式 (ITR)，都能測量到超高真空狀態。如此即可詳細追蹤實驗，並控制製程中的變數。

IONIVAC 熱陰極真空計的工作原理是讓熱陰極發射電子並為陽極吸引，被測氣體因電子撞擊而離子化。產生的正離子流通過第三電極檢測，該電流用作與壓力成正比的信號。

熱陰極離子化傳感器根據所使用的熱陰極技術類型，提供 10^-12至 10^-1 mbar (0.75·10^-10 至 0.75·10^-1 Torr) 的廣泛測量範圍。

IONIVAC ITR 90/200 系列
IONIVAC IE 414/IE 514 系列

IONIVAC ITR 90/200 系列

IONIVAC ITR 90/200 系列

最佳化組合式變送器

IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合，可進行 5 . 10^-10至 1000 mbar (3.75 . 10^-10至 750 torr) 的真空壓力測量。

有兩種主要版本可用：

ITR 90 搭配單一熱陰極燈絲
透過內建備援功能的 ITR 200 配置雙燈絲，可延長使用壽命。萬一發生故障，它會自動切換燈絲，並指示燈絲已故障。為了進一步增加真空計使用壽命，可以執行除氣程式，重新活化燈絲效能。

從 1 x 10^-10 mbar/torr 至大氣壓力的連續量測壓力
採用可交換陰極與除氣模式的輕巧設計
可烘烤傳感器以進行 UHV 測量
提供類比、本機機顯示、數位和 Profibus 介面，安裝簡便
一般 10^-2 至 10^-9 mbar 製程壓力範圍內具備高再現性
使用被動式計量進行精確的 UHV 壓力測量，可測量至 10^-12mbar/torr

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 測量範圍上限

我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」，具備超低基礎壓力讀數和高準確度。

與我們的被動式真空計控制器配合使用，它們可用於需要在最低壓力等級的環境中獲得詳細的壓力讀數。

被動式 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。

IE 414 利用 Bayard Alpert 技術，可測量從 2 . 10-11 至 e-2 mbar (1.5e-11 至 e-2 torr) 的壓力範圍。
若要達到最低壓力，您需要減少 X 射線的影響。我們的 IE 514 系列真空計能以 Extrator 熱陰極離子化的方式來達成此目的。使用這種傳感器技術，您可讀取從 2e-12 至 1e-4 mbar (2e-12 至 7.5e-5 torr) 的讀數。

IONIVAC ITR 90/200 系列

最佳化組合式變送器

IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合，可進行 5 . 10^-10至 1000 mbar (3.75 . 10^-10至 750 torr) 的真空壓力測量。

有兩種主要版本可用：

ITR 90 搭配單一熱陰極燈絲
透過內建備援功能的 ITR 200 配置雙燈絲，可延長使用壽命。萬一發生故障，它會自動切換燈絲，並指示燈絲已故障。為了進一步增加真空計使用壽命，可以執行除氣程式，重新活化燈絲效能。

從 1 x 10^-10 mbar/torr 至大氣壓力的連續量測壓力
採用可交換陰極與除氣模式的輕巧設計
可烘烤傳感器以進行 UHV 測量
提供類比、本機機顯示、數位和 Profibus 介面，安裝簡便
一般 10^-2 至 10^-9 mbar 製程壓力範圍內具備高再現性
使用被動式計量進行精確的 UHV 壓力測量，可測量至 10^-12mbar/torr

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 測量範圍上限

我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」，具備超低基礎壓力讀數和高準確度。

與我們的被動式真空計控制器配合使用，它們可用於需要在最低壓力等級的環境中獲得詳細的壓力讀數。

被動式 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。

IE 414 利用 Bayard Alpert 技術，可測量從 2 . 10-11 至 e-2 mbar (1.5e-11 至 e-2 torr) 的壓力範圍。
若要達到最低壓力，您需要減少 X 射線的影響。我們的 IE 514 系列真空計能以 Extrator 熱陰極離子化的方式來達成此目的。使用這種傳感器技術，您可讀取從 2e-12 至 1e-4 mbar (2e-12 至 7.5e-5 torr) 的讀數。

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