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IONIVAC ITR 90

IONIVAC

熱陰極 Bayard Alpert 真空計

為何選擇 IONIVAC?

我們的 IONIVAC 真空計系列,無論是被動式 (IE) 或主動式 (ITR),都能測量到超高真空狀態。如此即可詳細追蹤實驗,並控制製程中的變數。 

IONIVAC 熱陰極真空計的工作原理是讓熱陰極發射電子並為陽極吸引, 被測氣體因電子撞擊而離子化。 產生的正離子流通過第三電極檢測,該電流用作與壓力成正比的信號。 

熱陰極離子化傳感器根據所使用的熱陰極技術類型,提供 10-12 至 10-1 mbar (0.75·10-10 至 0.75·10-1 Torr) 的廣泛測量範圍。

IONIVAC ITR90/200 系列

最佳化組合式變送器

IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合,可進行 5 . 10-10 至 1000 mbar (3.75 x 10-10 至 750 torr) 的真空壓力測量。 

有兩種主要版本可用:

  • ITR 90 搭配單一熱陰極燈絲
  • 透過內建備援功能的 ITR 200 配置雙燈絲,可延長使用壽命。萬一發生故障,它會自動切換燈絲,並指示燈絲已故障。為了進一步增加真空計使用壽命,可以執行除氣程式,重新活化燈絲效能。 

兩種類型的 IONIVAC ITR 皆提供類比、數位和 Profibus 介面,還可選用整合式顯示器機型於本機顯示壓力。 

對這些真空計進行維修時,傳感器的校準會保留在真空計儀表頭上,因此在更換傳感單元管件時,真空計會預先校正,而且是立即準確到位,不需要進行任何歸零/大氣校正。

您會得到:

  • 從 1 x 10-10 mbar/torr 至大氣壓力的連續量測壓力  
  • 採用可交換陰極與除氣模式的輕巧設計 
  • 可烘烤傳感器以進行 UHV 測量 
  • 提供類比、本機機顯示、數位和 Profibus 介面,安裝簡便 
  • 一般 10-2 至 10-9 mbar 製程壓力範圍內具備高再現性  
  • 使用被動式計量進行精確的 UHV 壓力測量,可測量至 e-12mbar/torr  
IONIVAC ITR 90

IONIVAC IE 414/IE 514 系列

UHV 測量範圍上限

我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」,具備超低基礎壓力讀數和高準確度。 

與我們的被動式真空計控制器配合使用,它們可用於需要在最低壓力等級的環境中獲得詳細的壓力讀數。 

被動式 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。 

  • IE 414 利用 Bayard Alpert 技術,可測量從 2 x 10-11 至 e-2 mbar (1.5e-11 至 e-2 torr) 的壓力範圍。 
  • 若要達到最低壓力,您需要減少 X 射線的影響。在我們的 IE 514 系列真空計上,以extrator 熱陰極離子化方式來達成目的。使用這種傳感器技術,您可讀取從 2e-12 至 1e-4 mbar (2e-12 至 7.5e-5 torr) 的讀數。
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