我們的 IONIVAC 真空計系列,無論是被動式 (IE) 或主動式 (ITR),都能測量到超高真空狀態。如此即可詳細追蹤實驗,並控制製程中的變數。
IONIVAC 熱陰極真空計的工作原理是讓熱陰極發射電子並為陽極吸引, 被測氣體因電子撞擊而離子化。 產生的正離子流通過第三電極檢測,該電流用作與壓力成正比的信號。
熱陰極離子化傳感器根據所使用的熱陰極技術類型,提供 10-12 至 10-1 mbar (0.75·10-10 至 0.75·10-1 Torr) 的廣泛測量範圍。
最佳化組合式變送器
IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合,可進行 5 . 10-10 至 1000 mbar (3.75 . 10-10 至 750 torr) 的真空壓力測量。
有兩種主要版本可用:
UHV 測量範圍上限
我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」,具備超低基礎壓力讀數和高準確度。
與我們的被動式真空計控制器配合使用,它們可用於需要在最低壓力等級的環境中獲得詳細的壓力讀數。
被動式 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。
最佳化組合式變送器
IONIVAC ITR 是最佳化的組合式變送器。熱陰極離子化傳感器 (利用熱陰極離子化的 Bayard Alpert 原理) 以及 Pirani 傳感器的組合,可進行 5 . 10-10 至 1000 mbar (3.75 . 10-10 至 750 torr) 的真空壓力測量。
有兩種主要版本可用:
UHV 測量範圍上限
我們的 IONIVAC IE 系列真空計是超高真空測量界的「勞斯萊斯」,具備超低基礎壓力讀數和高準確度。
與我們的被動式真空計控制器配合使用,它們可用於需要在最低壓力等級的環境中獲得詳細的壓力讀數。
被動式 IONIVAC IE 傳感器使用熱陰極離子化技術測量至最低壓力。