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有了各式各樣的真空系統和製程,就會需要測量真空效能。

用於測量此廣大範圍之壓力的儀器稱為真空計,可測量範圍從高於大氣壓力 (~ 2000 mbar (1500 Torr)) 向下到 10-12 mbar/torr。沒有單獨一種感應器技術能夠測量這整個範圍。

因此,有多種不同的真空計可供使用,每種都有其各自的特性,以及可測量超過多個十數量級真空狀態的能力。為了擴大測量範圍,目前一般做法是將多種技術整合為單一真空計,以減少系統中所需的連接。  

區分真空計類型的主要方法是測量氣體的方式:直接或間接測量壓力。

  • 若為直接 (或與氣體無關) 壓力測量,透過真空計測量所得的讀數與氣體類型無關,而其提供的壓力一定是系統的實際壓力。這類儀器通常仰賴於薄膜的機械撓曲,可測量從高於大氣壓力到 10-4mbar/torr 的範圍。這類真空計類型可在小範圍內提供高準確度,且通常非常堅固耐用。 
  • 若為間接壓力測量,壓力會經判定為與氣體特性相關的函數 (例如導熱性、離子化機率)。這些特性不只取決於壓力,同時也取決於氣體的莫耳質量。因此,這些特性也稱為與氣體相關。讀數通常與作為測量氣體的空氣或氮氣相關。對於其他蒸氣或氣體的測量,必須針對系統的真實壓力套用對應的修正係數。這些真空計能夠測量更寬廣的壓力範圍 (從大氣壓力到 10 x 10-12 mbar,視類型/組合而定),但是準確度則較低。 

真空計上的另一個常見決定點是主動式或被動式,我們應有盡有的真空計系列可供進行此類選擇。

  • 主動式計量是指將真空計儀錶頭 (感應器頭) 與控制和輸出訊號所需的電子裝置結合,以便與系統輕鬆整合。 
  • 被動式計量是指將真空計儀錶頭與電子裝置分開,然後分別置於專用控制器中。其優點是可在電子裝置無法運作的環境中使用,例如高輻射環境,並可將個別的控制器從上述環境中移除。

真空計與控制器

全廣域真空計量

在廣大的壓力範圍內,都能進行紮實、可靠且準確的壓力量測。

  • THERMOVAC TTR/TR 系列 - 專門用於監控標準的初級/前級幫浦壓力。 
  • PENNINGVAC PTR /PR 系列 - 可在高真空區域中進行量測,這可稱為全域式真空計。
  • IONIVAC ITR/IE 系列 - 將真空範圍進一步延伸到超高真空壓力。

精確真空計量

在最嚴苛的環境中,對於最高等級的準確性與再現性而言,這些產品非常適合用於詳細的系統控制。

  • CERAVAC CTR 真空計 - 電容式真空壓力計系列的首選。
  • DI/DU 真空計 - 準確度稍低,但適合用於髒污/潮濕/多灰塵環境。

真空幫浦與真空計控制器

讓您能夠顯示壓力,並將其量測結果整合至應用更廣泛的控制系統中。我們有多種控制器可供選擇,以滿足您的特定需求。

攜帶式與機械式真空計量

配備整合式顯示幕且採用電池供電的真空計,讓您隨時隨地都能進行測量。在您只需要知道自己是否正在抽真空而非進行精確測量時,機械轉盤式真空計會是理想的選擇。

IONIVAC 熱陰極離子化真空計

熱陰極離子化與冷陰極不同,因為它的感測頭內建一個熱燈絲發射離子。這項技術能夠測量中度真空到超高真空壓力 (10-12 mbar/torr),這項技術的代價是感測頭需要更多保護,而其較複雜的設計也會帶來較高的持有成本。

就像冷陰極技術一樣,它們會在約 10-2 mbar/torr 停止測量,因此通常會與內建的 Pirani 真空計結合,以單一真空計提供全域量測功能。

熱陰極技術也有不同版本,主要類型為 Bayard-Alpert (ITR 或 IE 414) 和 Extractor (IE 514)。Extractor 技術提供最低的壓力量測,能夠測量到 10-12 mbar/torr
 

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