UNIVEX G 手套箱
在惰性環境下裝載對濕氣和氧氣敏感的基材並進行鍍膜
我們的標準手套箱系統可在手套箱的惰性環境中，裝載對濕氣和氧氣敏感的基材並進行鍍膜。
UNIVEX G 系統具備可連接至手套箱的前滑門。此滑門可讓操作人員透過手套箱輕鬆接觸製程腔室。如果需要直接接觸，UNIVEX G 在後方有第二扇門。
一般應用
- 接點金屬化 (金、銀、鉻、鎳、鈦等材質蒸鍍)
- 生物感測器 / 醫療裝置
- 有機電子：OLED、有機光伏
- 量子點 / 顯示
- 用於形成無機-有機鈣鈦礦的電子束和有機蒸鍍機
- UNIVEX G 250
- UNIVEX G 350
- UNIVEX G 450
UNIVEX G 250
UNIVEX G 250 是便利又符合成本效益的解決方案，適用於不需要太多空間的鍍膜工作。
可處理的基材或基材架總直徑最大約為 220 mm。
G 250 |
|
|---|---|
腔體尺寸 |
寬度：270 毫米，深度：370 毫米，高度：400 毫米 |
熱蒸鍍機 |
最多 4 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 4 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋或單口袋 |
濺鍍 |
上或下，2 x 2" |
共沉積 |
蒸鍍和/或濺鍍 |
負載腔體相容 |
可選 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
無塵室相容 |
有 |
UNIVEX G 350
UNIVEX G 350 結合小巧設計與大量腔室空間兩項優點。
對於許多鍍膜工作來說，UNIVEX G 350 提供最佳空間條件且可方便接觸製程元件和處理基材。
可處理的基材或基材架總直徑最大約為 300 mm。
G 350 |
|
|---|---|
腔體尺寸 |
寬度：370 毫米，深度：390 毫米，高度：500 毫米 |
熱蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 4 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋和/或單口袋 |
濺鍍 |
向上或向下：3 X 2” 槍或 2 X 3” 槍 |
共沉積 |
蒸鍍和/或濺鍍 |
負載腔體相容 |
可選 |
離子輔助沉積 |
可選 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
無塵室相容 |
有 |
UNIVEX G 450
由於其腔室尺寸，UNIVEX G 450 適用於所有需要大量空間的鍍膜工作。可處理的基材或基材架總直徑最大超過 400 mm。高度 650 mm的真空腔室也適用於剝離應用。
G 450 |
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|---|---|
腔體尺寸 |
寬度：500 毫米，深度：500 毫米，高度：650 毫米 |
熱蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋和/或單口袋 |
濺鍍 |
向上或向下：3 X 3”、2 X 4”、4 X 2” 或其他 |
共沉積 |
蒸鍍和/或濺鍍 |
負載腔體相容 |
可選 |
離子輔助沉積 |
可選 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
無塵室相容 |
有 |
