UNIVEX C
叢集與自訂沉積系統
針對特殊應用，我們也可以根據 UNIVEX 模組化概念提供叢集或客製化系統。
- UNIVEX C - 叢集
- UNIVEX C - 客製化
UNIVEX C - 叢集
我們的 UNIVEX 叢集可根據客戶要求配備，並且包含單獨的製程腔室、負載腔體室和輸送腔室。一般來說，每個真空腔室都會具備自有的高真空系統。在最簡單的情況下，可手動於負載腔體室裝載個別基材。此外，也可在每批中處理多個基材。
在個別真空腔室之間輸送基材，通常會使用馬達驅動的機械手臂或線性傳動裝置。UNIVEX 控制軟體可根據特定的應用需求客製化，通常允許全自動執行製程，包括製作方法處理。
UNIVEX C - 客製化
沒有任何 UNIVEX 類型的系統符合您的要求、需要任何不同的腔室尺寸或高度嗎？別擔心，聯絡我們即可。
我們期待讓您的系統發揮最大的可能性！
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