光學鍍膜的真空解決方案
改善光學系統的反射行為或傳輸特性
例如過濾器、鏡片、眼鏡鏡片或鏡子。
真空薄膜鍍膜
生產眼鏡、鏡子和反射器需要先進技術，而其中部分技術就需透過真空進行。在生產抗反射及防刮薄膜層時，真空是相當重要的一個環節。當然，您可能對眼鏡的特殊光學、紅外線及紫外線濾光器並不陌生，但是光學鍍膜同時也涵蓋許多科學應用。從顯微鏡到太空觀測使用的詹姆斯·韋伯太空望遠鏡鏡片，特殊光學濾光鏡片無所不在。
PVD 光學鍍膜
光學鍍膜為許多薄層的組合，用於製造各種反射特性或改善光傳導率的薄層。這些薄層通常用在稱為「物理氣相沉積」(PVD) 或蒸發製程的批次鍍膜系統中，並且上述一切都需在壓力介於 10-2 至 10-3 mbar 的真空條件中進行。
光學鍍膜的應用需要精準系統，能夠在真空腔體中將所需的真空等級保持在穩定的值。Leybold 具備上述系統所需的所有真空產品，包括：
- 前級幫浦或「前」幫浦
- 高真空幫浦
- 可靠且符合成本效益的裝置
- 製程控制解決方案
- 系統整合
在此製程的第一階段，必須以能夠快速抽空真空腔體的「粗真空」幫浦將環境氣體和溼氣排空。視您製程所需，我們具備多樣的產品系列，包括 DRYVAC、VARODRY、SCREWLINE、SOGEVAC、TRIVAC 和 RUVAC 幫浦。您可以將多種不同的系統相結合，以獲得絕佳的抽氣速度並最佳化擁有成本。
下一步製程中，製程腔體會抽氣至 5x10-6 mbar 以下的真空度，且要在充入氬氣、氮氣及氧氣的情況下在於操作壓力範圍內持續維持。部分製程需要無油、無塵且無震的環境，在此情況下，我們推薦使用 TURBOVAC i、TURBOVAC MAG 或 COOLVAC 幫浦。如果製程需求較低，則擴散幫浦 (DIJ 和 DIP) 更為合適。
高真空系統需要在高氣體負載下，持續進行長時間操作的能力。
Leybold 幫浦專為鍍膜應用而設計，數十年來已證明其價值。經驗告訴我們，可靠性及運作時間為關鍵所在，因此我們建議採用定期維護方案及 OEM 備用零件。若您妥善維護真空系統，也可省下營運成本。請諮詢當地 Leybold 代表，了解讓您的生產作業隨時保持運轉的最佳解決方案。
確保您可以隨時精準測量真空沉積製程的真空狀態。透過我們的全系列的真空計，您可以隨時監控製程以維持最佳條件。Leybold 代表很樂意為您提供最佳製程控制解決方案的建議。滲漏檢測和 RGA (殘氣分析儀) 系統在製程重複性及可靠性上扮演關鍵角色。
我們的幫浦經過設計，能彼此完美配合，但有時候您的製程需要更進一步的控制及監控解決方案。在此情況下，我們可以安裝能為生產製程提供支援的 PLCs 或控制器。
