UNIVEX G 350 glove box

UNIVEX G 手套箱

在惰性環境下裝載對濕氣和氧氣敏感的基材並進行鍍膜

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我們的標準手套箱系統可在手套箱的惰性環境中，裝載對濕氣和氧氣敏感的基材並進行鍍膜。

UNIVEX G 系統具備可連接至手套箱的前滑門。此滑門可讓操作人員透過手套箱輕鬆接觸製程腔室。如果需要直接接觸，UNIVEX G 在後方有第二扇門。

一般應用

接點金屬化 (金、銀、鉻、鎳、鈦等材質蒸鍍)
生物感測器 / 醫療裝置
有機電子：OLED、有機光伏
量子點 / 顯示
用於形成無機-有機鈣鈦礦的電子束和有機蒸鍍機

透過前側滑門直接輕鬆地接觸製程設備

透過後側鉸鏈門便利維修

整合任何製程元件

UNIVEX G 250
UNIVEX G 350
UNIVEX G 450

UNIVEX G 250

UNIVEX G 250 是便利又符合成本效益的解決方案，適用於不需要太多空間的鍍膜工作。

可處理的基材或基材架總直徑最大約為 220 mm。

UNIVEX G 250 with electrical cabinet

	G 250
腔體尺寸	寬度：270 毫米，深度：370 毫米，高度：400 毫米
熱蒸鍍機	最多 4 種材質
有機蒸鍍機	最多 4 種材質
電子束蒸鍍	多口袋或單口袋
濺鍍	上或下，2 x 2"
共沉積	蒸鍍和/或濺鍍
負載腔體相容	可選
真空度	中級 10^-7 mbar
無塵室相容	有

UNIVEX G 350

UNIVEX G 350 結合小巧設計與大量腔室空間兩項優點。

對於許多鍍膜工作來說，UNIVEX G 350 提供最佳空間條件且可方便接觸製程元件和處理基材。

可處理的基材或基材架總直徑最大約為 300 mm。

UNIVEX Coating Systems

	G 350
腔體尺寸	寬度：370 毫米，深度：390 毫米，高度：500 毫米
熱蒸鍍機	最多 8 種材質
有機蒸鍍機	最多 4 種材質
電子束蒸鍍	多口袋和/或單口袋
濺鍍	向上或向下：3 X 2” 槍或 2 X 3” 槍
共沉積	蒸鍍和/或濺鍍
負載腔體相容	可選
離子輔助沉積	可選
真空度	中級 10^-7 mbar
無塵室相容	有

UNIVEX G 450

由於其腔室尺寸，UNIVEX G 450 適用於所有需要大量空間的鍍膜工作。可處理的基材或基材架總直徑最大超過 400 mm。高度 650 mm的真空腔室也適用於剝離應用。

UNIVEX Coating Systems

	G 450
腔體尺寸	寬度：500 毫米，深度：500 毫米，高度：650 毫米
熱蒸鍍機	最多 8 種材質
有機蒸鍍機	最多 8 種材質
電子束蒸鍍	多口袋和/或單口袋
濺鍍	向上或向下：3 X 3”、2 X 4”、4 X 2” 或其他
共沉積	蒸鍍和/或濺鍍
負載腔體相容	可選
離子輔助沉積	可選
真空度	中級 10^-7 mbar
無塵室相容	有

領先業界的產品。滿懷熱情地應用。