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模組化系統設計
多用途真空腔室
方便觸及所有已安裝的設備
同一腔室中採用多種沉積技術
無塵室相容
我們的精巧箱型鍍膜系統能讓您直接接觸製程腔室。Leybold UNIVEX Box 鍍膜系統由其腔室大小定義。
由於其高度僅約 1.2 m,因此非常適合放在工作臺上。可鍍膜的基材總直徑最大為 220 mm。
系統控制器可讓您分別執行手動或是半自動鍍膜製程。
一般應用:
一般配置
UNIVEX 250 |
|
---|---|
腔體尺寸 |
寬度:270 毫米,深度:370 毫米,高度:400 毫米 |
熱蒸鍍機 |
最多 4 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 4 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋或單口袋 |
濺鍍 |
上或下,2 x 2" |
共沉積 |
蒸鍍和/或濺鍍 |
負載腔體相容 |
可選 |
加水回火腔體 |
可選 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
無塵室相容 |
有 |
UNIVEX 400 是一款精巧的鍍膜系統,分別用於實驗室任務及試量產運行。 其腔室尺寸非常適合中小型基材的鍍膜。
可鍍膜的基材 / 基材架總直徑最大為 350 mm。
系統控制器可讓您執行手動、半自動及全自動鍍膜製程。
一般應用
一般配置
UNIVEX 400 |
|
---|---|
腔體尺寸 |
寬度:420 毫米,深度:480 毫米,高度:550 毫米 |
熱蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋或單口袋 |
濺鍍 |
向上或向下,4 X 2”、3 X 3”、2 X 4”或其他 |
共沉積 |
蒸鍍和/或濺鍍 |
負載腔體相容 |
可選 |
離子輔助沉積 |
可選 |
加水回火腔體 |
有 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
UHV 版本 |
可選 |
無塵室相容 |
有 |
UNIVEX 600 是一款精巧的鍍膜系統,分別用於實驗室任務及試量產運行。 其腔室尺寸非常適合中大型基材的鍍膜。
可達到的基材產量能夠滿足小量生產的一般要求。可鍍膜的基材 / 基材架總直徑最大為 550 mm。
系統控制器可讓您執行手動、半自動及全自動鍍膜製程。
一般應用
一般配置
UNIVEX 600 |
|
---|---|
腔體尺寸 |
寬度:600 毫米,深度:600 毫米,高度:800 毫米或 550 毫米 (濺鍍) |
熱蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋和/或單口袋,多槍操作 |
濺鍍 |
向上或向下:4 X 3”、3 X 4”、6 X 2” 或其他 |
共沉積 |
蒸鍍和/或濺鍍 |
負載腔體相容 |
可選 |
離子輔助沉積 |
可選 |
加水回火腔體 |
有 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
UHV 版本 |
可選 |
無塵室相容 |
有 |
UNIVEX 900 是最先進的解決方案,適合中大型基材,分別用於更高的基材產量。可鍍膜的基材 / 基材架總直徑最大為 800 mm。系統控制器可讓您執行手動、半自動及全自動鍍膜製程。
一般應用
一般配置
UNIVEX 900 |
|
---|---|
腔體尺寸 |
寬度:900 毫米,深度:900 毫米,高度:1100 毫米 |
熱蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
有機蒸鍍機 |
最多 8 種材質 |
電子束蒸鍍 |
多口袋和/或單口袋,多槍操作 |
濺鍍 |
可選 |
共沉積 |
有 |
負載腔體相容 |
可選 |
離子輔助沉積 |
可選 |
加水回火腔體 |
有 |
真空度 |
中級 10-7 mbar |
UHV 版本 |
可選 |
無塵室相容 |
有 |