薄膜製程

薄膜是一層厚度在奈米級到數微米之間的材料。薄膜技術在過去的幾十年中已有所改進,需要可靠的產品以達到最好的品質。對於薄膜沉積製程,萊寶以高性能乾式 DRYVAC/RUVAC 幫浦系統提供業界最佳的真空設備,滿足該應用的要求。

乾式真空幫浦系統
◾ 高氫氣抽速
◾ 耐粉塵
◾ 典型製程氣體的高介質相容性
◾ 內建運行參數監控與魯式幫浦控制系統
◾ 溫度控制與和吹掃氣體流量控制
◾ 可透過Profibus介面控制參數