乾式真空幫浦,與魯式幫浦系統
◾ 高抽速
◾ 可靠度高
◾ 適用於要求苛刻的製程應用(粉塵,製程氣體等)
◾ 監控系統

渦輪分子幫浦
◾ 適合於處理粒子
◾ 高前級真空耐受壓力
◾ 可任意方向安裝

單級油式旋葉幫浦與魯式幫浦系統
◾ 專為Load Lock 的快速抽空而設計
◾ 用於中真空範圍的穩定真空產生裝置
◾ 高可靠性
◾ 成本優化