วิธีสร้างสุญญากาศที่ปราศจากน้ํามันและจัดการไอไฮโดรคาร์บอนในปั๊ม

แชร์ผ่าน

การไหลย้อนกลับของของเหลวปั๊มไอน้ํา ไอน้ํามัน สารหล่อลื่นปั๊มโรตารี่ และผลิตภัณฑ์ที่แตกร้าวสามารถรบกวนกระบวนการทํางานต่างๆ ในสุญญากาศได้อย่างมาก ดังนั้น ขอแนะนําให้ใช้ปั๊มและอุปกรณ์ที่สามารถแยกไอไฮโดรคาร์บอนออกจากการใช้งานบางอย่างได้อย่างน่าเชื่อถือ

ไฮโดรคาร์บอนเป็นสารประกอบทางเคมีที่ทําจากคาร์บอนและไฮโดรเจน ซึ่งเป็นพื้นฐานของเชื้อเพลิงในชีวิตประจําวัน เช่น น้ํามันและก๊าซ การกําจัดไฮโดรคาร์บอนดังกล่าวออกจากปั๊มของคุณจะช่วยลดต้นทุนการดําเนินงานและการบํารุงรักษาในท้ายที่สุด การยกเว้นไอไฮโดรคาร์บอนสามารถจัดการได้โดยใช้วิธีการที่หลากหลาย ปั๊มบางประเภทเหมาะกับกระบวนการนี้มากกว่า ซึ่งหมายความว่าปัจจัยต่อไปนี้เป็นสิ่งสําคัญที่ต้องพิจารณาเมื่อเลือกประเภทปั๊ม

พื้นที่สุญญากาศแบบหยาบ (1013 ถึง 1 mbar)

สามารถใช้ปั๊มฉีดน้ําขนาดใหญ่ ปั๊มฉีดไอน้ํา หรือปั๊มวงแหวนน้ําแทนปั๊มโรตารี่ได้ ปั๊มดูดซับเหมาะสําหรับการระบายแบบแบตช์และการผลิตสุญญากาศขั้นต้นที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอนสําหรับปั๊มสปัตเตอร์ไอออน หากไม่สามารถหลีกเลี่ยงการใช้ปั๊มใบพัดโรตารี่ซีลน้ํามันได้ ควรใช้ปั๊มใบพัดโรตารี่สองจังหวะ ไอน้ํามันปริมาณเล็กน้อยที่ไหลย้อนกลับออกจากช่องทางเข้าของปั๊มเหล่านี้สามารถขจัดออกได้เกือบทั้งหมดโดยตัวดักการดูดซับ (ดูหน้า อุปกรณ์เสริมสําหรับปั๊มโรตารี่) ที่ใส่เข้าไปในท่อปั๊ม

พื้นที่สุญญากาศปานกลาง (1 ถึง 10 ^-3 mbar)

สําหรับการปั๊มก๊าซปริมาณมากในภูมิภาคแรงดันนี้ ปั๊มฉีดไอน้ําเหมาะสมที่สุด ด้วยปั๊มอีเจ็กเตอร์ไอปรอท จึงสามารถผลิตสุญญากาศที่ปราศจากน้ํามันได้อย่างสมบูรณ์ เพื่อเป็นการป้องกัน ขอแนะนําให้ใส่ตัวดักน้ําเย็นที่เย็นด้วยไนโตรเจนเหลวเพื่อไม่ให้ไอปรอทที่เป็นอันตรายเข้าสู่ภาชนะ ด้วยตัวดักการดูดซับสุญญากาศปานกลางที่อธิบายไว้ภายใต้ a) ปั๊มใบพัดโรตารี่สองจังหวะสามารถผลิตสุญญากาศที่แทบจะไร้น้ํามันได้ต่ํากว่า 10 ^-4 mbar

สุญญากาศที่ปราศจากน้ํามันอย่างแท้จริงอาจเกิดขึ้นในพื้นที่สุญญากาศปานกลางด้วยปั๊มดูดซับ เนื่องจากการปั๊มของปั๊มเหล่านี้สําหรับก๊าซที่มีค่าเบามีขนาดเล็กเท่านั้น ภาชนะที่เติมอากาศในตอนแรกจึงสามารถระบายออกได้จนถึงประมาณ 10 ^-2 mbar เท่านั้น แรงดัน 10 ^-3 mbar หรือต่ํากว่านั้นสามารถเกิดขึ้นได้ด้วยปั๊มดูดซับก็ต่อเมื่อไม่มีนีออนหรือฮีเลียมอยู่ในส่วนผสมก๊าซที่จะปั๊ม ในกรณีดังกล่าว อาจมีประโยชน์ในการไล่อากาศออกจากภาชนะโดยการล้นด้วยไนโตรเจนก่อน จากนั้นจึงปั๊มออก

พื้นที่สุญญากาศสูงและสูงพิเศษ (< 10 ^-3 mbar)

เมื่อมีการพัฒนาก๊าซอย่างมีนัยสําคัญในบริเวณแรงดันที่ต้องปั๊ม ควรใช้ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล หรือปั๊มแช่แข็ง ปั๊มสปัตเตอร์ไอออนเหมาะอย่างยิ่งสําหรับการรักษาแรงดันให้ต่ําที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้เป็นระยะเวลานานในระบบปิดผนึกที่กระบวนการไม่ปล่อยก๊าซปริมาณมาก ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบแขวนแม่เหล็กยังรับประกันสุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอนอีกด้วย อย่างไรก็ตาม ในขณะที่ปั๊มเหล่านี้ปิดอยู่ ไอน้ํามันอาจเข้าสู่ภาชนะผ่านปั๊ม ด้วยวิธีการที่เหมาะสม (เช่น การใช้วาล์วแยกหรือการระบายอากาศออกจากภาชนะด้วยอาร์กอน) สามารถป้องกันการปนเปื้อนของผนังภาชนะได้เมื่อปั๊มหยุดนิ่ง หากเน้นที่การสร้าง "สุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอน" ด้วยปั๊มเทอร์โบโมเลกุล ควรใช้ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลไฮบริดที่มีปั๊มไดอะแฟรมหรือปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบคลาสสิกร่วมกับปั๊มสโครลเป็นปั๊มสํารองที่ปราศจากน้ํามัน

Blog & Wiki Pumping processes Vacuum Generation Vacuum Fundamentals