ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลทํางานอย่างไร
หลักการของปั๊มโมเลกุล - เป็นที่รู้จักกันดีตั้งแต่ปี 1913 - คืออนุภาคก๊าซที่จะปั๊มได้รับพัลส์ในทิศทางการไหลที่ต้องการผ่านการกระแทกกับพื้นผิวที่เคลื่อนที่อย่างรวดเร็วของโรเตอร์ พื้นผิวของโรเตอร์ - โดยปกติจะเป็นรูปทรงดิสก์ - จะก่อตัวขึ้นพร้อมกับพื้นผิวที่อยู่กับที่ของสเตเตอร์ ซึ่งจะแทรกแซงพื้นที่ซึ่งก๊าซจะถูกส่งไปยังพอร์ตรอง ในปั๊มโมเลกุล Gaede ดั้งเดิมและการดัดแปลง ช่องว่างที่แทรกแซง (ช่องทางการขนส่ง) แคบมาก ซึ่งนําไปสู่ความยากลําบากในการก่อสร้างและความไวสูงต่อการปนเปื้อนทางกลไก
หลักการทํางานของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์
ในช่วงท้ายยุคห้าสิบ เป็นไปได้ - ด้วยการออกแบบคล้ายกังหันและด้วยการดัดแปลงแนวคิดของ Gaede - ที่จะผลิตปั๊มที่ใช้งานได้ทางเทคนิคที่เรียกว่า "ปั๊มเทอร์โบโมเลกุล" ช่องว่างระหว่างสเตเตอร์และแผ่นโรเตอร์ถูกสร้างขึ้นในลําดับมิลลิเมตร ดังนั้นจึงสามารถได้รับค่าความคลาดเคลื่อนที่ยอมรับได้ที่มากขึ้น ดังนั้นจึงมีความปลอดภัยในการทํางานมากขึ้น อย่างไรก็ตาม ผลการปั๊มที่มีนัยสําคัญจะเกิดขึ้นก็ต่อเมื่อความเร็วรอบวง (ที่ขอบด้านนอก) ของใบพัดโรเตอร์ถึงลําดับขนาดของความเร็วความร้อนเฉลี่ยของโมเลกุลที่จะปั๊มเท่านั้น แหล่งจลนศาสตร์ก๊าซจลนศาสตร์สําหรับ c- o สมการ 1.17:
ที่ซึ่งการพึ่งพาประเภทของก๊าซเป็นฟังก์ชันของมวลโมลาร์ M ถูกรวมไว้ การคํานวณที่เกี่ยวข้องกับหน่วย cgs (ซึ่ง R = 83.14 · 106 mbar · cm3 / mol · K) ส่งผลให้เกิดตารางต่อไปนี้:
ตาราง 2.4 c เป็นฟังก์ชันของมวลโมลาร์ M
ในขณะที่ความเร็วในการปั๊มขึ้นอยู่กับประเภทของก๊าซค่อนข้างต่ํา
การพึ่งพาการบีบอัด k0 ที่อัตราการไหลเป็นศูนย์ และด้วยเหตุนี้ยังรวมถึงการบีบอัด k เนื่องจาก
เป็นมากกว่าดังที่แสดงโดยความสัมพันธ์ที่กําหนดโดยการทดลองในรูปที่ 2.55.
ตัวอย่างเช่น:
จากทฤษฎี จะเป็นไปได้ว่า
ซึ่งสอดคล้องกันเป็นอย่างดีตามที่คาดไว้ (ลําดับของขนาด) กับค่าที่กําหนดโดยการทดลองสําหรับ k0 (N2) = 2.0 · 108 จากรูปที่ 2.55. เมื่อพิจารณาถึงการปรับให้เหมาะสมสําหรับแต่ละจังหวะโรเตอร์ทั่วไปในปัจจุบัน การพิจารณานี้ไม่ถูกต้องสําหรับปั๊มทั้งหมดอีกต่อไป ภาพประกอบ: 2.56 เป็นค่าที่วัดได้สําหรับ TURBOVAC 340 M ที่ทันสมัย
ภาพที่ 2.55 TURBOVAC 450 - การบีบอัดสูงสุด k0 เป็นฟังก์ชันของมวลโมลาร์ M
ภาพที่ 2.56 การบีบอัดสูงสุด k0 ของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ TURBOVAC 340 M สําหรับ H2, He และ N2 เป็นฟังก์ชันของแรงดันป้อนกลับ
ชมวิดีโอด้านล่างเพื่อดูภาพเคลื่อนไหวการปั๊มของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลในการทํางาน
Working principle of the turbomolecular pump TURBOVAC from Leybold
ข้อดีและข้อเสียของแบริ่งเทอร์โบโมเลกุล
เพื่อให้เป็นไปตามเงื่อนไขนี้ จําเป็นต้องมีความเร็วรอบนอกสําหรับโรเตอร์ที่มีลําดับขนาดเท่ากับ c ความเร็วโรเตอร์สูงสําหรับปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ โดยมีช่วงตั้งแต่ประมาณ 36,000 รอบต่อนาทีสําหรับปั๊มที่มีโรเตอร์เส้นผ่านศูนย์กลางขนาดใหญ่ (TURBOVAC 1000) ถึง 72,000 รอบต่อนาทีในกรณีที่มีเส้นผ่านศูนย์กลางโรเตอร์ขนาดเล็ก (TURBOVAC 35 / 55) ความเร็วสูงดังกล่าวจะทําให้เกิดคําถามเกี่ยวกับแนวคิดตลับลูกปืนที่เชื่อถือได้ Leybold นําเสนอแนวคิดสามแนวคิด ซึ่งข้อดีและข้อเสียของแนวคิดดังกล่าวมีรายละเอียดไว้ด้านล่าง:
การหล่อลื่นด้วยน้ํามัน / ตลับลูกปืนเม็ดกลมเหล็ก
+ เข้ากันได้ดีกับอนุภาคด้วยน้ํามันหล่อลื่นหมุนเวียน
- สามารถติดตั้งได้ในแนวตั้งเท่านั้น
+ การบํารุงรักษาต่ํา
การหล่อลื่นด้วยจาระบี / ตลับลูกปืนไฮบริด
+ การติดตั้งในทุกทิศทาง
+ เหมาะสําหรับระบบเคลื่อนที่
± การระบายความร้อนด้วยอากาศจะทําได้สําหรับการใช้งานมากมาย
+ หล่อลื่นตลอดอายุการใช้งาน (ของแบริ่ง)
ปราศจากสารหล่อลื่น / ระบบกันสะเทือนแม่เหล็ก
+ ไม่สึกหรอ
+ ไม่ต้องบํารุงรักษา
+ ปราศจากไฮโดรคาร์บอนอย่างแท้จริง
+ ระดับเสียงรบกวนและการสั่นสะเทือนต่ํา
+ การติดตั้งในทุกทิศทาง
ตลับลูกปืนเม็ดกลมเหล็กกล้า / ตลับลูกปืนเม็ดกลมไฮบริด (ตลับลูกปืนเม็ดกลมเซรามิก):
แม้แต่การฉีกขาดสั้นๆ ในฟิล์มหล่อลื่นบางๆ ระหว่างลูกบอลและแหวนล้อก็อาจทําให้เกิดการเชื่อมระดับไมโครที่จุดสัมผัสได้ หากใช้วัสดุประเภทเดียวกัน ซึ่งจะลดอายุการใช้งานของตลับลูกปืนลงอย่างมาก การใช้วัสดุที่แตกต่างกันในที่เรียกว่าแบริ่งไฮบริด (เส้นทาง: เหล็กกล้า, ลูกปืน: เซรามิก) จะช่วยหลีกเลี่ยงผลกระทบของการเชื่อมระดับไมโคร
แนวคิดตลับลูกปืนที่สง่างามที่สุดคือ ของระบบกันสะเทือนแม่เหล็ก ตั้งแต่ปี 1976 Leybold ส่งมอบปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบกันสะเทือนแม่เหล็ก - ซีรี่ส์ 550M และ 560M ในตํานาน ในเวลานั้น มีการใช้ระบบกันสะเทือนแม่เหล็กที่ใช้งานอย่างแท้จริง (กล่าวคือ ด้วยแม่เหล็กไฟฟ้า) ความก้าวหน้าในด้านอิเล็กทรอนิกส์และการใช้แม่เหล็กถาวร (ระบบกันสะเทือนแม่เหล็กแบบพาสซีฟ) บนพื้นฐานของ "ระบบ KFA Jülich" ทําให้แนวคิดการกันสะเทือนแม่เหล็กแพร่กระจายอย่างกว้างขวาง ในระบบนี้โรเตอร์จะคงอยู่ในตําแหน่งที่เสถียรโดยไม่สัมผัสระหว่างการทํางานโดยแรงแม่เหล็ก ไม่จําเป็นต้องใช้สารหล่อลื่นเลย ตลับลูกปืนที่เรียกว่าตลับลูกปืนแบบสัมผัสลงถูกรวมไว้สําหรับการปิดเครื่อง
แผนผังของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์
รูปภาพ 2.52 แสดงภาพตัดขวางของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลทั่วไป ปั๊มเป็นเครื่องอัดอากาศหรือปั๊มลมแบบไหลตามแนวแกนที่มีการออกแบบในแนวตั้ง ซึ่งส่วนที่ทํางานหรือปั๊มประกอบด้วยโรเตอร์ (6) และสเตเตอร์ (2) ใบพัดกังหันจะอยู่รอบเส้นรอบวงของสเตเตอร์และโรเตอร์ แต่ละคู่โรเตอร์ - สเตเตอร์ของแถวใบมีดวงกลมจะก่อตัวเป็นหนึ่งจังหวะ ดังนั้นชุดประกอบจึงประกอบด้วยจังหวะจํานวนมากที่ติดตั้งเป็นชุด ก๊าซที่จะปั๊มจะเข้าสู่ช่องเปิดของหน้าแปลนทางเข้า (1) โดยตรง ซึ่งหมายความว่าโดยไม่มีการสูญเสียการนําไฟฟ้าใดๆ ที่พื้นที่ปั๊มที่ใช้งานอยู่ของใบพัดด้านบนของชุดโรเตอร์ - สเตเตอร์ ซึ่งติดตั้งใบมีดที่มีช่วงรัศมีกว้างเป็นพิเศษเพื่อให้มีพื้นที่ทางเข้ารูปวงแหวนขนาดใหญ่ ก๊าซที่ดักจับโดยจังหวะเหล่านี้จะถูกถ่ายโอนไปยังจังหวะการบีบอัดที่ต่ํากว่า ซึ่งใบพัดมีช่วงรัศมีสั้นกว่า ซึ่งก๊าซจะถูกบีบอัดเป็นแรงดันป้อนกลับหรือแรงดันสุญญากาศแบบหยาบ โรเตอร์กังหัน (6) ติดตั้งอยู่บนเพลาขับ ซึ่งรองรับโดยตลับลูกปืนเม็ดกลมความแม่นยําสูงสองตัว (8 และ 11) ที่ติดตั้งอยู่ในตัวเรือนมอเตอร์ เพลาโรเตอร์ถูกขับเคลื่อนโดยตรงโดยมอเตอร์ความถี่ปานกลางที่อยู่ในพื้นที่สุญญากาศเบื้องต้นภายในโรเตอร์ ดังนั้นจึงไม่จําเป็นต้องมีสายไฟที่ส่งผ่านเพลาโรตารี่ไปยังบรรยากาศภายนอก มอเตอร์นี้ได้รับพลังงานและควบคุมโดยอัตโนมัติจากตัวแปลงความถี่ภายนอก ซึ่งโดยปกติแล้วจะเป็นตัวแปลงความถี่โซลิดสเตตที่ให้ระดับเสียงรบกวนต่ํามาก สําหรับการใช้งานพิเศษ เช่น ในพื้นที่ที่สัมผัสกับรังสี จะใช้ตัวแปลงความถี่ของเครื่องกําเนิดไฟฟ้ามอเตอร์
ภาพที่ 2.52 แผนผังของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล TURBOVAC 151 ที่หล่อลื่นด้วยจาระบี
- หน้าแปลนทางเข้าสุญญากาศสูง
- ชุดสเตเตอร์
- หน้าแปลนระบายอากาศ
- หน้าแปลนสุญญากาศเบื้องต้น
- แผ่นกันกระแทก
- โรเตอร์
- ฝาครอบปั๊ม
- ตลับลูกปืนเม็ดกลม
- การเชื่อมต่อน้ําหล่อเย็น
- มอเตอร์ 3 เฟส
- ตลับลูกปืนเม็ดกลม
การกําหนดค่าโรเตอร์ - สเตเตอร์ในแนวตั้งให้สภาวะการไหลที่เหมาะสมที่สุดของก๊าซที่ทางเข้า เพื่อให้แน่ใจว่าการทํางานจะปราศจากการสั่นสะเทือนที่ความเร็วรอบสูง กังหันจะได้รับการปรับสมดุลแบบไดนามิกในสองระดับระหว่างการประกอบ
ความเร็วในการปั๊มของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล
ลักษณะเฉพาะของความเร็วในการปั๊ม (อัตราการไหลเชิงปริมาตร) ของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลจะแสดงไว้ในรูปที่ 2.53. ความเร็วในการปั๊มจะคงที่ตลอดช่วงแรงดันการทํางานทั้งหมด ค่านี้จะลดลงที่แรงดันขาเข้าสูงกว่า 10-3 mbar เนื่องจากค่าขีดจํากัดนี้ทําเครื่องหมายการเปลี่ยนจากบริเวณการไหลของโมเลกุลไปเป็นบริเวณการไหลของก๊าซที่มีความหนืดแบบลามิเนียร์ รูปที่ 2.54 ยังแสดงให้เห็นว่าความเร็วในการปั๊มขึ้นอยู่กับประเภทของก๊าซ
ภาพที่ 2.53 ความเร็วในการปั๊มอากาศของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลต่างๆ
ภาพที่ 2.54 เส้นโค้งความเร็วในการปั๊มของ TURBOVAC 600 สําหรับ H2, He, N2 และ Ar
อัตราส่วนการอัดของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์
อัตราส่วนการบีบอัด (มักเรียกว่าการบีบอัด) ของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลคืออัตราส่วนระหว่างความดันบางส่วนของส่วนประกอบก๊าซหนึ่งส่วนที่หน้าแปลนสุญญากาศเบื้องต้นของปั๊มและส่วนประกอบก๊าซที่หน้าแปลนสุญญากาศสูง: การบีบอัดสูงสุด k0 จะพบได้ที่อัตราการไหลเป็นศูนย์ ด้วยเหตุผลทางกายภาพ อัตราส่วนการบีบอัดของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลจึงสูงมากสําหรับโมเลกุลหนัก แต่ต่ํากว่ามากสําหรับโมเลกุลเบา ความสัมพันธ์ระหว่างการบีบอัดและมวลโมเลกุลแสดงไว้ในรูปที่ 2.55. แสดงไว้ในรูปที่ 2.56 เป็นเส้นโค้งการบีบอัดของ TURBOVAC 340 M สําหรับ N2, He และ H2 เป็นฟังก์ชันของแรงดันป้อนกลับ เนื่องจากอัตราส่วนการบีบอัดสูงสําหรับโมเลกุลไฮโดรคาร์บอนหนัก จึงสามารถเชื่อมต่อปั๊มเทอร์โบโมเลกุลเข้ากับห้องสุญญากาศได้โดยตรงโดยไม่ต้องใช้แผ่นกั้นหรือตัวดักที่ระบายความร้อนอย่างน้อยหนึ่งแผ่น และไม่เสี่ยงต่อความดันบางส่วนที่วัดได้สําหรับไฮโดรคาร์บอนในห้องสุญญากาศ (สุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอน! - ดูเพิ่มเติมที่รูปที่ 2.57: สเปกตรัมก๊าซตกค้างเหนือ TURBOVAC 361) เนื่องจากความดันบางส่วนของไฮโดรเจนที่ได้จากปั๊มโรตารี่สํารองต่ํามาก ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลจึงสามารถบรรลุความดันขั้นสุดท้ายในช่วง 10 -11 mbar แม้จะมีการบีบอัด H2 ค่อนข้างปานกลางก็ตาม แน่นอนว่าเพื่อสร้างความดันที่ต่ํามากดังกล่าว จําเป็นต้องปฏิบัติตามกฎทั่วไปของเทคโนโลยี UHV อย่างเคร่งครัด: ต้องอบห้องสุญญากาศและส่วนบนของปั๊มเทอร์โบโมเลกุล และต้องใช้ซีลโลหะ ที่แรงดันต่ํามาก ก๊าซที่เหลืออยู่ประกอบด้วย H2 ส่วนใหญ่ที่มาจากผนังโลหะของห้องอบ สเปกตรัมในรูปที่ 2.57 แสดงองค์ประกอบของก๊าซที่เหลืออยู่ด้านหน้าทางเข้าของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่ความดันขั้นสุดท้ายเทียบเท่ากับไนโตรเจน 7 · 10 -10 mbar ดูเหมือนว่าสัดส่วนของ H2 ในปริมาณก๊าซทั้งหมดจะอยู่ที่ประมาณ 90 ถึง 95% ส่วนของโมเลกุล "หนัก" จะลดลงอย่างมากและมวลที่มากกว่า 44 จะไม่ถูกตรวจพบ เกณฑ์สําคัญในการประเมินคุณภาพของสเปกตรัมก๊าซตกค้างคือไฮโดรคาร์บอนที่วัดได้จากสารหล่อลื่นที่ใช้ในระบบปั๊มสุญญากาศ แน่นอนว่า "สุญญากาศที่ปราศจากไฮโดรคาร์บอนอย่างแท้จริง" สามารถผลิตได้ด้วยระบบปั๊มที่ปราศจากสารหล่อลื่นเท่านั้น เช่น ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบแขวนลอยแม่เหล็กและปั๊มสํารองแบบอัดแห้ง เมื่อใช้งานอย่างถูกต้อง (การระบายอากาศเมื่อหยุดนิ่งทุกประเภท) จะตรวจไม่พบไฮโดรคาร์บอนในสเปกตรัมของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลปกติ
รูปที่ 2.57 สเปกตรัมเหนือ TURBOVAC 361
M = จํานวนมวล = มวลโมลาร์สัมพัทธ์ที่การเกิดไอออน 1
I = กระแสไอออน
ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลประเภทอื่นๆ
การพัฒนาเพิ่มเติมของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลคือปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบไฮบริดหรือแบบผสม จริงๆ แล้วนี่คือปั๊มสองตัวบนเพลาร่วมในตัวเรือนเดียว จังหวะสุญญากาศสูงสําหรับบริเวณการไหลของโมเลกุลคือปั๊มเทอร์โบโมเลกุลแบบคลาสสิก ปั๊มที่สองสําหรับช่วงการไหลที่หนืดคือปั๊มลากหรือแรงเสียดทานของโมเลกุล
Leybold ผลิตปั๊ม เช่น TURBOVAC 55 ที่มีจังหวะ Holweck ในตัว (คอมเพรสเซอร์สกรู) และ ตัวอย่างเช่น HY. CONE 60 หรือ HY. CONE 200 ที่มีจังหวะ Siegbahn ในตัว (คอมเพรสเซอร์สกรู) จากนั้น แรงดันป้อนกลับที่ต้องการจะมีค่าเท่ากับไม่กี่มิลลิบาร์ ดังนั้นปั๊มป้อนกลับจึงจําเป็นต้องอัดจากประมาณ 5 ถึง 10 มิลลิบาร์เป็นแรงดันบรรยากาศเท่านั้น มุมมองส่วนของ HY. CONE แสดงไว้ในรูปที่ 2.52a.
ภาพที่ 2.52a ภาพตัดขวางของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลาร์ HY.CONE
- ช่องดูดฝุ่น
- หน้าแปลนสุญญากาศสูง
- โรเตอร์
- สเตเตอร์
- แบริ่ง
- มอเตอร์
- พัดลม
- แบริ่ง
วิธีใช้งานปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่มีปั๊มสํารอง
ตามกฎทั่วไป ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลควรเริ่มต้นทํางานร่วมกับปั๊มสํารองเพื่อลดการไหลย้อนกลับของน้ํามันจากปั๊มสํารองเข้าสู่ห้องสุญญากาศ การเริ่มทํางานของปั๊มเทอร์โบโมเลกุลที่ล่าช้าจะเหมาะสมในกรณีของชุดปั๊มสํารองขนาดเล็กและห้องสุญญากาศขนาดใหญ่ ที่ความเร็วการปั๊มที่ทราบสําหรับปั๊มสํารอง SV (m3 /h) และปริมาตรที่ทราบสําหรับห้องสุญญากาศ (m3 ) สามารถประมาณความดันสตาร์ทสําหรับปั๊มเทอร์โบโมเลกุลได้:
การสตาร์ทพร้อมกันเมื่อ
2.24 a
และหน่วงเวลาสตาร์ทเมื่อ
2.24 b
ที่แรงดันการเปิดสวิตช์:
2.24 c
การสตาร์ทพร้อมกันเมื่อ
และหน่วงเวลาสตาร์ทเมื่อ
ที่แรงดันการเปิดสวิตช์:
(2.24)
เมื่อปล่อยปริมาตรที่มากขึ้น ยังสามารถกําหนดความดันสตาร์ทสําหรับปั๊มเทอร์โบโมเลกุลได้ด้วยความช่วยเหลือจากแผนภาพในรูปที่ 2.58.
ภาพที่ 2.58 การกําหนดแรงดันสตาร์ทสําหรับปั๊มเทอร์โบโมเลกุลเมื่อปล่อยอากาศออกจากภาชนะขนาดใหญ่
การป้องกันการแพร่ย้อนกลับในปั๊มเทอร์โบโมเลกุลผ่านการระบายอากาศ
หลังจากปิดสวิตช์หรือในกรณีที่ไฟฟ้าดับ ควรระบายอากาศออกจากปั๊มเทอร์โบโมเลกุลเสมอ เพื่อป้องกันไม่ให้ไฮโดรคาร์บอนไหลย้อนกลับจากด้านสุญญากาศเบื้องต้นเข้าสู่ห้องสุญญากาศ หลังจากปิดปั๊มแล้ว ควรปิดการจ่ายน้ําหล่อเย็นเพื่อป้องกันการควบแน่นของไอน้ําที่อาจเกิดขึ้น เพื่อปกป้องโรเตอร์ ขอแนะนําให้ปฏิบัติตามระยะเวลาการระบายอากาศ (ขั้นต่ํา) ที่ระบุในคู่มือการใช้งาน ควรระบายอากาศออกจากปั๊ม (ยกเว้นในกรณีที่ทํางานกับก๊าซกั้น) ผ่านหน้าแปลนระบายอากาศที่มีลิ้นปีกผีเสื้อโลหะเผาอยู่แล้ว เพื่อให้สามารถทําการระบายอากาศได้โดยใช้วาล์วปกติหรือวาล์วระบายอากาศเมื่อไฟฟ้าขัดข้อง
การทํางานของแก๊สกั้น
ในกรณีของปั๊มที่ติดตั้งระบบก๊าซกั้น อาจใช้ก๊าซเฉื่อย เช่น ไนโตรเจนแห้ง ผ่านหน้าแปลนพิเศษเพื่อปกป้องพื้นที่มอเตอร์และตลับลูกปืนจากสื่อที่มีฤทธิ์กัดกร่อน ก๊าซกั้นแบบพิเศษและวาล์วระบายจะวัดปริมาณก๊าซกั้นที่จําเป็น และอาจทําหน้าที่เป็นวาล์วระบาย
การลดแรงสั่นสะเทือน
ปั๊ม TURBOVAC ได้รับการปรับสมดุลอย่างแม่นยําและโดยทั่วไปอาจเชื่อมต่อโดยตรงกับอุปกรณ์ แนะนําให้ติดตั้งอุปกรณ์ดูดซับการสั่นสะเทือนเพื่อลดการสั่นสะเทือนให้เหลือน้อยที่สุดเฉพาะในกรณีของเครื่องมือที่มีความไวสูง เช่น กล้องจุลทรรศน์อิเล็กตรอน สําหรับปั๊มแบบแขวนแม่เหล็ก การเชื่อมต่อโดยตรงกับอุปกรณ์สุญญากาศมักจะทําได้เนื่องจากการสั่นสะเทือนที่เกิดจากปั๊มดังกล่าวต่ํามาก
สําหรับการใช้งานพิเศษ เช่น การทํางานในสนามแม่เหล็กแรงสูง พื้นที่อันตรายจากรังสี หรือในบรรยากาศไตรเทียม โปรดติดต่อฝ่ายขายของเราซึ่งมีประสบการณ์ที่จําเป็นและพร้อมให้บริการคุณตลอดเวลา
พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
ดาวน์โหลด eBook "พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ" เพื่อค้นพบข้อมูลสําคัญและกระบวนการของปั๊มสุญญากาศ
การอ้างอิง
- สัญลักษณ์สุญญากาศ
- คําจํากัดความ
- ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
สัญลักษณ์สุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
สัญลักษณ์สุญญากาศ
อภิธานศัพท์ของสัญลักษณ์ที่ใช้กันทั่วไปในแผนผังเทคโนโลยีสุญญากาศเพื่อแสดงภาพประเภทปั๊มและชิ้นส่วนต่างๆ ในระบบปั๊ม
คําจํากัดความ
ภาพรวมของหน่วยวัดที่ใช้ในเทคโนโลยีสุญญากาศและสัญลักษณ์ที่หมายถึงอะไร รวมถึงหน่วยวัดสมัยใหม่ที่เทียบเท่ากับหน่วยวัดในอดีต
ข้อมูลอ้างอิงและแหล่งข้อมูล
ข้อมูลอ้างอิง แหล่งข้อมูล และการอ่านเพิ่มเติมเกี่ยวกับความรู้พื้นฐานของเทคโนโลยีสุญญากาศ
