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控制真空與保護系統通常是透過閥門來完成

處於特定壓力的儀表或幫浦的旋轉速度會觸發閥門。我們提供多種不同的閥以滿足所有應用與客戶所需。

微型閥

我們提供最小型的閥。

總共有三種主要驅動類型 (氣動式、電子氣動式、電磁式),並提供直通接頭或直角等方式。

接頭可視需要調整以使用不同的連接。這種小型閥的優點是能將其內建於小型分析設備中,而不會降低其氣導。

如同大部分的主動式儀表:我們提供類比 0-10v 線性輸出以及數位通訊。

Micro right angle valve

直角與直通閥

這些波紋管密封閥門有 DN16-50ISO-KF 和 DN53-160-K 尺寸可供選擇,可用於廣泛的系統。

在驅動類型、本體材料與閥體形狀方面,提供多種選配,通常稱為 BAV 或 BIV 閥。

手動控制選項非常適合在執行簡短實驗的同時,在多個真空系統上設定這些閥。其他驅動控制類型則使這些閥適合較長期的安裝。 

Straight-through Valve

SECUVAC 真空安全閥

DN 16 ISO-KF 至 DN 100 ISO-K

這些電磁直角閥是專為搭配使用未配備內建防返油閥的旋轉式真空幫浦而開發。

SECUVAC 安全閥可防止真空系統在電源故障時發生由前級幫浦逆流的非預期性回壓,並確保真空系統保持密封並處於真空狀態,直到前級幫浦重新啟動後抽空連接管線。

它也可用作真空系統進氣的回壓閥。

SECUVAC special valve

真空鎖/密封閥

通常用於密封已抽空或已填充氣體的腔室、容器抽空後,或添加和更換容器中的氣體時。

管內已整合了具有六角套筒的旋入式密封構件,其中插入氣體鎖的轉軸以供致動。在填滿氣體或抽空腔室後,氣體鎖可從小型法蘭上拆下,因此可在其他密封閥上重複使用,次數不限。

Vacuum Sealing Valve

可變洩漏閥

可變洩漏閥有 2 種主要版本:

  • 標準版:進氣率 1000 至 5 x 10-6 mbar x l/s,使可變洩漏閥幾乎可用於所有應用領域
  • UHV 版本:可控制 500 至 1 x 10-10 mbar x l/s 的範圍。
Variable Leak Valve

球閥

球閥堅固耐用、符合成本效益,是體積小巧的直通閥,只要操作控制桿就能開啟或關閉。

可從控制桿的位置判斷閥的位置 (開啟/關閉)。控制桿可供拆卸。

球閥附有潤滑墊圈,開啟時可提供不受阻礙的通道,且具有高氣導率。

兩側對大氣密封,也可以在大氣壓力下開啟。

Ball Valve

UHV 全金屬閥

可靠的解決方案,適用於超高真空環境的所有應用。

創新的設計和可旋轉的 CF 法蘭讓操縱更方便,安裝起來也輕鬆簡單。

使用最佳密封材料,閥門可靠度更上一層樓。鍍銀密封件提供長效使用壽命,1000 多個週期中均無須進行維護。

機械式止動器可防止閥產生太多扭矩,進而導致密封件受損。它也會指出閥何時完全關閉。

操作閥時可使用塑膠手輪和金屬 T 型手柄。T 型手柄的優點是適用於加熱程序,而且不需要拆卸。

UHV all metal valve
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