Vacuum operation and maintenance banner component

แนวทางการบํารุงรักษาและการใช้งานเกจวัดสุญญากาศ

แชร์ผ่าน

ข้อมูลเกี่ยวกับการติดตั้งเซ็นเซอร์/เกจวัดสุญญากาศ

สภาวะภายนอกรอบระบบสุญญากาศและสภาวะการทํางานภายใน (เช่น แรงดันในการทํางาน องค์ประกอบของก๊าซ) มีความสําคัญ ควรติดตั้งเซ็นเซอร์ในแนวตั้งโดยให้หน้าแปลนสุญญากาศอยู่ที่ด้านล่างเท่านั้น เพื่อป้องกันการควบแน่น เศษโลหะ และเศษวัสดุสะสมในเซ็นเซอร์ หรือแม้แต่ส่วนประกอบขนาดเล็ก เช่น สกรูขนาดเล็ก และสิ่งที่คล้ายกัน ไม่ให้ตกลงไปในเซ็นเซอร์และระบบวัดค่า นอกจากนี้ ไส้หลอดไฟที่ร้อนอาจงอและผิดรูปอย่างไม่เหมาะสม และทําให้เกิดการลัดวงจรทางไฟฟ้าภายในระบบวัดค่า นี่คือเหตุผลที่อยู่เบื้องหลังกฎทั่วไปต่อไปนี้: หากเป็นไปได้ ให้ติดตั้งเซ็นเซอร์ในแนวตั้งและเปิดไปทางด้านล่าง นอกจากนี้ยังเป็นสิ่งสําคัญมากที่จะต้องติดตั้งระบบการวัด หากเป็นไปได้ ในจุดต่างๆ ในระบบสุญญากาศที่จะปราศจากการสั่นสะเทือนในระหว่างการทํางาน

ต้องพิจารณาอุณหภูมิภายนอกและจําเป็นต้องหลีกเลี่ยงเตาเผาร้อน เตาอบ หรือเตาอบ หรือแหล่งกําเนิดรังสีรุนแรงอื่นๆ ที่ทําให้อุณหภูมิแวดล้อมสูงกว่าค่าที่ยอมรับได้เฉพาะสําหรับระบบการวัดค่า อุณหภูมิแวดล้อมที่สูงเกินไปจะส่งผลให้เกิดการบ่งชี้แรงดันที่ผิดพลาดในเซ็นเซอร์สุญญากาศที่นําความร้อนได้

การปนเปื้อนที่ระบบวัดค่าและการกําจัดสิ่งปนเปื้อน

เกจวัดที่ใช้สําหรับการวัดแรงดันในเทคโนโลยีสุญญากาศจะทํางานภายใต้สภาวะ "สกปรก" ได้อย่างแน่นอน ซึ่งเป็นเรื่องที่เข้าใจได้ง่าย เนื่องจากระบบสุญญากาศไม่ได้สร้างแรงดันต่ําเพียงอย่างเดียว แต่ต้องดําเนินกระบวนการทางเคมี โลหะวิทยา หรือนิวเคลียร์ฟิสิกส์ที่แรงดันต่ํา ในกรณีนี้ ก๊าซหรือไอระเหยจํานวนมากจะถูกปั๊มอย่างต่อเนื่องหรือเป็นระยะๆ ทั้งนี้ขึ้นอยู่กับลักษณะของกระบวนการ ซึ่งก๊าซหรือไอระเหยเหล่านี้อาจเข้าสู่ระบบการวัดค่าและ - เนื่องจากปฏิกิริยาบนพื้นผิวหรือการสะสม - อาจทําให้การวัดแรงดันผิดพลาดอย่างมาก ซึ่งเป็นจริงสําหรับเกจวัดสุญญากาศทุกประเภท โดยที่ระบบการวัดที่มีความไวสูงและมีความแม่นยําสูงจะไวต่อการปนเปื้อนเป็นพิเศษ สามารถพยายามปกป้องระบบการวัดค่าจากการปนเปื้อนได้โดยการป้องกันที่เหมาะสม อย่างไรก็ตาม สิ่งนี้มักจะนําไปสู่ความดันที่บันทึกโดยระบบวัดค่า ซึ่งเป็นความสะอาดจริงๆ จะเบี่ยงเบนอย่างมากจากความดันที่แท้จริงในระบบ

ไม่สามารถรักษาระบบการวัดในเกจวัดสุญญากาศให้ปราศจากการปนเปื้อนได้ ดังนั้น จึงจําเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่า:

ผลกระทบของการปนเปื้อนต่อการวัดค่าแรงดันยังคงน้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้
สามารถทําความสะอาดระบบวัดค่าได้อย่างง่ายดาย

ในทางปฏิบัติ เกจวัดสุญญากาศส่วนใหญ่ไม่สามารถตอบสนองสภาวะทั้งสองนี้ได้ง่าย . เซ็นเซอร์ THERMOVAC ที่สกปรกจะแสดงแรงดันที่สูงเกินไปในช่วงการวัดล่างเนื่องจากพื้นผิวของสายไฟร้อนมีการเปลี่ยนแปลง ในเกจวัดสุญญากาศ Penning การปนเปื้อนจะทําให้ค่าความดันที่อ่านได้ต่ําเกินไปมากเนื่องจากกระแสไฟฟ้าที่ปล่อยออกมาจะน้อยลง ในกรณีของเกจวัดสุญญากาศแบบไอออนไนซ์ที่มีแคโทดร้อน อิเล็กโทรดและผนังท่ออาจปนเปื้อน ซึ่งในบางสถานการณ์จะส่งผลให้ความแข็งแรงของฉนวนลดลง อย่างไรก็ตาม ในกรณีนี้ ปกติแล้วระบบการวัดค่าสามารถอบและไล่ก๊าซออกได้โดยการส่งกระแสไฟฟ้าผ่านหรือโดยการระเบิดอิเล็กตรอน นอกเหนือจากข้อเท็จจริงที่ว่าเกจวัดสุญญากาศแบบไอออนไนซ์มักใช้ในช่วงสุญญากาศสูงพิเศษซึ่งจําเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าสภาพการทํางานสะอาดด้วยเหตุผลอื่นๆ

อิทธิพลของสนามแม่เหล็กและสนามไฟฟ้า

ในเครื่องมือวัดค่าทั้งหมดที่ใช้การเกิดไอออนของโมเลกุลก๊าซเป็นหลักการวัดค่า ( เกจวัดสุญญากาศไอออนแคโทดเย็น และ เกจวัดสุญญากาศไอออนแคโทดร้อน ) สนามแม่เหล็กรั่วไหลที่แรงหรือศักย์ไฟฟ้าอาจมีอิทธิพลอย่างมากต่อการบ่งชี้แรงดัน ที่แรงดันต่ํา ยังเป็นไปได้ที่ศักย์ไฟฟ้าผนังที่เบี่ยงเบนจากศักย์ไฟฟ้าแคโธดจะมีอิทธิพลต่อกระแสไฟฟ้าของตัวดักไอออน

ในระบบการวัดสุญญากาศที่ใช้ในสุญญากาศสูงและสุญญากาศสูงพิเศษ จําเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าค่าฉนวนสูงที่จําเป็นสําหรับอิเล็กโทรดแรงดันสูงและตัวดักไอออนยังคงอยู่ในระหว่างการทํางานและบางครั้งแม้แต่ในระหว่างขั้นตอนการอบ ข้อบกพร่องของฉนวนอาจเกิดขึ้นได้ทั้งในสายป้อนภายนอกและภายในระบบการวัดเอง ฉนวนที่ไม่เพียงพอที่สายดัก (เครื่องตรวจจับ) อาจทําให้กระแสรั่วไหล - ที่แรงดันต่ํา - กระตุ้นการอ่านค่าแรงดันสูงเกินไป กระแสไฟฟ้าของตัวดักไอออนที่ต่ํามากทําให้จําเป็นต้องหุ้มฉนวนสายไฟนี้เป็นพิเศษ กระแสรั่วไหลยังอาจเกิดขึ้นภายในเซ็นเซอร์วัดค่า หากตัวดักไม่ได้รับการป้องกันอย่างมีประสิทธิภาพจากอิเล็กโทรดอื่นๆ

ข้อผิดพลาดที่เกิดขึ้นบ่อยครั้งเมื่อเชื่อมต่อเซ็นเซอร์วัดค่ากับระบบสุญญากาศคือการใช้ท่อเชื่อมต่อที่ยาวและแคบเกินกว่าที่ยอมรับได้ ต้องรักษาค่าการนําไฟฟ้าให้สูงที่สุดเท่าที่เป็นไปได้ โซลูชันที่ดีที่สุดคือการใช้ระบบตรวจวัดแบบบูรณาการ เมื่อใดก็ตามที่ใช้ท่อเชื่อมต่อที่มีค่าการนําไฟฟ้าต่ํากว่า ตัวบ่งชี้แรงดันอาจสูงหรือต่ําเกินไป ข้อผิดพลาดในการตรวจวัดมากกว่าหนึ่งทศวรรษเป็นไปได้! ในกรณีที่สามารถอบระบบได้ จําเป็นต้องตรวจสอบให้แน่ใจว่าสามารถให้ความร้อนกับท่อเชื่อมต่อได้เช่นกัน

เซ็นเซอร์แบบพาสซีฟและระบบการวัดค่า

สายเคเบิลวัดค่า (สายเคเบิลเชื่อมต่อระหว่างเซ็นเซอร์และชุดควบคุมเกจวัดสุญญากาศ) โดยปกติจะมีความยาว 2 ม. หากต้องใช้สายเคเบิลวัดค่าที่ยาวขึ้น เช่น สําหรับการติดตั้งในแผงควบคุม จําเป็นต้องตรวจสอบสถานการณ์ว่ามีอิทธิพลต่อการอ่านค่าความดันหรือไม่ สามารถสอบถามข้อมูลเกี่ยวกับตัวเลือกสําหรับการใช้สายเคเบิลที่ยาวเกินไปได้จากแผนกให้คําปรึกษาด้านเทคนิคของเรา

Blog & Wiki Vacuum operation and maintenance Vacuum Fundamentals