진공 게이지 유지 관리 및 작동 지침
진공 센서/게이지 설치 정보
여기서 진공 시스템 주변의 외부 조건과 내부 작동 조건(예: 작동 압력, 기체 함유량 구성)이 중요합니다. 센서는 진공 플랜지가 하단에 있는 상태에서만 수직으로 설치하여 응축물, 금속 박편 및 파편이 센서에 모이거나 작은 나사와 같은 작은 부품까지도 센서 및 측정 시스템으로 떨어지지 않도록 해야 합니다. 뜨거운 백열 필라멘트가 구부러지거나 변형되어 측정 시스템 내부에 전기 단락이 발생할 수 있습니다. 이는 다음과 같은 일반적인 규칙으로 인한 현상입니다. 가능한 경우 센서를 수직으로, 그리고 하단이 개방되도록 설치해야 합니다. 또한 가능한 경우 진공 시스템의 해당 지점에 측정 시스템을 설치하는 것이 매우 중요합니다. 이 지점이 작동 중에 진동이 발생하지 않습니다.
외부 온도를 고려해야 하며, 측정 시스템에 대해 허용 가능한 값을 초과하는 주변 온도를 생성하는 고온 가마, 용광로 또는 오븐 또는 기타 강력한 방사원을 피해야 합니다. 주변 온도가 지나치게 높으면 열 전도도 진공 센서에 잘못된 압력 표시가 나타납니다.
측정 시스템의 오염 및 제거
진공 기술의 압력 측정에 사용되는 게이지는 "더러운" 조건에서 작동합니다. 진공 시스템이 단순히 저압을 생성하는 것이 아니라 낮은 압력에서 화학, 금속 공학 또는 원자력 물리학 공정을 실행해야 하기 때문에 이 방법은 상당히 자연스럽습니다. 여기서 공정의 특성에 따라 상당한 양의 기체 또는 증기가 지속적으로 또는 간헐적으로 펌핑됩니다. 이러한 기체는 측정 시스템으로 전달되고, 표면 반응 또는 침전물로 인해 압력 측정값을 크게 변조할 수 있습니다. 이는 모든 유형의 진공 게이지에 해당하며, 높은 감도의 고정밀 측정 시스템은 특히 오염에 민감합니다. 적절한 차폐 기능을 제공하여 측정 시스템의 오염을 방지할 수 있습니다. 하지만 이로 인해 (실제로 청결한) 측정 시스템에 의해 기록된 압력이 시스템에 실제로 존재하는 압력에서 상당히 벗어나는 경우가 많습니다.
기본적으로 진공 게이지의 측정 시스템이 오염되지 않도록 유지하는 것은 불가능합니다. 따라서 다음에 유의해야 합니다.
- 오염물이 압력 측정에 미치는 영향을 가능한 작게 유지
- 측정 시스템은 쉽게 청소할 수 있음.
이 두 가지 조건은 실제 대부분의 진공 게이지에서 쉽게 충족하기 힘듭니다. 더러운 THERMOVAC 센서의 경우 고온 와이어 표면이 변경되었기 때문에 낮은 측정 범위에서 압력이 너무 높게 나타납니다. 페닝 진공 게이지에서 오염으로 인해 방출 전류가 작아지기 때문에 너무 낮은 압력 수치를 유도합니다. 열음극, 전극 및 튜브 벽이 있는 이온화 진공 게이지의 경우 특정 상황에서 오염될 수 있고, 이로 인해 유전체 강도가 감소합니다. 하지만 여기에서 측정 시스템은 일반적으로 전자를 통과하거나 전자 폭격으로 전류를 통과함으로써 베이킹 및 탈기될 수 있습니다. 단, 이온화 진공 게이지는 다른 이유로 깨끗한 작동 조건을 보장해야 하는 초고진공 범위에서 자주 사용됩니다.
자기장 및 전기장의 영향
측정 원리로 기체 분자의 이온화를 사용하는 모든 측정 기기(냉음극 및 열음극 이온화 진공 게이지)에서 강한 자기 누출장 또는 전자 전위는 압력 표시에 큰 영향을 줄 수 있습니다. 저압에서 음극으로 전위로부터 벗어난 벽 전위가 이온 트랩 전류에 영향을 줄 수 있습니다.
고진공 및 초고진공 시스템에 사용되는 진공 측정 시스템에서는 작동 중 그리고 경우에 따라서는 베이크아웃 절차 중에도 고전압 전극 및 이온 트랩에 필요한 높은 절연 값을 유지해야 합니다. 절연 결함은 외부 공급 라인과 측정 시스템 내부에서 모두 발생할 수 있습니다. 트랩(감지기) 리드에서의 절연 부족으로 인해 크리프 전류가 저압에서 과도하게 높은 압력값 판독을 자극할 수 있습니다. 매우 낮은 이온 트랩 전류로 인해 이 리드의 절연이 특히 중요합니다. 측정 센서 내부에서도 트랩이 다른 전극으로부터 효과적으로 차단되지 않으면 크리프 전류가 발생할 수 있습니다.
측정 센서를 진공 시스템에 연결할 때 흔히 발생하는 오류는 길고 폭이 좁은 커넥터 파이프를 사용하는 것입니다. 전도도 값은 가능한 크게 유지해야 합니다. 가장 유리한 솔루션은 통합 일체형 측정 시스템을 사용하는 것입니다. 전도도 값이 낮은 커넥터 파이프를 사용할 때마다 압력 표시가 너무 높거나 낮을 수 있습니다. 시스템을 베이크아웃할 수 있는 경우 커넥터 파이프 또한 가열할 수 있도록 해야 합니다.
패시브 센서 및 측정 시스템
측정 케이블(센서와 진공 게이지 제어 장치 사이의 커넥터 케이블)은 일반적으로 2m 길이입니다. 예를 들어 제어 패널에 설치하기 위해 더 긴 측정 케이블을 사용해야 하는 경우 압력 판독값에 영향을 미치는 상황을 확인해야 합니다. 긴 케이블 사용에 대한 정보는 기술 컨설팅 부서로부터 구할 수 있습니다.
