플랜지와 진공 씰의 유형은 어떻게 됩니까?
일반적으로 금속 진공 부품, 펌프, 밸브, 튜브 등의 탈착 가능한 조인트에는 플랜지가 제공됩니다. Leybold의 저진공, 중진공 및 고진공용 진공 부품에는 다음과 같은 표준화된 플랜지 시스템이 장착되어 있습니다.
- 공칭 폭 10, 16, 20, 25, 32, 40 및 50mm의 소형 플랜지(KF) (DIN 28 403에 대한 빠른 연결). PNEUROP 권고 사항 및 기술 위원회 ISO/TC 112의 ISO 권고 사항에 따라 10, 16, 25 및 40이 선호되는 폭입니다. 2개의 동일한 플랜지를 완전히 연결하려면 1개의 클램핑 링과 1개의 센터링 링이 필요합니다.
- 공칭 폭 65, 100, 160, 250, 320, 400, 500 및 630mm의 클램프 플랜지(ISO-K). 또한 이러한 플랜지는 PNEUROP 및 ISO/TC 112 권고 사항의 공칭 폭 및 구조에 해당합니다. 클램프 플랜지는 클램프 또는 칼라 링으로 서로 연결됩니다. 센터링 링 또는 개스킷이 밀봉에 필요합니다.
- 위와 동일한 공칭 폭에 대한 볼트 플랜지(ISO-F)(PNEUROP 및 ISO/TC 112에 따름). 특별한 경우에는 공칭 폭이 더 작은 볼트 플랜지가 사용됩니다. 클램프 플랜지와 볼트 플랜지는 DIN 28 404를 따릅니다.
공칭 너비는 플랜지의 자유 내부 직경과 밀리미터 단위로 대략 같습니다. 더 큰 편차는 예외입니다. 따라서 클램프 플랜지 DN 63 은 내부 직경이 70mm입니다. 표 XI 참조.
표 XI 공칭 내부 직경(DN) 및 원형 단면이 있는 튜브, 파이프 및 구멍의 내부 직경(PNEUROP에 따름).
공칭 내부 직경은 파이프라인 부품의 내부 직경에 해당합니다(DIN 2402 - 1976년 2월). 공칭 내부 직경 시리즈에서 왼쪽 열이 실제로 선호됩니다.
진공 피팅 및 소재
고진공 부품은 알루미늄 또는 스테인리스 스틸로 제조됩니다. 스테인리스 스틸은 다소 비싸지만 다양한 이점을 제공합니다. 낮은 탈기율, 내부식성, 최대 200°C(392°F)의 온도에서 탈기 가능, 금속 밀봉이 가능입니다. 또한 스테인리스 스틸은 알루미늄에 비해 긁힘에 훨씬 강합니다.
초고진공 부품은 스테인리스 스틸로 제조되며 CF 플랜지를 고온으로 베이크할 수 있습니다. 플랜지를 포함한 이러한 부품은 공칭 폭이 16~250mm부터 연속 생산으로 제조됩니다. CF 플랜지는 고정 플랜지로 제공되거나 회전 가능한 칼라 플랜지로 제공됩니다. 이 플랜지는 거의 모든 제조업체의 CONFLAT 플랜지와 연결될 수 있습니다. 구리 개스킷은 밀봉 용도로 사용됩니다.
기본적으로 플랜지는 연결 튜브와 연결된 부품보다 작지 않아야 합니다. 공격적인 기체와 증기가 펌핑되지 않고 진공 시스템이 80°C(176°F)가 넘는 온도에 노출되지 않는 경우, NBR(Perbunan) 또는 CR(네오프렌) 플랜지 O-링으로 밀봉하면 저진공, 중진공, 고진공 영역에서 작업할 수 있습니다. 진공 시스템이 최종적으로 조립되기 전에 시스템을 테스트하는 경우를 예로 들 수 있습니다.
모든 스테인리스 스틸 플랜지는 손상 없이 최대 200°C(392°F)의 온도에서 탈기될 수 있습니다. 하지만 Perbunan 밀봉 물질은 플랜지 씰런트로 적합하지 않습니다. 대신 VITILAN®(특수 FPM) 씰링 링과 알루미늄 씰을 사용하여 각각 150°C(302°F) 및 200°C(392°F)까지 가열 공정을 수행할 수 있습니다. 탈기 후 압력은 10-8mbar(즉, UHV 범위 아래로)까지 내려갈 수 있습니다.
10-8mbar 미만의 압력을 생성하려면 더 높은 베이크아웃 온도가 필요합니다. 초고진공 기법 페이지에서 설명하는 것과 같이 UHV 범위 내에서 작업하려면 기본적으로 다른 접근 방식과 금속 씰링 링이 장착된 CF 플랜지를 사용해야 합니다.
기체 잠금 장치 및 밀봉 피팅
대부분의 경우 기체가 채워진 또는 배출된 용기를 밀봉할 뿐만 아니라 해당 용기의 압력이나 진공을 확인하고 후속 배출이나 기체 보충 또는 교환을 실시하는 것이 바람직합니다.
이러한 작업은 해당 기체 잠금 장치를 통해 작동되는 Leybold의 밀봉 피팅을 사용하여 매우 쉽게 수행할 수 있습니다. 배출 또는 기체 충전 용기의 작은 플랜지 연결부는 실제 밸브를 형성하는 작은 폐쇄 피스에 의해 튜브 내에서 밀봉됩니다. 배출 또는 기체 주입 후 작동에 필요한 기체 잠금 장치가 제거됩니다. 따라서 기체 잠금 장치 1개는 임의 개수의 밀봉 피팅을 작동시키는 데 사용됩니다. 그림 2.81은 이러한 배열의 단면도입니다. 기체 잠금 장치 및 밀봉 피팅은 정격 폭이 DN 16 KF, DN 25 KF 및 DN 40 KF로, Leybold에서 제조하고 소재는 스테인리스 스틸입니다. 밀봉 피팅의 누출률은 1 · 10-9mbar l/s 미만입니다. 최대 2.5bar의 과압을 견딜 수 있고, 최대 150°C(302°F)의 온도를 견딜 수 있으며, 표준 블랭크 플랜지로 먼지를 막아낼 수 있습니다.
그림 2.81 센터링 링 및 밀봉 피팅이 포함된 기체 잠금 장치, 단면도
일반적인 적용 사례로는 듀어 용기, 액화 기체 용기(탱크) 또는 장거리 에너지 파이프라인 등과 같은 절연 진공이 사용되는 이중 벽 용기가 있습니다. 또한 기체 잠금 장치가 주로 사용되는 과학적 기구의 밀봉 피팅에서 기준 및 지원 진공의 배출 또는 후속 배출에 사용됩니다. 이전에는 필요에 따라 후속 배출을 위해 펌프를 영구적으로 연결해야 했습니다. 밀봉 피팅에 기체 잠금 장치를 사용하면 용기에 진공 기밀 밀봉이 제공되며, 펌프만 수시로 점검 또는 후속 배출하면 됩니다.
