기본 진공 펌프 프로세스는 무엇입니까?
가장 일반적인 펌핑 공정 연구
진공 기술은 19세기 초반부터 연구 및 산업에서 시작되어 그 이후로 빠르게 발전하고 있습니다. 오늘날 산업 연구 및 하위 분야에서 필수 불가결한 요소입니다.
다양한 분야가 있는 만큼 진공 공정의 기술적 절차 수 역시 상당히 많습니다. 이 섹션의 범위에서는 설명할 수 없는데, 이 섹션의 기본 계산이 주로 펌핑 공정을 다루지만 배출된 시스템에서 발생하는 공정을 다루지 않기 때문입니다. 진공 기술에서의 중요 공정과 이러한 공정이 주로 실시되는 압력 영역은 그림 2.71 및 2.72에 나와 있습니다.
그림 2.71 물리적 및 화학적 분석 방법의 압력 범위(p < 1000mbar)
그림 2.72 산업용 진공 공정의 압력 범위
건식 공정은 주로 좁고 제한된 압력 영역에서 작동합니다.
시스템은 일반적으로 실제 작업 공정이 시작되기 전에 적절한 특성 압력으로 배출됩니다. 예를 들어, 증발성 코팅, 전자 빔 용접 및 결정 풀링, 입자 가속기, 질량 분광계, 전자 현미경 등의 플랜트에서 이를 사용합니다.
추가로 진공 상태에서 건식 공정은 실제로 기술적인 공정입니다. 여기에는 유도 및 아크 용광로에서의 작업, 강철 탈기 플랜트 및 순수 금속 및 전자 튜브 제조를 위한 플랜트가 포함됩니다.
그 외에 진공 클램프, 성형 또는 운송과 같은 저진공 공정이 있으며, 이 공정에서는 특정 압력 범위가 유지됩니다(예: 버퍼 부피 기준)
습식 공정은 주로 보다 넓은 압력 영역을 커버하는 규정된 작업 작업에서 수행합니다.
이는 고체 물질의 건조에서 특히 중요합니다. 예를 들어 너무 낮은 압력에서 작업을 일찍 수행하는 경우 외부 표면이 너무 빨리 마르지 않습니다. 그 결과 증발할 수분에 대한 열 접촉이 손상되고 건조 시간이 크게 증가합니다. 건조, 함침 및 동결 건조 플랜트에서 주로 수행되는 공정이 이 범주에 속합니다.
특히 탈기 컬럼, 진공 충전, 수지 주조 공장 및 분자 증류 과정 등 액체나 증류 과정에서 수증기를 제거하는 것이 중요합니다. 모든 습식 공정에서 수분 증발에 필요한 열을 공급하는 것이 매우 중요합니다.
기본 펌핑 절차는 펌핑 절차 섹션에 연결된 페이지에서 설명합니다.
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압력 영역에 따른 일반적인 진공 공정 및 플랜트 분류
저진공(1013~1mbar)
Ø 고정, 인양, 포장, 건조, 증류, 및 강철 탈기.
중진공(1~10-3mbar)
Ø 스퍼터링 코팅, 분자 증류, 동결 건조, 첨착, 용해 및 주조 용광로, 아크 용광로.
고진공(10-3~10-7mbar)
Ø 증발 코팅, 진공 브레이징, 질량 분광계, 튜브 생산, 전자 현미경, 전자 빔 플랜트 및 입자 가속기.
초고진공(< 10-7mbar)
Ø 핵 융합, 가속기용 스토리지 링, 우주 연구 및 표면 물리학.
