액티브, 패시브 및 결합형 게이지의 정의
진공 게이지는 액티브 게이지(단일 및 결합형 헤드 포함)와 패시브 게이지 두 개의 유형으로 분류됩니다. 모든 진공 공정 사용에 적합한 게이지 유형이 있습니다. Leybold는 적용 가능한 각 공정을 위한 다양한 펌프를 갖추고 있어서 모든 종류의 게이지를 제공합니다. 일반 게이지 유형의 기본 속성은 아래에서 확인 가능합니다. 게이지 선택 과정에서 특정 요구 사항이 있거나 도움이 필요한 경우 문의해 주시기 바랍니다. 기쁜 마음으로 도와드리겠습니다.
액티브 게이지 기능
액티브 진공 게이지는 제어 장치 전자 기술과 실제 센서를 모두 포함합니다. 즉, 액티브 게이지는 하나의 소형 장치에 있는 완전하고 독립적인 헤드 및 드라이버 전자 장치를 말합니다. 이 센서 부분은 측정한 신호에서 전기 크기를 생성합니다.
이러한 게이지는 일반적으로 24V DC가 필요하며, 압력과 관련된 0~10V 출력을 제공합니다. 전자 장치를 통한 베이크아웃 온도는 <212°F(<100°C)로 제한되므로, 결과적으로 베이크아웃은 전자 장치가 연결된 상태에서 제한된 범위까지만 사용할 수 있습니다. 전자 장치를 제거하면 일반적으로 최대 150°C까지 가열할 수 있습니다.
아날로그 또는 디지털 중 하나로 연결된 선형화된 출력 신호는 케이블에 전파 오류가 없음을 의미합니다. 게이지 케이블은 표준화되어 있으며 라인은 측정된 압력 값에 영향을 주지 않습니다.
컨트롤러는 단순한 디스플레이 장치이므로 전원 공급 장치는 공장에서 공급됩니다. 신호 표시는 중앙 디스플레이에 표시됩니다. 압력은 아날로그 측정 또는 디지털 인터페이스를 통해 표시됩니다. 디지털 게이지는 컨트롤러와 독립적이고(능동적으로) 측정된 값을 연속으로 전달합니다.
또한, 액티브 게이지는 방사선 및 자기장에 민감합니다.
결합된 센서 게이지 또는 결합형 게이지
이름에서 알 수 있듯이 결합형 게이지는 다양한 측정 원리가 하나의 게이지에 결합하여 있음을 의미합니다. 즉, 개별 약점이 사라지고 운영 안정성이 향상되며, 비용 효율적입니다. 단일 하우징, 단일 연결 및 단일 디스플레이에 따라 두 개의 센서에 대해 하나의 측정만을 제공합니다. 또한, 결합형 가스는 더 커진 범위에서 더 나은 압력 모니터링을 제공합니다. 결합형 게이지의 예로 피라니/냉음극이 있습니다. 더 자세한 정보는 간접 압력 측정 페이지를 확인해보시길 바랍니다.
패시브 게이지 기능
액티브 게이지와 달리, 패시브 게이지에는 센서만 포함되고 전자 장치는 제외됩니다. 패시브 측정 장치는 드라이버 전자 장치에서 측정 부분을 완전히 분리합니다. 시스템에 부착된 헤드는 물리적 측정에 필요한 부분만을 포함하고 있고 다른 모든 전자 장치는 제어 장치 안에 포함되어 있습니다. 일반적으로 제어 장치에는 아날로그 전압 출력, 전철 계전기 접점 그리고 디지털 인터페이스가 장착되어 있습니다.
패시브 게이지는 측정 신호에 영향을 미치는 센서 신호 및 케이블의 직접적인 측정을 제공합니다. 이 패시브 게이지는 표시 유형에 따라 특정 케이블이 필요합니다.
또한, 컨트롤러는 장치를 측정하기도 하므로 전력 공급은 컨트롤러를 통해서만 가능합니다. 이와 유사한 방식으로 디스플레이는 컨트롤러 상에 특유의 형태로 있습니다.
패시브 게이지는 방사선에 대한 내성이 있으며 액티브 게이지와는 달리 높은 베이크아웃 온도를 사용할 수 있습니다.
유지 관리
마지막으로, 다른 장비와 마찬가지로 게이지의 유지 관리가 예상한 기준에 따라 작동하는 데 중요한 역할을 한다는 점도 주목해야 합니다. 믿을 수 있는 압력 판독 값을 보장하기 위해 모든 유형의 게이지를 깨끗하게 유지하는 것이 중요합니다.
